Saugnapf für Keramikschalen aus Siliziumkarbid. Versorgung mit Keramikrohren aus Siliziumkarbid, Hochtemperatursintern, kundenspezifische Verarbeitung
Haupteigenschaften:
1. Siliziumkarbid-Keramikschale
- Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die Härte kommt der von Diamant nahe und hält dem mechanischen Verschleiß bei der Waferverarbeitung lange stand.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit und niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: schnelle Wärmeableitung und Dimensionsstabilität, wodurch Verformungen durch thermische Spannungen vermieden werden.
- Hohe Ebenheit und Oberflächenbeschaffenheit: Die Oberflächenebenheit beträgt bis in den Mikrometerbereich, wodurch ein vollständiger Kontakt zwischen Wafer und Scheibe gewährleistet und Verunreinigungen und Schäden reduziert werden.
Chemische Stabilität: Starke Korrosionsbeständigkeit, geeignet für Nassreinigungs- und Ätzprozesse in der Halbleiterherstellung.
2. Siliziumkarbid-Keramikrohr
- Hohe Temperaturbeständigkeit: Es kann lange Zeit in Umgebungen mit hohen Temperaturen über 1600 °C eingesetzt werden und ist für den Hochtemperaturprozess von Halbleitern geeignet.
Hervorragende Korrosionsbeständigkeit: beständig gegen Säuren, Laugen und eine Vielzahl chemischer Lösungsmittel, geeignet für raue Prozessumgebungen.
- Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Widersteht Partikelerosion und mechanischem Verschleiß und verlängert die Lebensdauer.
- Hohe Wärmeleitfähigkeit und niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient: schnelle Wärmeleitung und Dimensionsstabilität, wodurch Verformungen oder Risse durch thermische Spannungen reduziert werden.
Produktparameter:
Parameter der Siliziumkarbid-Keramikschale:
| (Materialeigenschaft) | (Einheit) | (ssic) | |
| (SiC-Gehalt) | (Gew.) % | >99 | |
| (Durchschnittliche Korngröße) | Mikron | 4-10 | |
| (Dichte) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Scheinbare Porosität) | Vo1% | <0,5 | |
| (Vickershärte) | HV 0,5 | GPa | 28 |
| *() Biegefestigkeit* (drei Punkte) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Druckfestigkeit) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Elastizitätsmodul) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Bruchzähigkeit) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Wärmeleitfähigkeit) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Spezifischer Widerstand) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Wärmeausdehnungskoeffizient) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maximale Betriebstemperatur) | oºC | 1700 | |
Parameter der Siliziumkarbid-Keramikröhre:
| Artikel | Index |
| α-SIC | 99 % min |
| Scheinbare Porosität | 16 % max |
| Schüttdichte | 2,7 g/cm3 min |
| Biegefestigkeit bei hoher Temperatur | 100 MPa min |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | K-1 4,7 x 10 -6 |
| Wärmeleitfähigkeitskoeffizient (1400ºC) | 24 W/mk |
| Max. Betriebstemperatur | 1650ºC |
Hauptanwendungen:
1. Siliziumkarbid-Keramikplatte
- Waferschneiden und -polieren: dient als Lagerplattform, um hohe Präzision und Stabilität beim Schneiden und Polieren zu gewährleisten.
- Lithografieprozess: Der Wafer wird in der Lithografiemaschine fixiert, um eine hochpräzise Positionierung während der Belichtung zu gewährleisten.
- Chemisch-mechanisches Polieren (CMP): dient als Trägerplattform für Polierpads und sorgt für gleichmäßigen Druck und Wärmeverteilung.
2. Siliziumkarbid-Keramikrohr
- Hochtemperaturofenrohr: Wird für Hochtemperaturgeräte wie Diffusionsöfen und Oxidationsöfen verwendet, um Wafer für die Hochtemperaturprozessbehandlung zu transportieren.
- CVD/PVD-Verfahren: Als Lagerrohr in der Reaktionskammer, beständig gegen hohe Temperaturen und korrosive Gase.
- Zubehör für Halbleitergeräte: für Wärmetauscher, Gaspipelines usw., um die Wärmemanagementeffizienz der Geräte zu verbessern.
XKH bietet ein umfassendes Spektrum an kundenspezifischen Dienstleistungen für Siliziumkarbid-Keramikschalen, Saugnäpfe und Siliziumkarbid-Keramikrohre. XKH-Siliziumkarbid-Keramikschalen und -Saugnäpfe können je nach Kundenwunsch in verschiedenen Größen, Formen und Oberflächenrauheiten individuell angepasst werden und unterstützen spezielle Beschichtungen, um Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. Für Siliziumkarbid-Keramikrohre kann XKH verschiedene Innendurchmesser, Außendurchmesser, Längen und komplexe Strukturen (z. B. geformte oder poröse Rohre) anpassen und Polieren, Antioxidationsbeschichtungen und andere Oberflächenbehandlungen anbieten. XKH stellt sicher, dass Kunden die Leistungsvorteile von Siliziumkarbid-Keramikprodukten voll ausschöpfen können, um die hohen Anforderungen hochwertiger Fertigungsbereiche wie Halbleiter, LEDs und Photovoltaik zu erfüllen.
Detailliertes Diagramm
