8-Zoll-Silizium-Wafer P/N-Typ (100) 1-100 Ω Dummy-Reclaim-Substrat
Einführung der Waferbox
8-Zoll-Siliziumwafer sind ein häufig verwendetes Siliziumsubstratmaterial und werden häufig bei der Herstellung integrierter Schaltkreise eingesetzt. Solche Siliziumwafer werden üblicherweise zur Herstellung verschiedener Arten integrierter Schaltkreise verwendet, darunter Mikroprozessoren, Speicherchips, Sensoren und andere elektronische Geräte. 8-Zoll-Siliziumwafer werden häufig zur Herstellung relativ großer Chips verwendet. Ihre Vorteile liegen in der größeren Oberfläche und der Möglichkeit, mehr Chips auf einem einzigen Siliziumwafer herzustellen, was zu einer höheren Produktionseffizienz führt. 8-Zoll-Siliziumwafer verfügen zudem über gute mechanische und chemische Eigenschaften, die sie für die Produktion integrierter Schaltkreise im großen Maßstab geeignet machen.
Produktmerkmale
8" P/N-Typ, polierte Siliziumscheibe (25 Stück)
Orientierung: 200
Widerstand: 0,1 – 40 Ohm•cm (kann von Charge zu Charge variieren)
Dicke: 725 +/-20 µm
Prime/Monitor/Test Grade
MATERIALEIGENSCHAFTEN
Parameter | Merkmal |
Typ/Dotierstoff | P, Bor N, Phosphor N, Antimon N, Arsen |
Orientierungen | <100>, <111> Abschneideorientierungen nach Kundenspezifikation |
Sauerstoffgehalt | 1019ppmA Benutzerdefinierte Toleranzen gemäß Kundenspezifikation |
Kohlenstoffgehalt | < 0,6 ppmA |
MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN
Parameter | Prime | Monitor/Test A | Prüfen |
Durchmesser | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Dicke | 725±20µm (Standard) | 725±25µm (Standard) 450±25µm 625 ± 25 µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (Standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Bogen | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Wickeln | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantenverrundung | HALBSTSTÄNDIG | ||
Markierung | Nur primäre SEMI-Flat-Version, SEMI-STD Flats, Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Monitor/Test A | Prüfen |
Kriterien für die Vorderseite | |||
Oberflächenbeschaffenheit | Chemisch Mechanisch Poliert | Chemisch Mechanisch Poliert | Chemisch Mechanisch Poliert |
Oberflächenrauheit | < 2 °C | < 2 °C | < 2 °C |
Kontamination Partikel@ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dunst, Gruben Orangenschale | Keiner | Keiner | Keiner |
Säge, Markierungen Streifen | Keiner | Keiner | Keiner |
Kriterien für die Rückseite | |||
Risse, Krähenfüße, Sägespuren, Flecken | Keiner | Keiner | Keiner |
Oberflächenbeschaffenheit | Ätzend geätzt |
Detailliertes Diagramm


