4-Zoll-Wafer aus hochreinem Al2O3 (99,999 %) auf Saphirsubstrat, Durchmesser 101,6 × 0,65 mm, mit primärer flacher Länge
Beschreibung
Die gängigen Spezifikationen von 4-Zoll-Saphirwafern werden wie folgt vorgestellt:
Dicke: Die Dicke gängiger Saphirwafer liegt zwischen 0,2 mm und 2 mm, die genaue Dicke kann je nach Kundenwunsch angepasst werden.
Platzierungskante: Am Rand des Wafers befindet sich üblicherweise ein kleiner Bereich, die sogenannte „Platzierungskante“, die die Waferoberfläche und -kante schützt und in der Regel amorph ist.
Oberflächenvorbereitung: Gängige Saphirwafer werden mechanisch geschliffen und chemisch-mechanisch poliert, um die Oberfläche zu glätten.
Oberflächeneigenschaften: Die Oberfläche von Saphirwafern weist üblicherweise gute optische Eigenschaften auf, wie z. B. ein geringes Reflexionsvermögen und einen niedrigen Brechungsindex, um die Leistungsfähigkeit der Bauelemente zu verbessern.
Anwendungen
● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen
● Elektronik und Optoelektronik
● IR-Anwendungen
● Silizium-auf-Saphir-integrierter Schaltkreis (SOS)
● Integrierter Hochfrequenzschaltkreis (RFIC)
Spezifikation
| Artikel | 4-Zoll-C-Ebene(0001)-650-µm-Saphirwafer | |
| Kristallmaterialien | 99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Ready | |
| Oberflächenorientierung | C-Ebene(0001) | |
| Neigungswinkel der C-Ebene zur M-Achse: 0,2 ± 0,1° | ||
| Durchmesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dicke | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene(11-20) +/- 0,2° | |
| Primäre Flachlänge | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Einseitig poliert | Vorderseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (SSP) | Rückseite | Fein geschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
| Doppelseitig poliert | Vorderseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (DSP) | Rückseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOGEN | < 20 μm | |
| KETTE | < 20 μm | |
| Reinigung / Verpackung | Reinigung im Reinraum der Klasse 100 und Vakuumverpackung, | |
| 25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelverpackung. | ||
Wir verfügen über langjährige Erfahrung in der Saphirverarbeitung, sowohl auf dem chinesischen als auch auf dem internationalen Markt. Bei Bedarf kontaktieren Sie uns bitte.
Detailliertes Diagramm
