Gemustertes Saphirsubstrat PSS 2 Zoll 4 Zoll 6 Zoll ICP-Trockenätzen kann für LED-Chips verwendet werden
Kernmerkmal
1. Materialeigenschaften: Das Substratmaterial ist ein Einkristall-Saphir (Al₂O₃) mit hoher Härte, hoher Hitzebeständigkeit und chemischer Stabilität.
2. Oberflächenstruktur: Die Oberfläche wird durch Fotolithografie und Ätzen in periodische Mikro-Nano-Strukturen wie Kegel, Pyramiden oder hexagonale Anordnungen geformt.
3. Optische Leistung: Durch das Oberflächenmusterdesign wird die Totalreflexion des Lichts an der Schnittstelle reduziert und die Lichtextraktionseffizienz verbessert.
4. Wärmeleistung: Das Saphirsubstrat verfügt über eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und ist für Hochleistungs-LED-Anwendungen geeignet.
5. Größenangaben: Gängige Größen sind 2 Zoll (50,8 mm), 4 Zoll (100 mm) und 6 Zoll (150 mm).
Hauptanwendungsgebiete
1. LED-Herstellung:
Verbesserte Lichtextraktionseffizienz: PSS reduziert den Lichtverlust durch Musterdesign und verbessert so die Helligkeit und Lichtausbeute der LEDs erheblich.
Verbesserte epitaktische Wachstumsqualität: Die gemusterte Struktur bietet eine bessere Wachstumsbasis für epitaktische GaN-Schichten und verbessert die LED-Leistung.
2. Laserdiode (LD):
Hochleistungslaser: Die hohe Wärmeleitfähigkeit und Stabilität von PSS eignen sich für Hochleistungslaserdioden und verbessern die Wärmeableitungsleistung und Zuverlässigkeit.
Niedriger Schwellenstrom: Optimieren Sie das epitaktische Wachstum, reduzieren Sie den Schwellenstrom der Laserdiode und verbessern Sie die Effizienz.
3. Fotodetektor:
Hohe Empfindlichkeit: Die hohe Lichtdurchlässigkeit und die geringe Defektdichte des PSS verbessern die Empfindlichkeit und Reaktionsgeschwindigkeit des Fotodetektors.
Breite spektrale Empfindlichkeit: geeignet für die fotoelektrische Erkennung im ultravioletten bis sichtbaren Bereich.
4. Leistungselektronik:
Hohe Spannungsfestigkeit: Die hohe Isolierung und thermische Stabilität von Saphir eignen sich für Hochspannungsgeräte.
Effiziente Wärmeableitung: Eine hohe Wärmeleitfähigkeit verbessert die Wärmeableitungsleistung von Leistungsgeräten und verlängert die Lebensdauer.
5. HF-Geräte:
Hochfrequenzleistung: Der geringe dielektrische Verlust und die hohe thermische Stabilität von PSS eignen sich für Hochfrequenz-HF-Geräte.
Geringes Rauschen: Hohe Ebenheit und geringe Defektdichte reduzieren das Geräterauschen und verbessern die Signalqualität.
6. Biosensoren:
Hochempfindliche Erkennung: Die hohe Lichtdurchlässigkeit und chemische Stabilität von PSS eignen sich für hochempfindliche Biosensoren.
Biokompatibilität: Aufgrund seiner Biokompatibilität eignet sich Saphir für medizinische und biologische Detektionsanwendungen.
Gemustertes Saphirsubstrat (PSS) mit GaN-Epitaxiematerial:
Gemustertes Saphirsubstrat (PSS) ist ein ideales Substrat für das epitaktische Wachstum von GaN (Galliumnitrid). Die Gitterkonstante von Saphir liegt nahe an der von GaN, wodurch Gitterfehlanpassungen und Defekte beim epitaktischen Wachstum reduziert werden können. Die Mikro-Nanostruktur der PSS-Oberfläche verbessert nicht nur die Lichtauskopplungseffizienz, sondern auch die Kristallqualität der GaN-Epitaxieschicht und damit die Leistung und Zuverlässigkeit der LED.
Technische Parameter
| Artikel | Gemustertes Saphirsubstrat (2–6 Zoll) | ||
| Durchmesser | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Dicke | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Oberflächenorientierung | C-Ebene (0001) Abweichungswinkel zur M-Achse (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-Ebene (0001) Abweichungswinkel zur A-Achse (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene (11-20) ± 1,0° | ||
| Primäre flache Länge | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-Flugzeug | 9 Uhr | ||
| Oberflächenbeschaffenheit der Vorderseite | Gemustert | ||
| Oberflächenbeschaffenheit der Rückseite | SSP: Feingeschliffen, Ra = 0,8–1,2 µm; DSP: Epipoliert, Ra < 0,3 nm | ||
| Lasermarkierung | Rückseite | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| BOGEN | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| KETTE | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Kantenausschluss | ≤2 mm | ||
| Musterspezifikation | Formstruktur | Kuppel, Kegel, Pyramide | |
| Musterhöhe | 1,6 bis 1,8 μm | ||
| Musterdurchmesser | 2,75 bis 2,85 μm | ||
| Musterraum | 0,1 bis 0,3 μm | ||
XKH ist auf die Bereitstellung hochwertiger, kundenspezifischer gemusterter Saphirsubstrate (PSS) mit technischem Support und Kundendienst spezialisiert, um Kunden dabei zu unterstützen, effiziente Innovationen im Bereich LED, Display und Optoelektronik zu erzielen.
1. Hochwertige PSS-Versorgung: Gemusterte Saphirsubstrate in verschiedenen Größen (2", 4", 6"), um den Anforderungen von LED-, Display- und optoelektronischen Geräten gerecht zu werden.
2. Kundenspezifisches Design: Passen Sie die Mikro-Nano-Oberflächenstruktur (z. B. Kegel, Pyramide oder hexagonale Anordnung) entsprechend den Kundenanforderungen an, um die Effizienz der Lichtextraktion zu optimieren.
3. Technischer Support: Bereitstellung von PSS-Anwendungsdesign, Prozessoptimierung und technischer Beratung, um Kunden bei der Verbesserung der Produktleistung zu unterstützen.
4. Unterstützung des epitaktischen Wachstums: PSS, abgestimmt auf GaN-Epitaxiematerial, wird bereitgestellt, um ein qualitativ hochwertiges Wachstum der epitaktischen Schicht zu gewährleisten.
5. Prüfung und Zertifizierung: Stellen Sie einen PSS-Qualitätsprüfbericht bereit, um sicherzustellen, dass die Produkte den Industriestandards entsprechen.
Detailliertes Diagramm
