4-Zoll-Substratwafer aus hochreinem Al2O3 99,999 % Saphir, Durchmesser 101,6 × 0,65 mm mit primärer flacher Länge
Beschreibung
Allgemeine Spezifikationen für 4-Zoll-Saphirwafer werden wie folgt eingeführt:
Dicke: Die Dicke gängiger Saphirwafer liegt zwischen 0,2 mm und 2 mm und die spezifische Dicke kann je nach Kundenwunsch angepasst werden.
Platzierungskante: Am Rand des Wafers befindet sich normalerweise ein kleiner Abschnitt, der als „Platzierungskante“ bezeichnet wird und die Waferoberfläche und -kante schützt. Er ist normalerweise amorph.
Oberflächenvorbereitung: Herkömmliche Saphirwafer werden mechanisch geschliffen und chemisch mechanisch poliert, um die Oberfläche zu glätten.
Oberflächeneigenschaften: Die Oberfläche von Saphirwafern weist normalerweise gute optische Eigenschaften auf, wie z. B. ein geringes Reflexionsvermögen und einen niedrigen Brechungsindex, um die Geräteleistung zu verbessern.
Anwendungen
● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen
● Elektronik und Optoelektronik
● IR-Anwendungen
● Integrierte Silizium-auf-Saphir-Schaltung (SOS)
● Integrierte Hochfrequenzschaltung (RFIC)
Spezifikation
| Artikel | 4-Zoll-C-Plane(0001) 650μm Saphirwafer | |
| Kristallmaterialien | 99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Ready | |
| Oberflächenorientierung | C-Ebene(0001) | |
| Abweichungswinkel der C-Ebene zur M-Achse 0,2 +/- 0,1° | ||
| Durchmesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dicke | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene (11-20) +/- 0,2° | |
| Primäre flache Länge | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Einseitig poliert | Vorderfläche | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (nach AFM) |
| (SSP) | Rückseite | Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
| Doppelseitig poliert | Vorderfläche | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (nach AFM) |
| (DSP) | Rückseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (nach AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOGEN | < 20 μm | |
| KETTE | < 20 μm | |
| Reinigung / Verpackung | Reinraumreinigung und Vakuumverpackung der Klasse 100, | |
| 25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung. | ||
Wir verfügen über langjährige Erfahrung in der Saphir verarbeitenden Industrie.Einschließlich des chinesischen Lieferantenmarktes sowie des internationalen Nachfragemarktes.Wenn Sie Bedarf haben, können Sie sich gerne an uns wenden.
Detailliertes Diagramm
