4 Zoll hochreiner Al2O3 99,999 % Saphir-Substratwafer, Durchmesser 101,6 × 0,65 mm, mit primärer flacher Länge
Beschreibung
Die allgemeinen Spezifikationen von 4-Zoll-Saphir-Wafern werden wie folgt vorgestellt:
Dicke: Die Dicke gängiger Saphir-Wafer liegt zwischen 0,2 mm und 2 mm, und die spezifische Dicke kann entsprechend den Kundenanforderungen angepasst werden.
Platzierungskante: Normalerweise gibt es an der Kante des Wafers einen kleinen Abschnitt, der als „Platzierungskante“ bezeichnet wird und die Waferoberfläche und -kante schützt. Dieser Abschnitt ist normalerweise amorph.
Oberflächenvorbereitung: Gewöhnliche Saphir-Wafer werden mechanisch geschliffen und chemisch-mechanisch poliert, um die Oberfläche zu glätten.
Oberflächeneigenschaften: Die Oberfläche von Saphir-Wafern weist normalerweise gute optische Eigenschaften auf, wie z. B. geringes Reflexionsvermögen und einen niedrigen Brechungsindex, um die Geräteleistung zu verbessern.
Anwendungen
● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen
● Elektronik und Optoelektronik
● IR-Anwendungen
● Integrierter Silizium-auf-Saphir-Schaltkreis (SOS)
● Integrierter Hochfrequenzschaltkreis (RFIC)
Spezifikation
| Artikel | 4-Zoll-C-Plane(0001) 650-μm-Saphir-Wafer | |
| Kristallmaterialien | 99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Ready | |
| Oberflächenorientierung | C-Ebene (0001) | |
| C-Ebenen-Off-Winkel zur M-Achse 0,2 +/- 0,1° | ||
| Durchmesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dicke | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene (11-20) +/- 0,2° | |
| Primäre flache Länge | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Einseitig poliert | Vorderseite | Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (SSP) | Rückseite | Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
| Doppelseitig poliert | Vorderseite | Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (DSP) | Rückseite | Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOGEN | < 20 μm | |
| KETTE | < 20 μm | |
| Reinigung / Verpackung | Reinraumreinigung Klasse 100 und Vakuumverpackung, | |
| 25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung. | ||
Wir verfügen über langjährige Erfahrung in der Saphirverarbeitung. Dies gilt sowohl für den chinesischen Lieferantenmarkt als auch für den internationalen Bedarf. Bei Bedarf kontaktieren Sie uns gerne.
Detailliertes Diagramm
