4H-N/6H-N SiC Wafer Forschungsproduktion Dummy-Qualität Dia150mm Siliziumkarbidsubstrat
Spezifikation für Siliziumkarbid (SiC)-Substrat mit 6 Zoll Durchmesser
Grad | Null MPD | Produktion | Forschungsgrad | Dummy-Note |
Durchmesser | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Dicke | 4H-N | 350 um ± 25 um | ||
4H-SI | 500 um ± 25 um | |||
Waferausrichtung | Auf der Achse:<0001>±0,5° für 4H-SI | |||
Hauptwohnung | {10-10}±5,0° | |||
Primäre flache Länge | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Kantenausschluss | 3mm | |||
TTV/Bogen/Warp | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikrorohrdichte | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Widerstand 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Rauheit | Polnisch Ra ≤1 nm CMP Ra ≤0,5 nm | |||
#Risse durch hochintensives Licht | Keiner | 1 erlaubt, ≤2mm | Gesamtlänge ≤10 mm, Einzellänge ≤2 mm | |
*Hex-Platten durch hochintensives Licht | Kumulierte Fläche ≤1 % | Kumulierte Fläche ≤ 2 % | Kumulierte Fläche ≤ 5 % | |
*Polytypiebereiche durch hochintensives Licht | Keiner | Kumulierte Fläche ≤ 2 % | Kumulierte Fläche ≤ 5 % | |
*&Kratzer durch hochintensives Licht | 3 Kratzer bis 1 x Waferdurchmesser Gesamtlänge | 5 Kratzer bis 1 x Waferdurchmesser Gesamtlänge | 5 Kratzer auf 1 x Wafer-Durchmesser Gesamtlänge | |
Randchip | Keiner | 3 zulässig, jeweils ≤ 0,5 mm | 5 zulässig, jeweils ≤ 1 mm | |
Kontamination durch hochintensives Licht | Keiner
|
Vertrieb und Kundenservice
Materialeinkauf
Die Materialeinkaufsabteilung ist dafür verantwortlich, alle für die Herstellung Ihres Produkts erforderlichen Rohstoffe zu sammeln. Eine vollständige Rückverfolgbarkeit aller Produkte und Materialien, einschließlich chemischer und physikalischer Analysen, ist jederzeit verfügbar.
Qualität
Während und nach der Herstellung oder Bearbeitung Ihrer Produkte ist die Qualitätskontrollabteilung daran beteiligt, sicherzustellen, dass alle Materialien und Toleranzen Ihre Spezifikationen erfüllen oder übertreffen.
Service
Wir sind stolz darauf, über Vertriebsingenieure mit mehr als 5 Jahren Erfahrung in der Halbleiterindustrie zu verfügen. Sie sind darin geschult, technische Fragen zu beantworten und zeitnahe Angebote für Ihre Bedürfnisse zu erstellen.
Wir stehen Ihnen jederzeit zur Seite, wenn Sie ein Problem haben, und lösen es innerhalb von 10 Stunden.