Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 Zoll 12 Zoll 725 ± 25 µm oder kundenspezifisch
Spezifikation
| Spezifikation | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 Zoll |
| Durchmesser | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| Dicke | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
| Hauptwohnung | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Kerbe | Kerbe | Kerbe | Kerbe |
| LTV (5mmx5mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
| TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3um | <10µm | <10µm |
| Bogen | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
| Kette | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 µm | ≤ 80µm | ≤ 80µm |
| Kantenverrundung | Entspricht dem SEMI M1.2-Standard/siehe IEC62276 | ||||
| Oberflächenart | Einseitig poliert / Beidseitig poliert | ||||
| Polierte Seite Ra | Ra≤1nm | ||||
| Kriterien für die Rückseite | Ra 0,2–0,7 µm oder kundenspezifisch | ||||
Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer-Parametertabelle
Anwendung
Quarzglas-Wafer aus JGS1, JGS2 und BF33 finden breite Anwendung in verschiedenen Präzisionsindustrien. Sie eignen sich ideal für die Halbleiterfertigung, insbesondere für Fotomaskensubstrate und Wafer-Level-Optiken. Darüber hinaus sind sie für optische Komponenten, Laser und Sensoren in Branchen wie Telekommunikation, Luft- und Raumfahrt sowie Medizintechnik geeignet. Ihre hohe thermische Stabilität und Temperaturwechselbeständigkeit prädestinieren sie für extreme Temperaturumgebungen, während ihre außergewöhnliche Lichtdurchlässigkeit für ultraviolette (UV) und infrarote (IR) Optiken unerlässlich ist.
Eigenschaften
Materialarten:
JGS1: Hohe UV-Durchlässigkeit, hervorragend geeignet für Anwendungen mit ultraviolettem Licht.
JGS2: Ausgewogene Lichtdurchlässigkeit im UV-, sichtbaren und infraroten Bereich, geeignet für allgemeine optische Anwendungen.
BF33: Borosilikatglas mit hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Haltbarkeit. Größenoptionen:
Erhältlich in den Standardgrößen 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafer.
Sondergrößen können nach spezifischen Anforderungen gefertigt werden. Dicke:
Die Standarddicke beträgt 725 ± 25 μm.
Individuell anpassbare Wandstärken sind verfügbar, um unterschiedlichen industriellen Anforderungen gerecht zu werden.
Thermische Eigenschaften:
Ausgezeichnete thermische Stabilität, geeignet für den Einsatz in Hochtemperaturumgebungen.
Hohe Beständigkeit gegen Temperaturschocks.
Chemische Beständigkeit:
Hohe Beständigkeit gegen Korrosion durch Säuren, Laugen und die meisten Chemikalien, insbesondere bei BF33.
Optische Eigenschaften:
JGS1- und JGS2-Wafer bieten eine hohe optische Transmission im ultravioletten (UV), sichtbaren und infraroten (IR) Bereich.
Ideal für optische Präzisionskomponenten, Photonik und Laseranwendungen.
Oberflächenqualität:
Hohe Oberflächenebenheit und -glätte gewährleisten Präzision bei der Herstellung von Halbleiter- und optischen Bauelementen.
Diese Eigenschaften machen JGS1-, JGS2- und BF33-Wafer vielseitig und zuverlässig für Hochleistungsanwendungen in Branchen wie Optik, Elektronik und Halbleiter.
Gesamt
Quarzglasscheiben aus JGS1, JGS2 und BF33 bieten herausragende Leistung für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen. Sie sind in Standardgrößen von 8 Zoll und 12 Zoll mit einer Dicke von 725 ± 25 μm erhältlich und können zudem an spezifische Anforderungen angepasst werden. JGS1 und JGS2 zeichnen sich durch hohe optische Transmission im UV-, sichtbaren und IR-Bereich aus, während BF33 exzellente chemische Beständigkeit und thermische Stabilität bietet. Dank ihrer hohen Oberflächenebenheit und -glätte eignen sich diese Scheiben ideal für Präzisionsindustrien wie Halbleiter, Optik und Photonik und gewährleisten Zuverlässigkeit und Langlebigkeit auch unter extremen Bedingungen und in kritischen Anwendungen.
Detailliertes Diagramm
