Saphir-Wafer C-Plane SSP/DSP, Durchmesser 300 x 1,0 mm, Dicke
Einführung der Waferbox
Kristallmaterialien | 99,999 % Al2O3, hochrein, monokristallin, Al2O3 | |||
Kristallqualität | Einschlüsse, Blockmarkierungen, Zwillinge, Farbe, Mikroblasen und Streuzentren sind nicht vorhanden | |||
Durchmesser | 2 Zoll | 3 Zoll | 4 Zoll | 6 Zoll ~ 12 Zoll |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | In Übereinstimmung mit den Bestimmungen der Standardproduktion | |
Dicke | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Kann vom Kunden individuell angepasst werden |
Orientierung | C-Ebene (0001) zu M-Ebene (1-100) oder A-Ebene (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-Ebene (1-1 0 2), A-Ebene (1 1-2 0 ), M-Ebene (1-1 0 0), Beliebige Ausrichtung, Beliebiger Winkel | |||
Primäre flache Länge | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | In Übereinstimmung mit den Bestimmungen der Standardproduktion |
Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BOGEN | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Kette | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Vorderseite | Epipoliert (Ra < 0,2 nm) |
*Bogen: Die Abweichung des Mittelpunkts der Mittelfläche eines freien, nicht eingespannten Wafers von der Referenzebene, wobei die Referenzebene durch die drei Ecken eines gleichseitigen Dreiecks definiert wird.
*Warp: Die Differenz zwischen dem maximalen und dem minimalen Abstand der mittleren Oberfläche eines freien, nicht eingespannten Wafers von der oben definierten Referenzebene.
Hochwertige Produkte und Dienstleistungen für Halbleiterbauelemente der nächsten Generation und epitaktisches Wachstum:
Hoher Grad an Planheit (kontrollierter TTV, Krümmung, Verzug usw.)
Hochwertige Reinigung (geringe Partikelverschmutzung, geringe Metallverschmutzung)
Substratbohren, Nuten, Schneiden und Rückseitenpolieren
Anfügen von Daten wie Sauberkeit und Form des Untergrundes (optional)
Wenn Sie Bedarf an Saphirsubstraten haben, wenden Sie sich bitte an:
Mail:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
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