2 Zoll 50,8 mm Saphir-Wafer C-Ebene M-Ebene R-Ebene A-Ebene Dicke 350 µm 430 µm 500 µm
Spezifikation verschiedener Orientierungen
Orientierung | C(0001)-Achse | R(1-102)-Achse | M(10-10)-Achse | A(11-20)-Achse | ||
Physikalische Eigenschaften | Die C-Achse hat Kristalllicht und die anderen Achsen haben Negativlicht. Ebene C ist flach, vorzugsweise geschnitten. | R-Ebene etwas schwieriger als A. | M-Hobel ist stufenförmig gezahnt, nicht leicht zu schneiden, leicht zu schneiden. | Die Härte der A-Ebene ist deutlich höher als die der C-Ebene, was sich in Verschleißfestigkeit, Kratzfestigkeit und hoher Härte äußert. Die seitliche A-Ebene ist eine Zickzack-Ebene, die leicht zu schneiden ist. | ||
Anwendungen | C-orientierte Saphirsubstrate werden zum Züchten von III-V- und II-VI-Schichten wie Galliumnitrid verwendet, aus denen blaue LED-Produkte, Laserdioden und Infrarotdetektoranwendungen hergestellt werden können. | R-orientiertes Substratwachstum verschiedener abgeschiedener Silizium-Extrasysteme, verwendet in integrierten Schaltkreisen der Mikroelektronik. | Es wird hauptsächlich zum Züchten unpolarer/halbpolarer epitaktischer GaN-Filme verwendet, um die Lichtausbeute zu verbessern. | Die A-Orientierung zum Substrat erzeugt eine gleichmäßige Permittivität/Medium, und in der hybriden Mikroelektronik-Technologie wird ein hoher Isolationsgrad genutzt. Hochtemperatur-Supraleiter können aus länglichen A-Basiskristallen hergestellt werden. | ||
Verarbeitungskapazität | Gemustertes Saphirsubstrat (PSS): Durch Wachstum oder Ätzen werden nanometergenaue, regelmäßige Mikrostrukturmuster entworfen und auf dem Saphirsubstrat hergestellt, um die Lichtausgabeform der LED zu steuern, die unterschiedlichen Defekte beim Wachstum von GaN auf dem Saphirsubstrat zu verringern, die Epitaxiequalität zu verbessern, die interne Quanteneffizienz der LED zu steigern und die Effizienz der Lichtextraktion zu erhöhen. Darüber hinaus können Saphirprismen, Spiegel, Linsen, Löcher, Kegel und andere Strukturteile entsprechend den Kundenanforderungen individuell angepasst werden. | |||||
Eigentumserklärung | Dichte | Härte | Schmelzpunkt | Brechungsindex (sichtbar und infrarot) | Transmission (DSP) | Dielektrizitätskonstante |
3,98 g/cm³ | 9 (Mohs) | 2053℃ | 1,762 bis 1,770 | ≥85 % | 11,58 bei 300 K auf der C-Achse (9,4 auf der A-Achse) |
Detailliertes Diagramm


