8-Zoll-200-mm-4H-N-SiC-Wafer, leitfähiger Dummy, Forschungsqualität

Kurzbeschreibung:

Mit der Weiterentwicklung der Transport-, Energie- und Industriemärkte steigt auch die Nachfrage nach zuverlässiger, leistungsstarker Leistungselektronik. Um den Bedarf an verbesserter Halbleiterleistung zu decken, setzen Gerätehersteller auf Halbleitermaterialien mit großer Bandlücke, wie beispielsweise unser 4H SiC Prime Grade Portfolio an 4H n-leitenden Siliziumkarbid-Wafern (SiC).


Merkmale

Aufgrund seiner einzigartigen physikalischen und elektronischen Eigenschaften wird 200-mm-SiC-Wafer-Halbleitermaterial zur Herstellung von Hochleistungs-, Hochtemperatur-, strahlungsresistenten und Hochfrequenz-Elektronikbauteilen verwendet. Der Preis für 8-Zoll-SiC-Substrate sinkt kontinuierlich mit fortschreitender Technologie und steigender Nachfrage. Jüngste technologische Entwicklungen ermöglichen die Serienfertigung von 200-mm-SiC-Wafern. Die Hauptvorteile von SiC-Wafer-Halbleitermaterialien gegenüber Si- und GaAs-Wafern: Die elektrische Feldstärke von 4H-SiC beim Lawinendurchbruch ist mehr als eine Größenordnung höher als die entsprechenden Werte für Si und GaAs. Dies führt zu einer signifikanten Reduzierung des Durchlasswiderstands Ron. Der niedrige Durchlasswiderstand ermöglicht in Kombination mit hoher Stromdichte und Wärmeleitfähigkeit die Verwendung sehr kleiner Chips für Leistungshalbleiter. Die hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC reduziert den Wärmewiderstand des Chips. Die elektronischen Eigenschaften von Bauelementen auf Basis von SiC-Wafern sind zeitlich und temperaturstabil, was eine hohe Produktzuverlässigkeit gewährleistet. Siliziumkarbid ist extrem beständig gegen harte Strahlung, die die elektronischen Eigenschaften des Chips nicht beeinträchtigt. Die hohe Grenztemperatur des Kristalls (über 6000 °C) ermöglicht die Herstellung hochzuverlässiger Bauelemente für anspruchsvolle Betriebsbedingungen und Spezialanwendungen. Wir können derzeit Kleinserien von 200-mm-SiC-Wafern kontinuierlich liefern und verfügen über einen gewissen Lagerbestand.

Spezifikation

Nummer Artikel Einheit Produktion Forschung Dummy
1. Parameter
1.1 Polytyp -- 4H 4H 4H
1.2 Oberflächenorientierung ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektrischer Parameter
2.1 Dopant -- n-Typ-Stickstoff n-Typ-Stickstoff n-Typ-Stickstoff
2.2 spezifischer Widerstand Ohm · cm 0,015 bis 0,025 0,01 bis 0,03 NA
3. Mechanischer Parameter
3.1 Durchmesser mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 Dicke μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Kerbenausrichtung ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Kerbtiefe mm 1–1,5 1–1,5 1–1,5
3,5 LTV μm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Bogen μm -25 bis 25 -45 bis 45 -65 bis 65
3.8 Kette μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struktur
4.1 Mikrorohrdichte Stück/cm² ≤2 ≤10 ≤50
4.2 Metallgehalt Atome/cm² ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD Stück/cm² ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD Stück/cm² ≤2000 ≤5000 NA
4,5 TED Stück/cm² ≤7000 ≤10000 NA
5. Positive Qualität
5.1 Front -- Si Si Si
5.2 Oberflächenbeschaffenheit -- Si-Flächen-CMP Si-Flächen-CMP Si-Flächen-CMP
5.3 Teilchen ea/wafer ≤100 (Größe≥0,3μm) NA NA
5.4 kratzen ea/wafer ≤5, Gesamtlänge ≤200 mm NA NA
5,5 Rand
Absplitterungen/Dellen/Risse/Flecken/Verunreinigungen
-- Keiner Keiner NA
5.6 Polytypenbereiche -- Keiner Fläche ≤10% Fläche ≤30%
5,7 vordere Markierung -- Keiner Keiner Keiner
6. Rückenqualität
6.1 Rückseite -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 kratzen mm NA NA NA
6.3 Rückseitenfehlerkante
Absplitterungen/Einkerbungen
-- Keiner Keiner NA
6.4 Rückseitenrauheit nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6,5 Rückseitenmarkierung -- Kerbe Kerbe Kerbe
7. Rand
7.1 Rand -- Fase Fase Fase
8. Paket
8.1 Verpackung -- Epi-fähig mit Vakuum
Verpackung
Epi-fähig mit Vakuum
Verpackung
Epi-fähig mit Vakuum
Verpackung
8.2 Verpackung -- Multi-Wafer
Kassettenverpackung
Multi-Wafer
Kassettenverpackung
Multi-Wafer
Kassettenverpackung

Detailliertes Diagramm

8 Zoll SiC03
8 Zoll SiC4
8 Zoll SiC5
8 Zoll SiC6

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