KY und EFG Saphir-Methode Rohr Saphirstäbe Rohr Hochdruck
Beschreibung
Saphirstäbe werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt. Ein Saphirstab kann mit polierten Oberflächen für optische und Verschleißanwendungen oder mit fein geschliffenen Oberflächen (unpoliert) als Isolator hergestellt werden.
Technologie
Beim Ziehen von Saphirrohren aus einer Schmelze mithilfe eines Kristallisationskeims wird der Temperaturgradient zwischen der Erstarrungsfront und dem Ziehbereich, wo die Temperatur zwischen 1850 und 1900 °C liegt, auf höchstens 30 °C/cm gehalten. Das so gezüchtete Rohr wird bei einer Temperatur zwischen 1950 und 2000 °C geglüht, indem die Temperatur um 30 bis 40 °C/min erhöht und 3 bis 4 Stunden bei dieser Temperatur gehalten wird. Anschließend wird das Rohr mit 30–40 °C/min auf Raumtemperatur abgekühlt.
Anwendungen in der Halbleiterverarbeitung
(HPD CVD, PECVD, Trockenätzen, Nassätzen).
Plasma-Applikatorrohr.
Prozessgas-Injektordüsen.
Endpunktdetektor.
Excimer-Corona-Röhren.
Plasma-Eindämmungsröhren
Die Plasma-Rohrversiegelungsmaschine dient zum Verkapseln elektronischer Bauteile. Ihr Prinzip besteht darin, die hohe Temperatur und den hohen Druck des Plasmas zu nutzen, um das Verpackungsmaterial zu schmelzen und auf dem Bauteil zu verkapseln. Zu den Hauptkomponenten der Plasma-Rohrversiegelungsmaschine gehören Plasmagenerator, Rohrversiegelungskammer, Vakuumsystem, Steuerung usw.
Thermoelement-Schutzhülle (Thermowell)
Thermoelemente sind häufig verwendete Temperaturmesselemente in Temperaturmessgeräten. Sie messen die Temperatur direkt und wandeln das Temperatursignal in ein thermoelektrisches elektromotorisches Kraftsignal um, das über das elektrische Instrument (Sekundärinstrument) in die Temperatur des Messmediums umgewandelt wird.
Wasseraufbereitung/-reinigung
Eigenschaften von Saphirrohren (theoretisch)
| Zusammengesetzte Formel | Al2O3 |
| Molekulargewicht | 101,96 |
| Aussehen | Durchscheinende Röhren |
| Schmelzpunkt | 2050 °C (3720 °F) |
| Siedepunkt | 2.977 °C (5.391 °F) |
| Dichte | 4,0 g/cm3 |
| Morphologie | Trigonal (sechseckig), R3c |
| Löslichkeit in H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
| Brechungsindex | 1.8 |
| Elektrischer Widerstand | 17 10x Ω-m |
| Poissonzahl | 0,28 |
| Spezifische Wärmekapazität | 760 J Kg-1 K-1 (293 K) |
| Zugfestigkeit | 1390 MPa (maximal) |
| Wärmeleitfähigkeit | 30 W/mK |
| Wärmeausdehnung | 5,3 µm/mK |
| Elastizitätsmodul | 450 GPa |
| Genaue Masse | 101,948 g/mol |
| Monoisotopenmasse | 101.94782 Da |
Detailliertes Diagramm
