2 Zoll (50,8 mm) Saphirwafer C-Ebene M-Ebene R-Ebene A-Ebene Dicke 350 µm 430 µm 500 µm
Spezifikation verschiedener Ausrichtungen
| Orientierung | C(0001)-Achse | R(1-102)-Achse | M(10-10) -Achse | A(11-20)-Achse | ||
| Physikalische Eigenschaften | Die C-Achse weist kristallines Licht auf, die anderen Achsen negatives Licht. Die Ebene C ist flach, vorzugsweise geschnitten. | Die R-Ebene ist etwas schwieriger als die A-Ebene. | Die M-Ebene ist gestuft und gezahnt, nicht leicht zu schneiden, leicht zu schneiden. | Die Härte der A-Ebene ist deutlich höher als die der C-Ebene, was sich in Verschleißfestigkeit, Kratzfestigkeit und hoher Härte äußert; Die seitliche A-Ebene ist eine Zickzack-Ebene, die leicht zu schneiden ist; | ||
| Anwendungen | Auf C-orientierten Saphirsubstraten werden III-V- und II-VI-Schichten, wie zum Beispiel Galliumnitrid, abgeschieden, aus denen blaue LED-Produkte, Laserdioden und Infrarotdetektoren hergestellt werden können. | R-orientiertes Substratwachstum verschiedener abgeschiedener Silizium-Extrasystale, die in mikroelektronischen integrierten Schaltungen verwendet werden. | Es wird hauptsächlich zur Herstellung von nichtpolaren/semipolaren GaN-Epitaxieschichten verwendet, um die Lichtausbeute zu verbessern. | Eine A-Orientierung zum Substrat erzeugt eine gleichmäßige Permittivität des Mediums und ermöglicht eine hohe Isolationsfähigkeit, die in der hybriden Mikroelektronik genutzt wird. Hochtemperatursupraleiter lassen sich aus länglichen Kristallen mit A-Basis herstellen. | ||
| Verarbeitungskapazität | Muster-Saphirsubstrat (PSS): Durch Wachstum oder Ätzen werden nanometerspezifische, regelmäßige Mikrostrukturmuster auf dem Saphirsubstrat entworfen und hergestellt, um die Lichtausbeute der LED zu steuern, differentielle Defekte im auf dem Saphirsubstrat wachsenden GaN zu reduzieren, die Epitaxiequalität zu verbessern, die interne Quanteneffizienz der LED zu steigern und die Lichtausbeute zu erhöhen. Darüber hinaus können Saphirprismen, Spiegel, Linsen, Löcher, Kegel und andere Strukturteile nach Kundenwunsch individuell angepasst werden. | |||||
| Eigentumserklärung | Dichte | Härte | Schmelzpunkt | Brechungsindex (sichtbares und infrarotes Licht) | Transmission (DSP) | Dielektrizitätskonstante |
| 3,98 g/cm³ | 9 (Mohs) | 2053℃ | 1,762–1,770 | ≥85% | 11,58 bei 300 K auf der C-Achse (9,4 auf der A-Achse) | |
Detailliertes Diagramm





