100 mm 4 Zoll GaN auf Saphir-Epischicht-Wafer Galliumnitrid-Epitaxie-Wafer
Der Wachstumsprozess der Quantentopfstruktur einer blauen GaN-LED. Der detaillierte Prozessablauf ist wie folgt
(1) Beim Hochtemperaturbacken wird das Saphirsubstrat zunächst in einer Wasserstoffatmosphäre auf 1050 °C erhitzt, um die Substratoberfläche zu reinigen.
(2) Wenn die Substrattemperatur auf 510 °C sinkt, wird eine Niedertemperatur-GaN/AlN-Pufferschicht mit einer Dicke von 30 nm auf der Oberfläche des Saphirsubstrats abgeschieden.
(3) Die Temperatur steigt auf 10 °C, die Reaktionsgase Ammoniak, Trimethylgallium und Silan werden eingespeist, wobei die entsprechende Durchflussrate gesteuert wird, und das mit Silizium dotierte N-Typ-GaN mit einer Dicke von 4 µm wird gezüchtet.
(4) Das Reaktionsgas aus Trimethylaluminium und Trimethylgallium wurde verwendet, um siliziumdotierte N-Typ-A⒑-Kontinente mit einer Dicke von 0,15 µm herzustellen;
(5) 50 nm Zn-dotiertes InGaN wurde durch Injektion von Trimethylgallium, Trimethylindium, Diethylzink und Ammoniak bei einer Temperatur von 800 °C und Steuerung unterschiedlicher Durchflussraten hergestellt;
(6) Die Temperatur wurde auf 1020 °C erhöht, Trimethylaluminium, Trimethylgallium und Bis(cyclopentadienyl)magnesium wurden injiziert, um 0,15 µm Mg dotiertes P-Typ-AlGaN und 0,5 µm Mg dotiertes P-Typ-G-Blutzucker herzustellen;
(7) Durch Glühen in einer Stickstoffatmosphäre bei 700 °C wurde ein hochwertiger P-Typ-GaN-Sibuyan-Film erhalten;
(8) Ätzen der P-Typ-G-Stasisoberfläche, um die N-Typ-G-Stasisoberfläche freizulegen;
(9) Aufdampfen von Ni/Au-Kontaktplatten auf die p-GaNI-Oberfläche, Aufdampfen von Δ/Al-Kontaktplatten auf die ll-GaN-Oberfläche zur Bildung von Elektroden.
Technische Daten
| Artikel | GaN-TCU-C100 | GaN-TCN-C100 |
| Maße | e 100 mm ± 0,1 mm | |
| Dicke | 4,5 ± 0,5 um Kann angepasst werden | |
| Orientierung | C-Ebene(0001) ±0,5° | |
| Leitungstyp | N-Typ (undotiert) | N-Typ (Si-dotiert) |
| Widerstand (300 K) | < 0,5 Q・cm | < 0,05 Q・cm |
| Trägerkonzentration | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 |
| Mobilität | ~ 300 cm2/Vs | ~ 200 cm2/Vs |
| Versetzungsdichte | Weniger als 5x108cm-2(berechnet anhand der Halbwertsbreiten von XRD) | |
| Substratstruktur | GaN auf Saphir (Standard: SSP, Option: DSP) | |
| Nutzfläche | > 90 % | |
| Paket | Verpackt in einer Reinraumumgebung der Klasse 100, in Kassetten zu 25 Stück oder Einzelwaferbehältern, unter Stickstoffatmosphäre. | |
Detailliertes Diagramm
