4-Zoll-Substratwafer aus hochreinem Al2O3 99,999 % Saphir, Durchmesser 101,6 × 0,65 mm mit primärer flacher Länge
Beschreibung
Allgemeine Spezifikationen für 4-Zoll-Saphirwafer werden wie folgt eingeführt:
Dicke: Die Dicke gängiger Saphirwafer liegt zwischen 0,2 mm und 2 mm und die spezifische Dicke kann je nach Kundenwunsch angepasst werden.
Platzierungskante: Am Rand des Wafers befindet sich normalerweise ein kleiner Abschnitt, der als „Platzierungskante“ bezeichnet wird und die Waferoberfläche und -kante schützt. Er ist normalerweise amorph.
Oberflächenvorbereitung: Herkömmliche Saphirwafer werden mechanisch geschliffen und chemisch mechanisch poliert, um die Oberfläche zu glätten.
Oberflächeneigenschaften: Die Oberfläche von Saphirwafern weist normalerweise gute optische Eigenschaften auf, wie z. B. ein geringes Reflexionsvermögen und einen niedrigen Brechungsindex, um die Geräteleistung zu verbessern.
Anwendungen
● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen
● Elektronik und Optoelektronik
● IR-Anwendungen
● Integrierte Silizium-auf-Saphir-Schaltung (SOS)
● Integrierte Hochfrequenzschaltung (RFIC)
Spezifikation
Artikel | 4-Zoll-C-Plane(0001) 650μm Saphirwafer | |
Kristallmaterialien | 99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3 | |
Grad | Prime, Epi-Ready | |
Oberflächenausrichtung | C-Ebene(0001) | |
Abweichungswinkel der C-Ebene zur M-Achse 0,2 +/- 0,1° | ||
Durchmesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Dicke | 650 μm +/- 25 μm | |
Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene (11-20) +/- 0,2° | |
Primäre flache Länge | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
Einseitig poliert | Vorderfläche | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM) |
(SSP) | Rückseite | Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
Doppelseitig poliert | Vorderfläche | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM) |
(DSP) | Rückseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM) |
TTV | < 20 μm | |
BOGEN | < 20 μm | |
KETTE | < 20 μm | |
Reinigung / Verpackung | Reinraumreinigung und Vakuumverpackung der Klasse 100, | |
25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung. |
Wir verfügen über langjährige Erfahrung in der Saphir verarbeitenden Industrie. Einschließlich des chinesischen Lieferantenmarktes sowie des internationalen Nachfragemarktes. Wenn Sie Bedarf haben, können Sie sich gerne an uns wenden.
Detailliertes Diagramm


