4 Zoll 6 Zoll Lithiumniobat-Einkristallfilm LNOI-Wafer

Kurze Beschreibung:

Lithiumniobat verfügt über hervorragende elektrooptische, nichtlineare und piezoelektrische Eigenschaften. Mithilfe fortschrittlicher Mikro- und Nanoverarbeitungstechnologie wurden integrierte photonische Bauelemente auf Basis von Lithiumniobat-Dünnschichten (LNOI) auf Isolatoren umfassend entwickelt. Leistungsstarke LNOI-Materialien werden künftig die Weiterentwicklung der LNOI-basierten Mikro-Nanooptik, der integrierten Photonik und der Mikrowellenphotonik unterstützen. Die Herstellung leistungsstarker LNOI-Materialien ist ein wichtiger Schritt für die industrielle Anwendung optoelektronischer Bauelemente auf Lithiumniobatbasis.

Senden Sie uns eine E-Mail

Produktdetail

Produkt Tags

Der Herstellungsprozess von LNOI-Materialien gliedert sich im Wesentlichen in die folgenden vier Schritte

(1) He-Ionen wurden mit einer bestimmten Energie in das X-geschnittene Lithiumniobatmaterial injiziert und in einer bestimmten Tiefe unter der Oberflächenschicht aus Lithiumniobat in die Defektschicht eingeführt;

(2) Das ionenimplantierte Lithiumniobatmaterial wird mit einer Oxidschicht auf ein Siliziumsubstrat geklebt, um eine Verbindungsstruktur zu bilden.

(3) Die Verbindungsstruktur wurde getempert, um die durch die He-Ionenimplantation entstandenen Defekte zu lösen und zu Rissen zu aggregieren. Anschließend wurde das Lithiumniobat entlang der Defektschicht abgetrennt, um die restlichen Lithiumniobatscheiben und LNOI-Wafer zu bilden.

Anwendungen und Vorteile von LNOI-Wafer

1. Lithiumniobat-Piezofilme (LNOI) verfügen über einen hohen piezoelektrischen Koeffizienten und eine hohe Dielektrizitätskonstante, wodurch sie mechanische Energie in elektrische oder elektrische in mechanische Energie umwandeln können. Daher finden sie breite Anwendung in Sensoren wie Drucksensoren, Beschleunigungssensoren, Temperatursensoren usw. Darüber hinaus können Lithiumniobat-Piezofilme auch in akustischen und Vibrationsgeräten wie komplexen piezoelektrischen Keramikwandlern und piezoelektrischen Keramikfiltern eingesetzt werden.

2. Die Stabilität des piezoelektrischen Lithiumniobatfilms ist ebenfalls einer seiner Vorteile. Aufgrund seiner Kristallstrukturstabilität und chemischen Inertheit kann der piezoelektrische Lithiumniobatfilm bei hohen Temperaturen, hoher Luftfeuchtigkeit, starken Säuren, starken Basen und anderen rauen Umgebungen mit guter Korrosionsbeständigkeit und Haltbarkeit eingesetzt werden.

3-Lithiumniobat-Piezofolie ist ein neues piezoelektrisches Material mit hervorragender Leistung und Stabilität und bietet breite Anwendungsmöglichkeiten. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie wird Lithiumniobat-Piezofolie in immer mehr Städten eingesetzt und so für mehr Komfort und Innovation im Leben der Menschen sorgen.