Siliziumkarbid Keramikschale Trottel Silizium Carbid Keramik -Rohrversorgung Hochtemperatur Sinter -Signalverarbeitung

Siliziumkarbid Keramikschale Trottel Silizium Carbid Keramikrohrversorgung Hochtemperatur Sintern Custom Processing

Kurzbeschreibung:

Silizium-Carbid-Keramikschale und Silizium-Carbid-Keramikrohre sind unverzichtbare leistungsstarke Materialien in der Herstellung von Halbleiter. Das Silizium-Carbid-Keramikschale wird hauptsächlich für die feste Waferverarbeitung und das Lager verwendet, um die Stabilität eines hohen Präzisionsprozesses zu gewährleisten. Silizium -Carbid -Keramikrohre werden häufig in Hochtemperaturofenröhrchen, Diffusionsofenröhrchen und anderen Szenarien verwendet, um extremen Umgebungen zu standzuhalten und eine effiziente thermische Behandlung aufrechtzuerhalten. Beide basieren auf Siliziumcarbid als Kernmaterial, das aufgrund seiner hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften zu einer Schlüsselkomponente in der Halbleiterindustrie geworden ist.

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Produktdetail

Produkt -Tags

Hauptmerkmale:

1. Siliziumkarbidkeramikschale
- Hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Die Härte liegt in der Nähe von Diamond und kann mechanischer Verschleiß in der Waferverarbeitung für eine lange Zeit standhalten.
- hohe thermische Leitfähigkeit und niedriger thermischer Expansionskoeffizient: Schnelle Wärmeissipation und dimensionale Stabilität, die durch thermische Spannung verursachte Verformung vermieden.
- hohe Flachheit und Oberflächenbeschaffung: Die Oberflächenflatheit ist bis zum Mikrometerniveau, wodurch der volle Kontakt zwischen dem Wafer und der Scheibe gewährleistet wird, die Kontamination und Beschädigung verringert.
Chemische Stabilität: Starke Korrosionsbeständigkeit, geeignet für Nassreinigungs- und Ätzverfahren bei der Herstellung von Halbleitern.
2. Siliziumkarbidkeramikrohr
.
Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit: Säuren, Alkalien und eine Vielzahl von chemischen Lösungsmitteln resistent, geeignet für harte Prozessumgebungen.
- hohe Härte und Verschleißfestigkeit: Widerstand der Partikelerosion und mechanischer Verschleiß, die Lebensdauer verlängern.
- Hohe thermische Leitfähigkeit und niedriger thermischer Expansionskoeffizient: schnelle Leitung von Wärme und dimensionale Stabilität, Reduzierung der Deformation oder Risse, die durch thermische Spannung verursacht wird.

Produktparameter:

Silizium -Carbid -Keramikablettungsparameter:

(Materielle Eigenschaft)		(Einheit)	(SSIC)
(Sic -Inhalt)		(WT)%	> 99
(Durchschnittliche Korngröße)		Mikron	4-10
(Dichte)		kg/dm3	> 3.14
(Offensichtliche Porosität)		Vo1%	<0,5
(Vickers Härte)	HV 0,5	GPA	28
() Biegefestigkeit (drei Punkte)	20ºC	MPA	450
(Druckfestigkeit)	20ºC	MPA	3900
(Elastizitätsmodul)	20ºC	GPA	420
(Frakturzähigkeit)		MPA/M '%	3.5
(Wärmeleitfähigkeit)	20 ° ºC	W/(m*k)	160
(Widerstand)	20 ° ºC	OHM.CM	106-108
(Wärmeleitkoeffizient)	A (Rt ** ... 80ºC)	K-1*10-6	4.3
(Maximale Betriebstemperatur)		oºC	1700

Silizium -Carbid -Keramikrohrparameter:

Artikel	Index
α-sic	99% min
Scheinbare Porosität	16% max
Schüttdichte	2,7 g/cm3 min
Biegefestigkeit bei hoher Temperatur	100 MPa min
Wärmeleitkoeffizient	K -1 4,7x10 -6
Wärmeleitfähigkeitskoeffizient (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Arbeitstemperatur	1650ºC

Hauptanwendungen:

1. Siliziumkarbidkeramikplatte
- Waffel schneiden und polieren: dient als Lagerplattform, um eine hohe Präzision und Stabilität beim Schneiden und Polieren zu gewährleisten.
- Lithographieprozess: Der Wafer ist in der Lithographiemaschine festgelegt, um eine hohe Präzisionspositionierung während der Exposition zu gewährleisten.
- Chemisches mechanisches Polieren (CMP): fungiert als Stützplattform für Polierpolster und sorgt für einheitliche Druck- und Wärmeverteilung.
2. Siliziumkarbidkeramikrohr
- Hochtemperaturofenrohr: Wird für Hochtemperaturgeräte wie Diffusionsofen und Oxidationsofen zum Tragen von Wafern zur Behandlung mit hoher Temperaturprozess verwendet.
- CVD/PVD -Prozess: Als Lagerrohr in der Reaktionskammer, resistent gegen hohe Temperaturen und korrosive Gase.
- Zubehör für Halbleiterausrüstung: Für Wärmetauscher, Gaspipelines usw., um die thermische Bewirtschaftungseffizienz von Geräten zu verbessern.
XKH bietet eine breite Palette von kundenspezifischen Dienstleistungen für Silizium -Carbid -Keramikschalen, Saugnäpfe und Keramikrohre aus Siliziumkarbid. XKH können die kundenorientierten Anforderungen an verschiedene Größen, Formen und Oberflächenrauheit angepasst werden, um die Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. Für Siliziumkarbidkeramikrohre kann XKH eine Vielzahl von Innendurchmesser, Außendurchmesser, Länge und komplexer Struktur (wie geformtes Rohr oder poröser Rohr) anpassen und Polier-, Antioxidationsbeschichtungen und andere Oberflächenbehandlungsprozesse bereitstellen. XKH stellt sicher, dass Kunden die Leistungsvorteile von Silizium-Carbid-Keramikprodukten voll ausnutzen können, um die anspruchsvollen Anforderungen von High-End-Fertigungsfeldern wie Halbleitern, LEDs und Photovoltaik zu erfüllen.