4-Zoll-6-Zoll-Lithiumniobat-Einkristallfilm-LNOI-Wafer

Kurzbeschreibung:

Lithiumniobat verfügt über hervorragende elektrooptische, nichtlineare und piezoelektrische Eigenschaften. Mit Hilfe fortschrittlicher Mikro- und Nanoverarbeitungstechnologie wurden in großem Umfang integrierte Photonikgeräte entwickelt, die auf Lithiumniobat-Dünnfilmen (LNOI) auf Isolatoren basieren. Hochleistungsfähige LNOI-Materialien werden in Zukunft die Weiterentwicklung der LNOI-basierten Mikro-Nano-Optik, der integrierten Photonik und der Mikrowellenphotonik unterstützen. Die Produktion von Hochleistungs-LNOI-Materialien wird ein wichtiger Schritt in der industriellen Anwendung optoelektronischer Lithiumniobat-Geräte sein.

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Produktdetails

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Der Herstellungsprozess von LNOI-Materialien ist hauptsächlich in die folgenden vier Schritte unterteilt

(1) He-Ionen wurden mit einer bestimmten Energie in das X-Schnitt-Lithiumniobat-Material injiziert und in einer bestimmten Tiefe unter der Oberflächenschicht aus Lithiumniobat in die Defektschicht eingeführt;

(2) Das ionenimplantierte Lithiumniobatmaterial wird mit einer Oxidschicht an ein Siliziumsubstrat gebunden, um eine Bindungsstruktur zu bilden.

(3) Die Bindungsstruktur wurde getempert, damit sich die durch die He-Ionenimplantation eingeführten Defekte entwickeln und zu Rissen aggregieren. Schließlich wurde das Lithiumniobat entlang der Defektschicht abgetrennt, um die restlichen Lithiumniobatscheiben und LNOI-Wafer zu bilden.

Anwendungen und Vorteile von LNOI-Wafern

1 – Piezoelektrische Lithiumniobat-Filme (LNOI) haben einen hohen piezoelektrischen Koeffizienten und eine hohe Dielektrizitätskonstante, die mechanische Energie in elektrische Energie oder elektrische Energie in mechanische Energie umwandeln können. Daher wird es häufig im Bereich der Sensoren wie Drucksensoren, Beschleunigungssensoren, Temperatursensoren usw. eingesetzt. Darüber hinaus kann der piezoelektrische Film aus Lithiumniobat auch in akustischen Geräten und Vibrationsgeräten verwendet werden, beispielsweise in komplexen piezoelektrischen Keramikfiltern für piezoelektrische Keramikwandler.

2-Die Stabilität des piezoelektrischen Films aus Lithiumniobat ist ebenfalls einer seiner Vorteile. Aufgrund seiner Kristallstrukturstabilität und chemischen Inertheit kann der piezoelektrische Film aus Lithiumniobat bei hohen Temperaturen, hoher Luftfeuchtigkeit, starker Säure, starkem Alkali und anderen rauen Umgebungen mit guter Korrosionsbeständigkeit und Haltbarkeit arbeiten.

Der piezoelektrische Film aus 3-Lithiumniobat ist ein neues piezoelektrisches Material mit hervorragender Leistung und Stabilität und hat eine breite Anwendungsperspektive. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie werden piezoelektrische Lithiumniobat-Folien in immer mehr Städten eingesetzt, was mehr Komfort und Innovation in das Leben der Menschen bringt