4-Zoll-6-Zoll-Lithiumniobat-Einkristallfilm-LNOI-Wafer
Der Herstellungsprozess von LNOI-Materialien lässt sich im Wesentlichen in folgende vier Schritte unterteilen.
(1) He-Ionen wurden mit einer bestimmten Energie in das X-geschnittene Lithiumniobat-Material injiziert und in die Defektschicht in einer bestimmten Tiefe unterhalb der Oberflächenschicht des Lithiumniobats eingebracht;
(2) Das ionenimplantierte Lithiumniobatmaterial wird mit einer Oxidschicht auf ein Siliziumsubstrat gebunden, um eine Bindungsstruktur zu bilden;
(3) Die Bindungsstruktur wurde getempert, um die durch die Heliumionenimplantation eingebrachten Defekte weiterzuentwickeln und zu Rissen zusammenzuführen. Abschließend wurde das Lithiumniobat entlang der Defektschicht abgetrennt, um die Restlithiumniobatscheiben und LNOI-Wafer zu erhalten.
Anwendungen und Vorteile von LNOI-Wafern
1 – Lithiumniobat-Piezofilme (LNOI) weisen einen hohen piezoelektrischen Koeffizienten und eine hohe Dielektrizitätskonstante auf und können mechanische Energie in elektrische Energie bzw. elektrische Energie in mechanische Energie umwandeln. Daher finden sie breite Anwendung im Bereich der Sensorik, beispielsweise als Druck-, Beschleunigungs- und Temperatursensoren. Darüber hinaus eignen sich Lithiumniobat-Piezofilme auch für akustische und Schwingungsgeräte, wie z. B. piezoelektrische Keramikwandler und komplexe piezoelektrische Keramikfilter.
2. Die Stabilität von Lithiumniobat-Piezoelektrikumfilmen ist ein weiterer Vorteil. Aufgrund seiner stabilen Kristallstruktur und chemischen Inertheit eignet es sich für den Einsatz in Umgebungen mit hohen Temperaturen, hoher Luftfeuchtigkeit, starken Säuren, starken Laugen und anderen rauen Bedingungen und zeichnet sich durch gute Korrosionsbeständigkeit und Langlebigkeit aus.
3-Lithiumniobat-Piezofilm ist ein neuartiges piezoelektrisches Material mit hervorragenden Eigenschaften und hoher Stabilität und einem breiten Anwendungsspektrum. Dank des kontinuierlichen wissenschaftlichen und technologischen Fortschritts wird Lithiumniobat-Piezofilm in immer mehr Städten eingesetzt und so den Alltag der Menschen komfortabler und innovativer gestalten.
Detailliertes Diagramm
