FZ CZ Si-Wafer auf Lager 12-Zoll-Silizium-Wafer Prime oder Test
Einführung der Waferbox
Polierte Wafer
Siliziumwafer, die beidseitig speziell poliert werden, um eine spiegelnde Oberfläche zu erhalten. Überragende Eigenschaften wie Reinheit und Ebenheit zeichnen diese Wafer aus.
Undotierte Siliziumwafer
Sie werden auch als intrinsische Siliziumwafer bezeichnet. Dieser Halbleiter ist eine reine kristalline Form von Silizium ohne das Vorhandensein von Dotierstoffen im gesamten Wafer, was ihn zu einem idealen und perfekten Halbleiter macht.
Dotierte Siliziumwafer
N-Typ und P-Typ sind die beiden Arten dotierter Siliziumwafer.
N-Typ-dotierte Siliziumwafer enthalten Arsen oder Phosphor. Sie werden häufig bei der Herstellung moderner CMOS-Bauelemente verwendet.
Mit Bor dotierte P-Typ-Siliziumwafer. Wird hauptsächlich zur Herstellung von gedruckten Schaltungen oder für die Fotolithografie verwendet.
Epitaxie-Wafer
Epitaxie-Wafer sind herkömmliche Wafer, die zur Erzielung einer Oberflächenintegrität verwendet werden. Epitaxie-Wafer sind als dicke und dünne Wafer erhältlich.
Mehrschichtige Epitaxie-Wafer und dicke Epitaxie-Wafer werden auch zur Regulierung des Energieverbrauchs und zur Leistungssteuerung von Geräten verwendet.
Dünne epitaktische Wafer werden häufig in hochwertigen MOS-Instrumenten verwendet.
SOI-Wafer
Diese Wafer dienen der elektrischen Isolierung feiner Schichten aus einkristallinem Silizium vom gesamten Siliziumwafer. SOI-Wafer werden häufig in der Siliziumphotonik und in Hochleistungs-HF-Anwendungen eingesetzt. SOI-Wafer werden auch verwendet, um die parasitäre Kapazität in mikroelektronischen Geräten zu reduzieren und so die Leistung zu verbessern.
Warum ist die Waferherstellung schwierig?
12-Zoll-Siliziumwafer lassen sich nur schwer schneiden. Silizium ist zwar hart, aber auch spröde. Da die Kanten der gesägten Wafer zum Brechen neigen, entstehen raue Stellen. Diamantscheiben glätten die Kanten und beseitigen Beschädigungen. Nach dem Schneiden brechen die Wafer leicht, da sie nun scharfe Kanten haben. Die Kanten der Wafer werden so gestaltet, dass empfindliche, scharfe Kanten vermieden und die Abrutschgefahr verringert wird. Durch die Kantenformung wird der Durchmesser des Wafers angepasst, der Wafer abgerundet (nach dem Schneiden ist der abgeschnittene Wafer oval) und Kerben oder ausgerichtete Ebenen eingebracht bzw. dimensioniert.
Detailliertes Diagramm


