TVG-Prozess auf Quarz-Saphir-BF33-Wafer. Glas-Wafer-Stanzen

Kurzbeschreibung:

TGV-Prozess (Through Glass Via), durch Laserinduktion und Nasskorrosionsprozess, um eine kleine Öffnung (Min. 10 μm) durch das Glassubstrat zu erreichen, Sacklochbehandlung

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Die Vorteile des TGV (Through Glass Via) zeigen sich vor allem in:

1) Hervorragende elektrische Hochfrequenzeigenschaften. Glasmaterial ist ein Isolatormaterial, die Dielektrizitätskonstante beträgt nur etwa 1/3 der des Siliziummaterials, der Verlustfaktor ist 2-3 Größenordnungen niedriger als der des Siliziummaterials, wodurch der Substratverlust und parasitäre Effekte stark reduziert werden, um sicherzustellen, dass Integrität des übertragenen Signals;

(2) Große und ultradünne Glassubstrate sind leicht zu erhalten. Wir können Saphir-, Quarz-, Corning- und SCHOTT-Glas anbieten, und andere Glashersteller können ultragroßes (>2 m × 2 m) und ultradünnes (<50 µm) Tafelglas sowie ultradünne flexible Glasmaterialien liefern.

3) Niedrige Kosten. Profitieren Sie vom einfachen Zugang zu großformatigen, ultradünnen Glasscheiben und erfordern keine Ablagerung von Isolierschichten. Die Produktionskosten einer Glasadapterplatte betragen nur etwa 1/8 der siliziumbasierten Adapterplatte.

4) Einfacher Prozess. Es ist nicht erforderlich, eine Isolierschicht auf der Substratoberfläche und der Innenwand des TGV (Through Glass Via) aufzubringen, und es ist keine Verdünnung der ultradünnen Adapterplatte erforderlich.

(5) Starke mechanische Stabilität. Selbst wenn die Dicke der Adapterplatte weniger als 100 µm beträgt, ist der Verzug noch gering;

6) Breites Anwendungsspektrum. Neben guten Anwendungsaussichten im Hochfrequenzbereich, da ein transparentes Material auch im Bereich der optoelektronischen Systemintegration eingesetzt werden kann, haben Luftdichtheits- und Korrosionsbeständigkeitsvorteile dem Glassubstrat im Bereich der MEMS-Verkapselung ein großes Potenzial.

Derzeit bietet unser Unternehmen die TGV-Glasdurchgangstechnologie (Through Glass Via) an, kann die Verarbeitung eingehender Materialien organisieren und das Produkt direkt bereitstellen. Wir können Saphir-, Quarz-, Corning-, SCHOTT-, BF33- und andere Gläser anbieten. Bei Bedarf können Sie sich jederzeit direkt an uns wenden! Willkommene Anfrage!