Ultrapräzise SiC-Luftlagerbühne

Abbildung eines ultrapräzisen SiC-Luftlagertisches

Kurzbeschreibung:

Mit der ständigen Weiterentwicklung der Halbleiterindustrie steigen die Anforderungen an Verarbeitungs- und Prüfgeräte. Aufbauend auf unserer umfassenden Expertise in Bewegungssteuerung und Nanometer-Positionierung haben wir einen planaren, zweiachsigen Ultrapräzisions-Luftlagertisch in H-Bauweise entwickelt.

Senden Sie uns eine E-Mail.

Merkmale

Detailliertes Diagramm

Überblick

Dank einer mittels Finite-Elemente-Methode optimierten Siliziumkarbid-Keramikstruktur (SiC) und kompensierter Luftlagertechnologie bietet der Tisch herausragende Genauigkeit, Steifigkeit und dynamisches Ansprechverhalten. Er eignet sich ideal für:

Halbleiterverarbeitung und -prüfung
Mikro-/Nanofabrikation und Metrologie
Nanometergenaues Fliegenschneiden und Polieren
Hochgeschwindigkeits-Präzisionsscanning

Hauptmerkmale

SiC-Luftlagerführungfür höchste Steifigkeit und Präzision
Hohe DynamikGeschwindigkeit bis zu 1 m/s, Beschleunigung bis zu 4 g, schnelles Absinken
Doppelantrieb-Portal-Y-Achsegewährleistet hohe Belastbarkeit und Stabilität
Encoder-Optionen: optisches Gitter oder Laserinterferometer
Positioniergenauigkeit: ±0,15 μm;Wiederholbarkeit: ±75 nm
Optimierte Kabelführungfür ein sauberes Design und langfristige Zuverlässigkeit
Anpassbare Konfigurationenfür anwendungsspezifische Anforderungen

Hochpräzises Design & Direktantrieb, berührungslose Architektur

SiC-Keramikrahmen: Etwa 5-mal höhere Steifigkeit als eine Aluminiumlegierung und etwa 5-mal geringere Wärmeausdehnung, was für hohe Geschwindigkeitsstabilität und thermische Robustheit sorgt.
Kompensiertes Luftlager: Das firmeneigene Design verbessert Steifigkeit, Belastbarkeit und Bewegungsstabilität.
Dynamische LeistungUnterstützt Geschwindigkeiten von bis zu 1 m/s und Beschleunigungen von bis zu 4 g und ist somit ideal für Prozesse mit hohem Durchsatz.
Nahtlose IntegrationKompatibel mit Schwingungsisolationssystemen, Drehtischen, Kippmodulen und Wafer-Handhabungsplattformen.
Kabelmanagement: Der kontrollierte Biegeradius minimiert die Spannung und verlängert so die Lebensdauer.

Kernloser LinearmotorGleichmäßige Bewegung ohne Rastmoment.
MehrmotorenantriebDie Anordnung der Motoren in der Lastebene verbessert Geradlinigkeit, Ebenheit und Winkelgenauigkeit.
WärmedämmungDie Motoren sind von der Bühnenkonstruktion isoliert; optionale Luft- oder Wasserkühlung für hohe Betriebszyklen.

Spezifikationen

Modell	400-400	500-500	600-600
Achsen	X (Scan) / Y (Schritt)	X (Scan) / Y (Schritt)	X (Scan) / Y (Schritt)
Hub (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Genauigkeit (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Wiederholgenauigkeit (nm)	±75	±100	±100
Auflösung (nm)	0,3	0,3	0,3
Höchstgeschwindigkeit (m/s)	1	1	1
Beschleunigung (g)	4	4	4
Geradheit (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilität (nm)	±5	±5	±5
Maximale Belastung (kg)	20	20	20
Nick-/Roll-/Gierwinkel (Bogensekunden)	±1	±1	±1

Testbedingungen:

Luftzufuhr: sauber, trocken; Taupunkt ≤ 0°F; Partikelfiltration ≤ 0,25 μm; oder 99,99% Stickstoff.
Die Genauigkeit wurde 25 mm über der Tischmitte bei 20±1 °C und 40–60 % relativer Luftfeuchtigkeit gemessen.

Anwendungen

Halbleiterlithografie, Inspektion und Waferhandhabung
Mikro-/Nanofabrikation und Präzisionsmesstechnik
Hochwertige Optikfertigung und Interferometrie
Luft- und Raumfahrt sowie fortgeschrittene wissenschaftliche Forschung

Häufig gestellte Fragen – Siliziumkarbid-Luftlagerbühne

1. Was ist ein luftgelagerter Tisch?

Ein luftgelagerter Tisch nutzt einen dünnen Film aus Druckluft zwischen Tisch und Führungsbahn, um …reibungslose, verschleißfreie und extrem sanfte BewegungIm Gegensatz zu herkömmlichen mechanischen Lagern eliminiert es Stick-Slip, bietet Genauigkeit im Nanometerbereich und gewährleistet langfristige Zuverlässigkeit.

2. Warum wird Siliziumkarbid (SiC) für die Bühnenstruktur verwendet?

Hohe Steifigkeit: etwa 5-mal so groß wie bei Aluminiumlegierungen, wodurch die Verformung bei dynamischer Bewegung minimiert wird.
Geringe Wärmeausdehnung: ~5× niedriger als bei Aluminium, wobei die Genauigkeit auch bei Temperaturschwankungen erhalten bleibt.
LeichtGeringere Dichte als Stahl, was einen Betrieb mit hohen Geschwindigkeiten und hohen Beschleunigungen ermöglicht.
Ausgezeichnete Stabilität: Überlegene Dämpfung und Steifigkeit für ultrapräzise Positionierung.

3. Benötigt die Bühne Schmierung oder Wartung?

Eine herkömmliche Schmierung ist nicht erforderlich, dakein mechanischer KontaktEmpfohlene Wartungsarbeiten umfassen:

Lieferungsaubere, trockene Druckluft oder Stickstoff
Regelmäßige Überprüfung von Filtern und Trocknern
Überwachungskabel und Kühlsysteme

4. Welche Anforderungen werden an die Luftzufuhr gestellt?

Taupunkt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikelfiltration: ≤ 0,25 μm
Saubere, trockene Luft oder 99,99 % reiner Stickstoff
Stabiler Druck mit minimalen Schwankungen

Über uns

XKH ist spezialisiert auf die Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von Spezialglas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte finden Anwendung in der Optoelektronik, der Unterhaltungselektronik und im Militärbereich. Wir bieten optische Saphirkomponenten, Objektivabdeckungen für Mobiltelefone, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SiC), Quarz und Halbleiterkristallwafer an. Dank unserer Expertise und modernster Ausrüstung zeichnen wir uns durch die Fertigung von Sonderanfertigungen aus und streben die Position eines führenden Hightech-Unternehmens für optoelektronische Materialien an.