8 Zoll 200 mm 4H-N SiC-Wafer, leitfähiger Dummy, Forschungsqualität
Aufgrund seiner einzigartigen physikalischen und elektronischen Eigenschaften wird 200-mm-SiC-Wafer-Halbleitermaterial zur Herstellung von elektronischen Geräten mit hoher Leistung, hoher Temperaturbeständigkeit, Strahlungsbeständigkeit und Hochfrequenz verwendet. Der Preis für 8-Zoll-SiC-Substrate sinkt schrittweise, da die Technologie fortschreitet und die Nachfrage steigt. Jüngste technologische Entwicklungen haben zur Herstellung von 200-mm-SiC-Wafern im Produktionsmaßstab geführt. Die Hauptvorteile von SiC-Wafer-Halbleitermaterialien im Vergleich zu Si- und GaAs-Wafern: Die elektrische Feldstärke von 4H-SiC während eines Lawinendurchbruchs ist um mehr als eine Größenordnung höher als die entsprechenden Werte für Si und GaAs. Dies führt zu einer erheblichen Verringerung des Durchlasswiderstands Ron. Ein niedriger Durchlasswiderstand ermöglicht in Verbindung mit einer hohen Stromdichte und Wärmeleitfähigkeit die Verwendung sehr kleiner Chips für Leistungsbauelemente. Die hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC verringert den Wärmewiderstand des Chips. Die elektronischen Eigenschaften von Geräten auf Basis von SiC-Wafern sind über die Zeit und Temperatur sehr stabil, was eine hohe Produktzuverlässigkeit gewährleistet. Siliziumkarbid ist extrem beständig gegen harte Strahlung, ohne dass die elektronischen Eigenschaften des Chips beeinträchtigt werden. Die hohe Grenzbetriebstemperatur des Kristalls (über 600 °C) ermöglicht die Herstellung hochzuverlässiger Geräte für raue Betriebsbedingungen und spezielle Anwendungen. Wir können derzeit kontinuierlich kleine Chargen von 200-mm-SiC-Wafern liefern und haben einen Lagerbestand.
Spezifikation
Nummer | Artikel | Einheit | Produktion | Forschung | Dummy |
1. Parameter | |||||
1.1 | Polytypie | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | Oberflächenorientierung | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Elektrische Parameter | |||||
2.1 | Dotierstoff | -- | n-Typ Stickstoff | n-Typ Stickstoff | n-Typ Stickstoff |
2.2 | spezifischer Widerstand | Ohm · cm | 0,015 bis 0,025 | 0,01 bis 0,03 | NA |
3. Mechanische Parameter | |||||
3.1 | Durchmesser | mm | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 | 200 ± 0,2 |
3.2 | Dicke | μm | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 |
3.3 | Kerbenausrichtung | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Kerbtiefe | mm | 1 bis 1,5 | 1 bis 1,5 | 1 bis 1,5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm x 10 mm) | ≤5 (10 mm x 10 mm) | ≤10 (10 mm x 10 mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Bogen | μm | -25 bis 25 | -45 bis 45 | -65 bis 65 |
3.8 | Kette | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4. Struktur | |||||
4.1 | Mikrorohrdichte | Stück/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | Metallgehalt | Atome/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | Stück/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | Borderline-Persönlichkeitsstörung | Stück/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | Stück/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Positive Qualität | |||||
5.1 | Front | -- | Si | Si | Si |
5.2 | Oberflächenbeschaffenheit | -- | Si-Fläche CMP | Si-Fläche CMP | Si-Fläche CMP |
5.3 | Teilchen | Stück/Wafer | ≤100 (Größe ≥0,3 μm) | NA | NA |
5.4 | kratzen | Stück/Wafer | ≤5, Gesamtlänge ≤200 mm | NA | NA |
5.5 | Rand Absplitterungen/Einkerbungen/Risse/Flecken/Verunreinigungen | -- | Keiner | Keiner | NA |
5.6 | Polytypbereiche | -- | Keiner | Fläche ≤10% | Fläche ≤30% |
5.7 | Frontmarkierung | -- | Keiner | Keiner | Keiner |
6. Rückenqualität | |||||
6.1 | Rückseite | -- | C-Gesicht MP | C-Gesicht MP | C-Gesicht MP |
6.2 | kratzen | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Rückseite Defekte Kante Absplitterungen/Einkerbungen | -- | Keiner | Keiner | NA |
6.4 | Rauheit auf der Rückseite | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Rückseitenmarkierung | -- | Kerbe | Kerbe | Kerbe |
7. Kante | |||||
7.1 | Rand | -- | Fase | Fase | Fase |
8. Paket | |||||
8.1 | Verpackung | -- | Epi-ready mit Vakuum Verpackung | Epi-ready mit Vakuum Verpackung | Epi-ready mit Vakuum Verpackung |
8.2 | Verpackung | -- | Mehrwafer Kassettenverpackung | Mehrwafer Kassettenverpackung | Mehrwafer Kassettenverpackung |
Detailliertes Diagramm



