4-Zoll-Substratwafer aus hochreinem Al2O3 99,999 % Saphir, Durchmesser 101,6 × 0,65 mm mit primärer flacher Länge

Kurzbeschreibung:

Ein 4-Zoll-Saphirwafer (ca. 101,6 mm) ist ein Wafer aus Saphirmaterial mit einem Durchmesser von 4 Zoll.


Produktdetails

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Beschreibung

Allgemeine Spezifikationen für 4-Zoll-Saphirwafer werden wie folgt eingeführt:

Dicke: Die Dicke gängiger Saphirwafer liegt zwischen 0,2 mm und 2 mm und die spezifische Dicke kann je nach Kundenwunsch angepasst werden.

Platzierungskante: Am Rand des Wafers befindet sich normalerweise ein kleiner Abschnitt, der als „Platzierungskante“ bezeichnet wird und die Waferoberfläche und -kante schützt. Er ist normalerweise amorph.

Oberflächenvorbereitung: Übliche Saphirwafer werden mechanisch geschliffen und chemisch mechanisch poliert, um die Oberfläche zu glätten.

Oberflächeneigenschaften: Die Oberfläche von Saphirwafern weist normalerweise gute optische Eigenschaften auf, wie z. B. ein geringes Reflexionsvermögen und einen niedrigen Brechungsindex, um die Geräteleistung zu verbessern.

Anwendungen

● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen

● Elektronik und Optoelektronik

● IR-Anwendungen

● Integrierte Silizium-auf-Saphir-Schaltung (SOS)

● Integrierte Hochfrequenzschaltung (RFIC)

Spezifikation

Artikel

4-Zoll-C-Plane(0001) 650μm Saphirwafer

Kristallmaterialien

99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3

Grad

Prime, Epi-Ready

Oberflächenorientierung

C-Ebene(0001)

Abweichungswinkel der C-Ebene zur M-Achse 0,2 +/- 0,1°

Durchmesser

100,0 mm +/- 0,1 mm

Dicke

650 μm +/- 25 μm

Primäre flache Ausrichtung

A-Ebene (11-20) +/- 0,2°

Primäre flache Länge

30,0 mm +/- 1,0 mm

Einseitig poliert

Vorderfläche

Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)

(SSP)

Rückseite

Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm

Doppelseitig poliert

Vorderfläche

Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)

(DSP)

Rückseite

Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)

TTV

< 20 μm

BOGEN

< 20 μm

KETTE

< 20 μm

Reinigung / Verpackung

Reinraumreinigung und Vakuumverpackung der Klasse 100,

25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung.

Wir verfügen über langjährige Erfahrung in der Saphir verarbeitenden Industrie. Einschließlich des chinesischen Lieferantenmarktes sowie des internationalen Nachfragemarktes. Wenn Sie Bedarf haben, können Sie sich gerne an uns wenden.

Detailliertes Diagramm

Primäre flache Länge (1)
Primäre flache Länge (2)
Primäre flache Länge (3)

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