FZ CZ Si-Wafer auf Lager, 12-Zoll-Siliziumwafer, Prime oder Test
Einführung der Waferbox
Polierte Wafer
Siliziumwafer, die beidseitig speziell poliert werden, um eine spiegelglatte Oberfläche zu erzielen. Hervorragende Eigenschaften wie Reinheit und Planheit zeichnen diesen Wafer aus.
Undotierte Siliziumwafer
Sie werden auch als intrinsische Siliziumwafer bezeichnet. Dieser Halbleiter ist eine reine kristalline Form von Silizium ohne jegliche Dotierstoffe im gesamten Wafer und ist somit ein idealer und perfekter Halbleiter.
Dotierte Siliziumwafer
Es gibt zwei Arten von dotierten Siliziumwafern: N-Typ und P-Typ.
N-dotierte Siliziumwafer enthalten Arsen oder Phosphor. Sie werden häufig bei der Herstellung moderner CMOS-Bauelemente verwendet.
Bor-dotierte p-leitende Siliziumwafer. Sie werden hauptsächlich zur Herstellung von gedruckten Schaltungen oder für die Fotolithografie verwendet.
Epitaxiale Wafer
Epitaxiale Wafer sind herkömmliche Wafer, die zur Erzielung von Oberflächenintegrität eingesetzt werden. Epitaxiale Wafer sind in dicken und dünnen Ausführungen erhältlich.
Mehrlagige Epitaxie-Wafer und dicke Epitaxie-Wafer werden auch zur Regulierung des Energieverbrauchs und zur Leistungssteuerung von Geräten eingesetzt.
Dünne Epitaxiescheiben werden häufig in hochwertigen MOS-Bauelementen verwendet.
SOI-Wafer
Diese Wafer dienen der elektrischen Isolation feiner Schichten aus einkristallinem Silizium vom restlichen Siliziumwafer. SOI-Wafer finden häufig Anwendung in der Siliziumphotonik und in Hochleistungs-HF-Anwendungen. Sie werden außerdem zur Reduzierung parasitärer Kapazitäten in mikroelektronischen Bauelementen eingesetzt, was die Leistungsfähigkeit verbessert.
Warum ist die Waferherstellung schwierig?
Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 12 Zoll lassen sich aufgrund der geringen Ausbeute nur schwer schneiden. Obwohl Silizium hart, ist es auch spröde. An den gesägten Waferkanten entstehen raue Stellen, da diese leicht brechen. Diamantscheiben werden eingesetzt, um die Waferkanten zu glätten und Beschädigungen zu entfernen. Nach dem Schneiden brechen die Wafer aufgrund ihrer scharfen Kanten leicht. Die Waferkanten werden so gestaltet, dass diese empfindlichen, scharfen Kanten vermieden und die Rutschgefahr reduziert wird. Durch die Kantenbearbeitung wird der Waferdurchmesser angepasst, der Wafer abgerundet (nach dem Schneiden ist der abgeschnittene Wafer oval) und Kerben oder ausgerichtete Flächen werden erzeugt oder dimensioniert.
Detailliertes Diagramm





