Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand
Detailliertes Diagramm
Einführung von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand
DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handist eine fortschrittliche Handhabungskomponente, die für hochpräzise Automatisierungssysteme, insbesondere in der Halbleiter- und Optikindustrie, entwickelt wurde. Diese Komponente zeichnet sich durch ein markantes U-förmiges Design aus, das für die Waferhandhabung optimiert ist und sowohl mechanische Festigkeit als auch Maßgenauigkeit unter extremen Umgebungsbedingungen gewährleistet. Hergestellt aus hochreiner Siliziumkarbidkeramik,Gabelarm/-handbietet außergewöhnliche Steifigkeit, thermische Stabilität und chemische Beständigkeit.
Da Halbleiterbauelemente immer feinere Geometrien und engere Toleranzen aufweisen, wird die Nachfrage nach kontaminationsfreien und thermisch stabilen Komponenten immer wichtiger. DieSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handmeistert diese Herausforderung durch geringe Partikelbildung, ultraglatte Oberflächen und robuste strukturelle Integrität. Ob beim Wafertransport, der Substratpositionierung oder Roboterwerkzeugköpfen – diese Komponente ist auf Zuverlässigkeit und Langlebigkeit ausgelegt.
Hauptgründe für die Wahl diesesSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handenthalten:
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Minimale Wärmeausdehnung für Maßgenauigkeit
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Hohe Härte für lange Lebensdauer
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Beständigkeit gegen Säuren, Laugen und reaktive Gase
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Kompatibilität mit Reinraumumgebungen der ISO-Klasse 1
Herstellungsprinzip von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen
DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird durch einen streng kontrollierten Keramikverarbeitungsablauf hergestellt, der darauf ausgelegt ist, hervorragende Materialeigenschaften und Maßhaltigkeit zu gewährleisten.
1. Pulveraufbereitung
Der Prozess beginnt mit der Auswahl ultrafeiner Siliziumkarbidpulver. Diese Pulver werden mit Bindemitteln und Sinterhilfsmitteln vermischt, um die Verdichtung zu erleichtern. DafürGabelarm/-hand, β-SiC- oder α-SiC-Pulver werden verwendet, um sowohl Härte als auch Zähigkeit zu gewährleisten.
2. Formgebung und Vorformung
Abhängig von der Komplexität derGabelarm/-handDesign wird das Teil durch isostatisches Pressen, Spritzgießen oder Schlickerguss geformt. Dies ermöglicht komplexe Geometrien und dünnwandige Strukturen, die für das geringe Gewicht desSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand.
3. Hochtemperatursintern
Das Sintern erfolgt bei Temperaturen über 2000°C in Vakuum- oder Argonatmosphäre. In diesem Schritt wird der Grünkörper zu einem vollständig verdichteten Keramikbauteil. Das gesinterteGabelarm/-handerreicht eine nahezu theoretische Dichte und bietet hervorragende mechanische und thermische Eigenschaften.
4. Präzisionsbearbeitung
Nach dem Sintern wirdSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird diamantgeschliffen und CNC-bearbeitet. Dies gewährleistet eine Ebenheit innerhalb von ±0,01 mm und ermöglicht die Einbringung von Montagelöchern und Positionierungsmerkmalen, die für die Installation in automatisierten Systemen entscheidend sind.
5. Oberflächenveredelung
Durch Polieren wird die Oberflächenrauheit (Ra < 0,02 μm) reduziert, was für die Reduzierung der Partikelbildung unerlässlich ist. Optionale CVD-Beschichtungen können aufgetragen werden, um die Plasmabeständigkeit zu verbessern oder Funktionen wie z. B. antistatisches Verhalten hinzuzufügen.
Während des gesamten Prozesses werden Qualitätskontrollprotokolle angewendet, um dieSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handfunktioniert zuverlässig in den empfindlichsten Anwendungen.
