50,8 mm 2 Zoll GaN auf Saphir-Epi-Schicht-Wafer
Anwendung einer epitaktischen Galliumnitrid-GaN-Folie
Basierend auf der Leistung von Galliumnitrid eignen sich epitaktische Galliumnitrid-Chips hauptsächlich für Anwendungen mit hoher Leistung, hoher Frequenz und niedriger Spannung.
Es spiegelt sich wider in:
1) Hohe Bandlücke: Eine hohe Bandlücke verbessert den Spannungspegel von Galliumnitrid-Geräten und kann eine höhere Leistung als Galliumarsenid-Geräte ausgeben, was besonders für 5G-Kommunikationsbasisstationen, Militärradar und andere Bereiche geeignet ist;
2) Hohe Umwandlungseffizienz: Der Einschaltwiderstand von Galliumnitrid-Schaltleistungselektronikgeräten ist drei Größenordnungen niedriger als der von Siliziumgeräten, wodurch der Einschaltverlust erheblich reduziert werden kann.
3) Hohe Wärmeleitfähigkeit: Die hohe Wärmeleitfähigkeit von Galliumnitrid sorgt für eine hervorragende Wärmeableitungsleistung und eignet sich für die Herstellung von Geräten mit hoher Leistung, hohen Temperaturen und anderen Bereichen.
4) Elektrische Durchschlagsfeldstärke: Obwohl die elektrische Durchschlagsfeldstärke von Galliumnitrid aufgrund des Halbleiterprozesses, der Materialgitterfehlanpassung und anderer Faktoren nahe an der von Siliziumnitrid liegt, beträgt die Spannungstoleranz von Galliumnitrid-Geräten normalerweise etwa 1000 V Die sichere Betriebsspannung liegt normalerweise unter 650 V.
| Artikel | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
| Maße | 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
| Dicke | 4,5 ± 0,5 um | 4,5 ± 0,5 um | |
| Orientierung | C-Ebene (0001) ±0,5° | ||
| Leitungstyp | N-Typ (undotiert) | N-Typ (Si-dotiert) | P-Typ (Mg-dotiert) |
| Widerstand (3O0K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q・cm | ~ 10 Q・cm |
| Trägerkonzentration | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
| Mobilität | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs | ~ 10 cm2/Vs |
| Versetzungsdichte | Weniger als 5x108cm-2(berechnet durch FWHMs von XRD) | ||
| Substratstruktur | GaN auf Saphir (Standard: SSP Option: DSP) | ||
| Nutzfläche | > 90 % | ||
| Paket | Verpackt in einer Reinraumumgebung der Klasse 100, in Kassetten zu 25 Stück oder Einzelwaferbehältern, unter einer Stickstoffatmosphäre. | ||
* Andere Stärken können individuell angepasst werden
Detailliertes Diagramm
