8 Zoll 200 mm 4H-N SiC-Wafer, leitfähiger Dummy, Forschungsqualität

Kurze Beschreibung:

Mit der Weiterentwicklung der Transport-, Energie- und Industriemärkte steigt die Nachfrage nach zuverlässiger und leistungsstarker Leistungselektronik stetig. Um den Anforderungen an eine verbesserte Halbleiterleistung gerecht zu werden, setzen Gerätehersteller auf Halbleitermaterialien mit großem Bandabstand, wie beispielsweise unser 4H SiC Prime Grade-Portfolio an 4H n-Typ-Siliziumkarbid-Wafern (SiC).


Produktdetail

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Aufgrund seiner einzigartigen physikalischen und elektronischen Eigenschaften wird 200-mm-SiC-Wafer-Halbleitermaterial zur Herstellung von elektronischen Geräten mit hoher Leistung, hoher Temperaturbeständigkeit, Strahlungsbeständigkeit und Hochfrequenz verwendet. Der Preis für 8-Zoll-SiC-Substrate sinkt schrittweise, da die Technologie fortschreitet und die Nachfrage steigt. Jüngste technologische Entwicklungen haben zur Herstellung von 200-mm-SiC-Wafern im Produktionsmaßstab geführt. Die Hauptvorteile von SiC-Wafer-Halbleitermaterialien im Vergleich zu Si- und GaAs-Wafern: Die elektrische Feldstärke von 4H-SiC während eines Lawinendurchbruchs ist um mehr als eine Größenordnung höher als die entsprechenden Werte für Si und GaAs. Dies führt zu einer erheblichen Verringerung des Durchlasswiderstands Ron. Ein niedriger Durchlasswiderstand ermöglicht in Verbindung mit einer hohen Stromdichte und Wärmeleitfähigkeit die Verwendung sehr kleiner Chips für Leistungsbauelemente. Die hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC verringert den Wärmewiderstand des Chips. Die elektronischen Eigenschaften von Geräten auf Basis von SiC-Wafern sind über die Zeit und Temperatur sehr stabil, was eine hohe Produktzuverlässigkeit gewährleistet. Siliziumkarbid ist extrem beständig gegen harte Strahlung, ohne dass die elektronischen Eigenschaften des Chips beeinträchtigt werden. Die hohe Grenzbetriebstemperatur des Kristalls (über 600 °C) ermöglicht die Herstellung hochzuverlässiger Geräte für raue Betriebsbedingungen und spezielle Anwendungen. Wir können derzeit kontinuierlich kleine Chargen von 200-mm-SiC-Wafern liefern und haben einen Lagerbestand.

Spezifikation

Nummer Artikel Einheit Produktion Forschung Dummy
1. Parameter
1.1 Polytypie -- 4H 4H 4H
1.2 Oberflächenorientierung ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Elektrische Parameter
2.1 Dotierstoff -- n-Typ Stickstoff n-Typ Stickstoff n-Typ Stickstoff
2.2 spezifischer Widerstand Ohm · cm 0,015 bis 0,025 0,01 bis 0,03 NA
3. Mechanische Parameter
3.1 Durchmesser mm 200 ± 0,2 200 ± 0,2 200 ± 0,2
3.2 Dicke μm 500 ± 25 500 ± 25 500 ± 25
3.3 Kerbenausrichtung ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Kerbtiefe mm 1 bis 1,5 1 bis 1,5 1 bis 1,5
3.5 LTV μm ≤5 (10 mm x 10 mm) ≤5 (10 mm x 10 mm) ≤10 (10 mm x 10 mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Bogen μm -25 bis 25 -45 bis 45 -65 bis 65
3.8 Kette μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Struktur
4.1 Mikrorohrdichte Stück/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 Metallgehalt Atome/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD Stück/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Borderline-Persönlichkeitsstörung Stück/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED Stück/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Positive Qualität
5.1 Front -- Si Si Si
5.2 Oberflächenbeschaffenheit -- Si-Fläche CMP Si-Fläche CMP Si-Fläche CMP
5.3 Teilchen Stück/Wafer ≤100 (Größe ≥0,3 μm) NA NA
5.4 kratzen Stück/Wafer ≤5, Gesamtlänge ≤200 mm NA NA
5.5 Rand
Absplitterungen/Einkerbungen/Risse/Flecken/Verunreinigungen
-- Keiner Keiner NA
5.6 Polytypbereiche -- Keiner Fläche ≤10% Fläche ≤30%
5.7 Frontmarkierung -- Keiner Keiner Keiner
6. Rückenqualität
6.1 Rückseite -- C-Gesicht MP C-Gesicht MP C-Gesicht MP
6.2 kratzen mm NA NA NA
6.3 Rückseite Defekte Kante
Absplitterungen/Einkerbungen
-- Keiner Keiner NA
6.4 Rauheit auf der Rückseite nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Rückseitenmarkierung -- Kerbe Kerbe Kerbe
7. Kante
7.1 Rand -- Fase Fase Fase
8. Paket
8.1 Verpackung -- Epi-ready mit Vakuum
Verpackung
Epi-ready mit Vakuum
Verpackung
Epi-ready mit Vakuum
Verpackung
8.2 Verpackung -- Mehrwafer
Kassettenverpackung
Mehrwafer
Kassettenverpackung
Mehrwafer
Kassettenverpackung

Detailliertes Diagramm

8 Zoll SiC03
8 Zoll SiC4
8 Zoll SiC5
8 Zoll SiC6

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