Saphirrohr, Saphirstäbe, spezielle Form, Hochdruck, KY und EFG
Beschreibung
Saphirstäbe finden in einer Vielzahl von Anwendungen Verwendung. Sie können entweder allseitig poliert für optische Anwendungen und Verschleißschutz oder allseitig fein geschliffen (unpoliert) als Isolator gefertigt werden.
Technologie
Beim Ziehen von Saphirröhrchen aus der Schmelze mithilfe eines Impfkristalls wird der Temperaturgradient in Längsrichtung in der Zone zwischen der Erstarrungsfront und dem Ziehbereich (Temperatur zwischen 1850 und 1900 °C) auf maximal 30 °C/cm begrenzt. Das so gewachsene Röhrchen wird anschließend bei einer Temperatur zwischen 1950 und 2000 °C getempert, indem die Temperatur mit einer Rate von 30 bis 40 °C/min erhöht und das Röhrchen 3 bis 4 Stunden lang auf dieser Temperatur gehalten wird. Danach wird das Röhrchen mit einer Rate von 30–40 °C/min auf Raumtemperatur abgekühlt.
Anwendungen in der Halbleiterverarbeitung:
(HPD CVD, PECVD, Trockenätzen, Nassätzen)
Plasma-Applikatorrohr
Prozessgaseinspritzdüsen
Endpunktdetektor
Excimer-Koronaröhren
Plasma-Auffangröhren
Die Plasma-Rohrversiegelungsmaschine dient zum Verkapseln elektronischer Bauteile. Ihr Funktionsprinzip beruht darauf, dass das Verkapselungsmaterial durch die hohe Temperatur und den hohen Druck von Plasma geschmolzen und um das Bauteil herum verkapselt wird. Zu den Hauptkomponenten der Plasma-Rohrversiegelungsmaschine gehören der Plasmagenerator, die Rohrversiegelungskammer, das Vakuumsystem und das Steuerungssystem.
Schutzhülse für Thermoelemente (Thermoelement-Schutzhülle): Thermoelemente sind häufig verwendete Temperaturmesselemente in Temperaturmessgeräten. Sie messen die Temperatur direkt und wandeln das Temperatursignal in ein thermoelektrisches elektromotorisches Kraftsignal um, das über das elektrische Messgerät (sekundäres Messgerät) die Temperatur des Messmediums ermittelt.
Wasseraufbereitung/Reinigung
Eigenschaften von Saphirröhren (theoretisch)
| Zusammengesetzte Formel | Al2O3 |
| Molekulargewicht | 101,96 |
| Aussehen | durchscheinende Röhren |
| Schmelzpunkt | 2050 °C (3720 °F) |
| Siedepunkt | 2.977 °C (5.391 °F) |
| Dichte | 4,0 g/cm³ |
| Morphologie | Trigonal (hexa), R3c |
| Löslichkeit in H2O | 98 x 10⁻⁶ g/100 g |
| Brechungsindex | 1.8 |
| Elektrischer Widerstand | 17 10x Ω-m |
| Poisson-Verhältnis | 0,28 |
| Spezifische Wärmekapazität | 760 J kg-1 K-1 (293 K) |
| Zugfestigkeit | 1390 MPa (Ultimativ) |
| Wärmeleitfähigkeit | 30 W/mK |
| Wärmeausdehnung | 5,3 µm/mK |
| Elastizitätsmodul | 450 GPa |
| Exakte Masse | 101,948 g/mol |
| Monoisotopische Masse | 101,94782 Da |
Detailliertes Diagramm
