Siliziumkarbid-SiC-Keramik-Gabelarm/-Hand für kritische Handhabungssysteme

Kurze Beschreibung:

DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handist eine hochmoderne Komponente, die für die fortschrittliche industrielle Automatisierung, die Halbleiterverarbeitung und ultrareine Umgebungen entwickelt wurde. Seine ausgeprägte Gabelstruktur und die ultraflache Keramikoberfläche machen ihn ideal für die Handhabung empfindlicher Substrate, einschließlich Siliziumwafer, Glasplatten und optischer Geräte. Präzise konstruiert und aus ultrareinem Siliziumkarbid gefertigt,Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handbietet unübertroffene mechanische Festigkeit, thermische Zuverlässigkeit und Kontaminationskontrolle.

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Merkmale

Detailliertes Diagramm

Einführung von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand

Im Gegensatz zu herkömmlichen Metall- oder Kunststoffarmen ist derSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handliefert stabile Leistung unter extremen thermischen, chemischen und Vakuumbedingungen. Ob im Reinraum der Klasse 1 oder in einer Hochvakuum-Plasmakammer – diese Komponente gewährleistet den sicheren, effizienten und rückstandsfreien Transport wertvoller Teile.

Mit einer Struktur, die auf Roboterarme, Wafer-Handler und automatisierte Transferwerkzeuge zugeschnitten ist,Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handist ein intelligentes Upgrade für jedes Hochpräzisionssystem.

Herstellungsprozess von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen

Herstellung eines HochleistungsSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handbeinhaltet einen streng kontrollierten Arbeitsablauf in der Keramiktechnik, der Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und extrem niedrige Fehlerraten gewährleistet.

1. Werkstofftechnik

Bei der Herstellung derSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand, wodurch eine geringe ionische Verunreinigung und eine hohe Schüttfestigkeit gewährleistet werden. Die Pulver werden präzise mit Sinteradditiven und Bindemitteln gemischt, um eine optimale Verdichtung zu erreichen.

2. Bildung der Grundstruktur

Die Basisgeometrie desGabelarm/-handwird durch kaltisostatisches Pressen oder Spritzgießen hergestellt, was eine hohe Rohdichte und gleichmäßige Spannungsverteilung gewährleistet. Die U-förmige Konfiguration ist hinsichtlich des Steifigkeits-Gewichts-Verhältnisses und des dynamischen Verhaltens optimiert.

3. Sinterprozess

Der grüne Körper desSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird in einem Hochtemperatur-Inertgasofen bei über 2000 °C gesintert. Dieser Schritt gewährleistet eine nahezu theoretische Dichte und erzeugt ein Bauteil, das unter realen thermischen Belastungen resistent gegen Risse, Verformungen und Maßabweichungen ist.

4. Präzisionsschleifen und -bearbeitung

Mit fortschrittlichen CNC-Diamantwerkzeugen werden die endgültigen Abmessungen desSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand. Enge Toleranzen (±0,01 mm) und eine spiegelglatte Oberflächenbeschaffenheit reduzieren die Partikelfreisetzung und mechanische Belastung.

5. Oberflächenaufbereitung und -reinigung

Die abschließende Oberflächenbearbeitung umfasst chemisches Polieren und Ultraschallreinigung zur Vorbereitung derGabelarm/-handzur direkten Integration in Ultra-Clean-Systeme. Optionale Beschichtungen (CVD-SiC, Antireflexschichten) sind ebenfalls erhältlich.

Dieser sorgfältige Prozess garantiert, dass jederSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handerfüllt die strengsten Industriestandards, einschließlich der SEMI- und ISO-Reinraumanforderungen.

Parameter des Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarms/der -Hand

Artikel	Testbedingungen	Daten	Einheit
Siliziumkarbidgehalt	/	>99,5	%
Durchschnittliche Korngröße	/	4-10	Mikron
Dichte	/	>3,14	g/cm3
Scheinbare Porosität	/	<0,5	Vol %
Vickershärte	HV0.5	2800	kg/mm2
Bruchmodul (3 Punkte)	Größe des Prüfstabs: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Druckfestigkeit	20°C	3900	MPa
Elastizitätsmodul	20°C	420	GPa
Bruchzähigkeit	/	3.5	MPa/m^1/2
Wärmeleitfähigkeit	20°C	160	W/(mK)
Elektrischer Widerstand	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Wärmeausdehnungskoeffizient	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Max. Anwendungstemperatur	Oxidatmosphäre	1600	°C
Max. Anwendungstemperatur	Inerte Atmosphäre	1950	°C

Anwendungen von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen

DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handist für den Einsatz in hochpräzisen, risikoreichen und kontaminationsempfindlichen Anwendungen konzipiert. Es ermöglicht die zuverlässige Handhabung, Übertragung oder Unterstützung kritischer Komponenten ohne Kompromisse.

