TGV Glassubstrate 12-Zoll-Wafer Glasstanzen

Glassubstrate weisen bessere thermische Eigenschaften und physikalische Stabilität auf, sind hitzebeständiger und weniger anfällig für Verformungen oder Deformationen aufgrund hoher Temperaturen.

Darüber hinaus ermöglichen die einzigartigen elektrischen Eigenschaften des Glaskerns geringere dielektrische Verluste und damit eine klarere Signal- und Leistungsübertragung. Dadurch werden Leistungsverluste bei der Signalübertragung reduziert und die Gesamteffizienz des Chips gesteigert. Die Dicke des Glaskernsubstrats kann im Vergleich zu ABF-Kunststoff um etwa die Hälfte reduziert werden, was die Signalübertragungsgeschwindigkeit und die Energieeffizienz verbessert.

Lochformtechnologie des TGV:

Beim laserinduzierten Ätzen wird durch einen gepulsten Laser eine kontinuierliche Denaturierungszone erzeugt. Anschließend wird das laserbehandelte Glas zum Ätzen in eine Flusssäurelösung gegeben. Die Ätzrate von Glas mit Denaturierungszone in Flusssäure ist schneller als die von nicht denaturiertem Glas, wodurch Durchgangslöcher entstehen.

TGV-Füllung:

Zunächst werden TGV-Sacklöcher hergestellt. Anschließend wird die Keimschicht durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) im TGV-Sackloch abgeschieden. Drittens wird durch Bottom-up-Galvanisierung eine nahtlose Füllung des TGV erreicht. Schließlich wird durch temporäres Verbinden, Rückschleifen und chemisch-mechanisches Polieren (CMP) Kupfer freigelegt und gelöst, wodurch eine metallgefüllte TGV-Transferplatte entsteht.