4 Zoll 6 Zoll Lithiumniobat-Einkristallfilm LNOI-Wafer
Der Herstellungsprozess von LNOI-Materialien gliedert sich im Wesentlichen in die folgenden vier Schritte
(1) He-Ionen wurden mit einer bestimmten Energie in das X-geschnittene Lithiumniobatmaterial injiziert und in einer bestimmten Tiefe unter der Oberflächenschicht aus Lithiumniobat in die Defektschicht eingeführt;
(2) Das ionenimplantierte Lithiumniobatmaterial wird mit einer Oxidschicht an ein Siliziumsubstrat gebunden, um eine Verbindungsstruktur zu bilden.
(3) Die Verbindungsstruktur wurde getempert, um die durch die He-Ionenimplantation entstandenen Defekte zu lösen und zu Rissen zu aggregieren. Anschließend wurde das Lithiumniobat entlang der Defektschicht abgetrennt, um die restlichen Lithiumniobatscheiben und LNOI-Wafer zu bilden.
Anwendungen und Vorteile von LNOI-Wafer
1. Lithiumniobat-Piezofilme (LNOI) verfügen über einen hohen piezoelektrischen Koeffizienten und eine hohe Dielektrizitätskonstante, wodurch sie mechanische Energie in elektrische Energie oder elektrische Energie in mechanische Energie umwandeln können. Daher finden sie breite Anwendung im Bereich der Sensorik, beispielsweise in Drucksensoren, Beschleunigungssensoren, Temperatursensoren usw. Darüber hinaus können Lithiumniobat-Piezofilme auch in akustischen Geräten und Vibrationsgeräten eingesetzt werden, beispielsweise in komplexen piezoelektrischen Keramikwandlern und piezoelektrischen Keramikfiltern.
2. Die Stabilität des piezoelektrischen Lithiumniobatfilms ist ebenfalls einer seiner Vorteile. Aufgrund seiner Kristallstrukturstabilität und chemischen Inertheit kann der piezoelektrische Lithiumniobatfilm bei hohen Temperaturen, hoher Luftfeuchtigkeit, starken Säuren, starken Laugen und anderen rauen Umgebungen mit guter Korrosionsbeständigkeit und Haltbarkeit eingesetzt werden.
3-Lithiumniobat-Piezoelektrikum ist ein neues piezoelektrisches Material mit hervorragender Leistung und Stabilität und bietet breite Anwendungsmöglichkeiten. Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung von Wissenschaft und Technologie wird Lithiumniobat-Piezoelektrikum in immer mehr Städten eingesetzt und bringt mehr Komfort und Innovation in das Leben der Menschen.
Detailliertes Diagramm