➤ Halbleiterindustrie

Wird als Robotergabel in Front-End-Wafer-Transfer- und FOUP-Stationen verwendet.
Integriert in Vakuumkammern für Plasmaätz- und PVD/CVD-Prozesse.
Fungiert als Trägerarm in Mess- und Wafer-Ausrichtungswerkzeugen.

DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handeliminiert das Risiko elektrostatischer Entladung (ESD), unterstützt die Maßgenauigkeit und widersteht Plasmakorrosion.

➤ Photonik und Optik

Unterstützt empfindliche Linsen, Laserkristalle und Sensoren während der Herstellung oder Inspektion.
Seine hohe Steifigkeit verhindert Vibrationen, während der Keramikkörper einer Verschmutzung optischer Oberflächen widersteht.

➤ Display- und Panelproduktion

Behandelt dünnes Glas, OLED-Module und LCD-Substrate während des Transports oder der Inspektion.
Die flache und chemisch inerteSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handschützt vor Kratzern oder chemischer Ätzung.

➤ Luft- und Raumfahrt und wissenschaftliche Instrumente

Wird in der Satellitenoptikmontage, Vakuumrobotik und Synchrotron-Strahllinienaufbauten verwendet.
Funktioniert einwandfrei in weltraumtauglichen Reinräumen und strahlungsgefährdeten Umgebungen.

In jedem FeldSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handverbessert die Systemeffizienz, reduziert Teileausfälle und minimiert Ausfallzeiten.

FAQ – Häufig gestellte Fragen zu Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen

F1: Was macht den Gabelarm/die Hand aus Siliziumkarbid-Keramik besser als Alternativen aus Metall?

DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handhat eine höhere Härte, geringere Dichte, bessere chemische Beständigkeit und eine deutlich geringere Wärmeausdehnung als Metalle. Es ist außerdem reinraumkompatibel und frei von Korrosion oder Partikelbildung.

F2: Kann ich Sondermaße für meinen Gabelarm/meine Gabelhand aus Siliziumkarbidkeramik anfordern?

Ja. Wir bieten komplette Anpassungen an, einschließlich Gabelbreite, Dicke, Montagelöchern, Ausschnitten und Oberflächenbehandlungen. Ob für 6", 8" oder 12" Wafer, IhreGabelarm/-handkann individuell angepasst werden.

F3: Wie lange hält der Gabelarm/die Hand aus Siliziumkarbid-Keramik unter Plasma oder Vakuum?

Dank des hochdichten SiC-Materials und der inerten Natur ist dieGabelarm/-handbleibt auch nach Tausenden von Prozesszyklen funktionsfähig. Es zeigt minimalen Verschleiß unter aggressiver Plasma- oder Vakuum-Wärmebelastung.

F4: Ist das Produkt für Reinräume der ISO-Klasse 1 geeignet?

Absolut. DieSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird in zertifizierten Reinraumanlagen hergestellt und verpackt, wobei die Partikelwerte deutlich unter den Anforderungen der ISO-Klasse 1 liegen.

F5: Was ist die maximale Betriebstemperatur für diesen Gabelarm/diese Hand?

DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handkann bei bis zu 1500 °C kontinuierlich betrieben werden und ist daher für den direkten Einsatz in Hochtemperatur-Prozesskammern und thermischen Vakuumsystemen geeignet.

Diese FAQs spiegeln die häufigsten technischen Anliegen von Ingenieuren, Laborleitern und Systemintegratoren wider, die dasSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand.

Über uns

XKH ist spezialisiert auf die Hightech-Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von speziellem optischem Glas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte kommen in der optischen Elektronik, der Unterhaltungselektronik und dem Militär zum Einsatz. Wir bieten optische Komponenten aus Saphir, Handy-Objektivabdeckungen, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SIC), Quarz und Halbleiterkristall-Wafer an. Dank unserer Fachkompetenz und modernster Ausrüstung sind wir in der Verarbeitung nicht standardisierter Produkte führend und streben danach, ein führendes Hightech-Unternehmen für optoelektronische Materialien zu werden.