Parameter des Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarms/der Hand
| Hauptspezifikationen der CVD-SIC-Beschichtung | ||
| SiC-CVD-Eigenschaften | ||
| Kristallstruktur | FCC β-Phase | |
| Dichte | g/cm³ | 3.21 |
| Härte | Vickershärte | 2500 |
| Körnung | μm | 2~10 |
| Chemische Reinheit | % | 99,99995 |
| Wärmekapazität | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimationstemperatur | ℃ | 2700 |
| Flexurale Festigkeit | MPa (RT 4-Punkt) | 415 |
| Elastizitätsmodul | Gpa (4pt-Biegung, 1300℃) | 430 |
| Wärmeausdehnung (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Wärmeleitfähigkeit | (W/mK) | 300 |
Anwendungen von Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen
DerSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird häufig in Branchen eingesetzt, in denen hohe Reinheit, Stabilität und mechanische Präzision unerlässlich sind. Dazu gehören:
1. Halbleiterfertigung
In der Halbleiterfertigung ist dieSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird zum Transport von Siliziumwafern in Prozessanlagen wie Ätzkammern, Beschichtungssystemen und Prüfgeräten verwendet. Seine Wärmebeständigkeit und Maßgenauigkeit machen es ideal zur Minimierung von Waferfehlstellungen und Verunreinigungen.
2. Produktion von Displaypanels
Bei der Herstellung von OLED- und LCD-DisplaysGabelarm/-handwird in Pick-and-Place-Systemen eingesetzt, wo es zerbrechliche Glassubstrate handhabt. Seine geringe Masse und hohe Steifigkeit ermöglichen schnelle und stabile Bewegungen ohne Vibrationen oder Ablenkungen.
3. Optische und photonische Systeme
Zur Ausrichtung und Positionierung von Linsen, Spiegeln oder photonischen ChipsSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handbietet vibrationsfreien Halt, der bei Laserverarbeitungs- und Präzisionsmessanwendungen von entscheidender Bedeutung ist.
4. Luft- und Raumfahrt- und Vakuumsysteme
In optischen Systemen und Vakuuminstrumenten der Luft- und Raumfahrt sorgt die nichtmagnetische, korrosionsbeständige Struktur dieser Komponente für langfristige Stabilität. DieGabelarm/-handkann auch im Ultrahochvakuum (UHV) ohne Ausgasung betrieben werden.
In allen diesen BereichenSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handübertrifft herkömmliche Alternativen aus Metall oder Polymer hinsichtlich Zuverlässigkeit, Sauberkeit und Lebensdauer.
FAQ zu Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarmen/-Händen
F1: Welche Wafergrößen werden vom Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/der -Hand unterstützt?
DerGabelarm/-handkann individuell angepasst werden, um 150 mm, 200 mm und 300 mm große Wafer zu unterstützen. Gabelspannweite, Armbreite und Lochmuster können an Ihre spezifische Automatisierungsplattform angepasst werden.
F2: Ist der Gabelarm/die Hand aus Siliziumkarbid-Keramik mit Vakuumsystemen kompatibel?
Ja. DieGabelarm/-handeignet sich sowohl für Niedervakuum- als auch für Ultrahochvakuumsysteme. Es hat eine geringe Ausgasungsrate und setzt keine Partikel frei, wodurch es sich ideal für Reinraum- und Vakuumumgebungen eignet.
F3: Kann ich dem Gabelarm/der Gabelhand Beschichtungen oder Oberflächenmodifikationen hinzufügen?
Sicherlich. DieSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handkann mit CVD-SiC-, Kohlenstoff- oder Oxidschichten beschichtet werden, um seine Plasmabeständigkeit, seine antistatischen Eigenschaften oder seine Oberflächenhärte zu verbessern.
F4: Wie wird die Qualität des Gabelarms/der Gabelhand überprüft?
JedeSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Handwird einer Maßprüfung mit CMM- und Lasermesswerkzeugen unterzogen. Die Oberflächenqualität wird mittels SEM und berührungsloser Profilometrie bewertet, um die ISO- und SEMI-Standards zu erfüllen.
F5: Wie lange dauert die Lieferung von kundenspezifischen Gabelzinken/Gabelhänden?
Die Lieferzeit beträgt in der Regel 3 bis 5 Wochen, abhängig von Komplexität und Menge. Für dringende Anfragen ist Rapid Prototyping verfügbar.
Diese FAQs sollen Ingenieuren und Beschaffungsteams dabei helfen, die verfügbaren Möglichkeiten und Optionen bei der Auswahl einesSiliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/-Hand.
Über uns
XKH ist spezialisiert auf die Hightech-Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von speziellem optischem Glas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte kommen in der optischen Elektronik, der Unterhaltungselektronik und dem Militär zum Einsatz. Wir bieten optische Komponenten aus Saphir, Handy-Objektivabdeckungen, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SIC), Quarz und Halbleiterkristall-Wafer an. Dank unserer Fachkompetenz und modernster Ausrüstung sind wir in der Verarbeitung nicht standardisierter Produkte führend und streben danach, ein führendes Hightech-Unternehmen für optoelektronische Materialien zu werden.
