Siliziumkarbid-Keramik-Schalensauger, Siliziumkarbid-Keramik-Rohrlieferung, Hochtemperatursintern, kundenspezifische Bearbeitung
Hauptmerkmale:
1. Keramikschale aus Siliziumkarbid
- Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die Härte ist vergleichbar mit der von Diamant und hält dem mechanischen Verschleiß bei der Waferbearbeitung über lange Zeit stand.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit und niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: schnelle Wärmeableitung und Dimensionsstabilität, wodurch Verformungen durch thermische Spannungen vermieden werden.
- Hohe Ebenheit und Oberflächengüte: Die Ebenheit der Oberfläche liegt im Mikrometerbereich und gewährleistet so einen vollständigen Kontakt zwischen Wafer und Scheibe, wodurch Verunreinigungen und Beschädigungen reduziert werden.
Chemische Stabilität: Hohe Korrosionsbeständigkeit, geeignet für Nassreinigungs- und Ätzprozesse in der Halbleiterfertigung.
2. Siliziumkarbid-Keramikrohr
- Hohe Temperaturbeständigkeit: Es kann über einen längeren Zeitraum in Umgebungen mit hohen Temperaturen über 1600°C eingesetzt werden und eignet sich daher für Hochtemperaturprozesse in der Halbleiterindustrie.
Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: beständig gegen Säuren, Laugen und eine Vielzahl chemischer Lösungsmittel, geeignet für raue Prozessumgebungen.
- Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Widerstehen Partikelerosion und mechanischem Verschleiß, verlängern die Lebensdauer.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit und niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: schnelle Wärmeleitung und Dimensionsstabilität, wodurch Verformungen oder Risse durch thermische Spannungen reduziert werden.
Produktparameter:
Parameter der Siliziumkarbid-Keramikschale:
| (Materialeigenschaft) | (Einheit) | (ssic) | |
| (SiC-Gehalt) | (Gew.-%) | >99 | |
| (Durchschnittliche Korngröße) | Mikron | 4-10 | |
| (Dichte) | kg/dm³ | >3,14 | |
| (Scheinbare Porosität) | Vo1% | <0,5 | |
| (Vickers-Härte) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Biegefestigkeit* (drei Punkte) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Druckfestigkeit) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastizitätsmodul) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Bruchzähigkeit) | MPa/m'% | 3,5 | |
| (Wärmeleitfähigkeit) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Widerstand) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Wärmeausdehnungskoeffizient) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maximale Betriebstemperatur) | °C | 1700 | |
Parameter von Siliziumkarbid-Keramikrohren:
| Artikel | Index |
| α-SIC | 99 % min |
| Scheinbare Porosität | maximal 16 % |
| Schüttdichte | 2,7 g/cm³ min |
| Biegefestigkeit bei hohen Temperaturen | 100 MPa min |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | K-1 4,7x10 -6 |
| Wärmeleitfähigkeitskoeffizient (1400ºC) | 24 W/mk |
| Maximale Betriebstemperatur | 1650ºC |
Hauptanwendungen:
1. Siliziumkarbid-Keramikplatte
- Waferschneiden und -polieren: Dient als Lagerplattform, um hohe Präzision und Stabilität beim Schneiden und Polieren zu gewährleisten.
- Lithographieprozess: Der Wafer wird in der Lithographiemaschine fixiert, um eine hochpräzise Positionierung während der Belichtung zu gewährleisten.
- Chemisch-mechanisches Polieren (CMP): dient als Trägerplattform für Polierpads und sorgt für gleichmäßigen Druck und gleichmäßige Wärmeverteilung.
2. Siliziumkarbid-Keramikrohr
- Hochtemperatur-Ofenrohr: Wird in Hochtemperaturanlagen wie Diffusionsöfen und Oxidationsöfen verwendet, um Wafer für die Hochtemperatur-Prozessbehandlung zu transportieren.
- CVD/PVD-Verfahren: Als Lagerrohr in der Reaktionskammer, beständig gegen hohe Temperaturen und korrosive Gase.
- Zubehör für Halbleiteranlagen: für Wärmetauscher, Gasleitungen usw., um die Wärmemanagementeffizienz der Anlagen zu verbessern.
XKH bietet ein umfassendes Spektrum an kundenspezifischen Dienstleistungen für Siliziumkarbid-Keramikschalen, Saugnäpfe und Siliziumkarbid-Keramikrohre. Siliziumkarbid-Keramikschalen und Saugnäpfe werden individuell nach Kundenwunsch hinsichtlich Größe, Form und Oberflächenrauheit gefertigt. Spezielle Beschichtungen verbessern die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit. Siliziumkarbid-Keramikrohre werden in verschiedenen Innen- und Außendurchmessern, Längen und komplexen Strukturen (z. B. Form- oder poröse Rohre) hergestellt. Polieren, Antioxidation-Beschichtungen und weitere Oberflächenbehandlungen werden ebenfalls angeboten. XKH stellt sicher, dass Kunden die Leistungsvorteile von Siliziumkarbid-Keramikprodukten voll ausschöpfen und die hohen Anforderungen von High-End-Fertigungsbranchen wie Halbleiter, LEDs und Photovoltaik erfüllen können.
Detailliertes Diagramm
