Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 Zoll 12 Zoll 725 ± 25 um oder kundenspezifisch
Spezifikation
Spez | 4" | 6" | 8" | 10" | 12" |
Durchmesser | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
Dicke | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Hauptwohnung | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Kerbe | Kerbe | Kerbe | Kerbe |
LTV (5mmx5mm) | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um | < 0,5 um |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10 um | <10 um |
Bogen | ±20 um | ±30 um | ±40 um | ±40 um | ±40 um |
Kette | ≤ 30 um | ≤ 40 um | ≤ 70 um | ≤ 80 um | ≤ 80 um |
Kantenverrundung | Konform mit SEMI M1.2 Standard/siehe IEC62276 | ||||
Oberflächentyp | Einseitig poliert / Doppelseitig poliert | ||||
Polierte Seite Ra | Ra≤1nm | ||||
Rückseitenkriterien | Ra 0,2–0,7 um oder kundenspezifisch |
Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer-Parametertabelle
Anwendung
Quarzglaswafer aus JGS1, JGS2 und BF33 werden häufig in verschiedenen Hochpräzisionsindustrien eingesetzt. Diese Wafer eignen sich ideal für die Halbleiterfertigung, einschließlich Fotomaskensubstraten und Optiken auf Waferebene. Sie eignen sich auch für optische Komponenten, Laser und Sensoren in Branchen wie Telekommunikation, Luft- und Raumfahrt und medizinischen Geräten. Ihre hohe thermische Stabilität und Thermoschockbeständigkeit machen sie perfekt für Umgebungen mit extremen Temperaturen, während ihre außergewöhnliche Durchlässigkeit für Ultraviolett- (UV) und Infrarotoptiken (IR) von entscheidender Bedeutung ist.
Eigenschaften
Materialarten:
JGS1: Hohe UV-Durchlässigkeit, hervorragend für Anwendungen mit ultraviolettem Licht.
JGS2: Ausgewogene Durchlässigkeit im UV-, sichtbaren und Infrarotbereich, geeignet für allgemeine optische Anwendungen.
BF33: Borosilikatglas mit hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Beständigkeit. Größenoptionen:
Erhältlich in den Standardgrößen 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafer.
Sondergrößen können nach spezifischen Anforderungen gefertigt werden.Dicke:
Die Standarddicke beträgt 725 ± 25 μm.
Anpassbare Dicke verfügbar, um unterschiedlichen industriellen Anforderungen gerecht zu werden.
Thermische Eigenschaften:
Hervorragende thermische Stabilität, geeignet für den Einsatz in Hochtemperaturumgebungen.
Hohe Beständigkeit gegen Thermoschock.
Chemische Beständigkeit:
Starke Korrosionsbeständigkeit durch Säuren, Laugen und die meisten Chemikalien, insbesondere bei BF33.
Optische Eigenschaften:
JGS1- und JGS2-Wafer bieten eine hohe optische Durchlässigkeit im ultravioletten (UV), sichtbaren und infraroten (IR) Bereich.
Ideal für optische Präzisionskomponenten, Photonik und Laseranwendungen.
Oberflächenqualität:
Hohe Ebenheit und Glätte der Oberfläche sorgen für Präzision bei der Herstellung von Halbleitern und optischen Geräten.
Diese Eigenschaften machen JGS1-, JGS2- und BF33-Wafer vielseitig und zuverlässig für Hochleistungsanwendungen in verschiedenen Branchen wie Optik, Elektronik und Halbleiter.
Gesamt
Quarzglaswafer aus JGS1, JGS2 und BF33 bieten außergewöhnliche Leistung für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen. Diese Wafer sind in den Standardgrößen 8 Zoll und 12 Zoll mit einer Dicke von 725 ± 25 μm erhältlich und können auch an spezifische Anforderungen angepasst werden. JGS1 und JGS2 bieten eine hohe optische Durchlässigkeit im UV-, sichtbaren und IR-Bereich, während BF33 eine hervorragende chemische Beständigkeit und thermische Stabilität bietet. Mit ihrer hohen Oberflächenebenheit und -glätte eignen sich diese Wafer ideal für Präzisionsindustrien wie Halbleiter, Optik und Photonik und gewährleisten Zuverlässigkeit und Haltbarkeit in extremen Umgebungen und kritischen Anwendungen.