Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 Zoll 12 Zoll 725 ± 25 um oder besonders angefertigt
Spezifikation
Spezifikation | 4" | 6" | 8" | 10" | 12 Zoll |
Durchmesser | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Dicke | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Primärwohnung | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Kerbe | Kerbe | Kerbe | Kerbe |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
Bogen | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
Kette | ≤ 30 µm | ≤ 40µm | ≤ 70 µm | ≤ 80 µm | ≤ 80 µm |
Kantenverrundung | Entspricht dem SEMI M1.2-Standard/siehe IEC62276 | ||||
Oberflächentyp | Einseitig poliert / Doppelseitig poliert | ||||
Polierte Seite Ra | Ra≤1nm | ||||
Kriterien für die Rückseite | Ra 0,2–0,7 µm oder kundenspezifisch |
Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer-Parametertabelle
Anwendung
Quarzglaswafer aus JGS1, JGS2 und BF33 finden breite Anwendung in verschiedenen Hochpräzisionsindustrien. Diese Wafer eignen sich ideal für die Halbleiterherstellung, einschließlich Fotomaskensubstraten und Wafer-Level-Optik. Sie eignen sich auch für optische Komponenten, Laser und Sensoren in Branchen wie Telekommunikation, Luft- und Raumfahrt und Medizintechnik. Ihre hohe thermische Stabilität und Temperaturwechselbeständigkeit machen sie ideal für Umgebungen mit extremen Temperaturen, während ihre außergewöhnliche Transmission für die Ultraviolett- (UV) und Infrarot- (IR) Optik entscheidend ist.
Eigenschaften
Materialarten:
JGS1: Hohe UV-Durchlässigkeit, hervorragend für Anwendungen mit ultraviolettem Licht.
JGS2: Ausgewogene Durchlässigkeit im UV-, sichtbaren und Infrarotbereich, geeignet für allgemeine optische Anwendungen.
BF33: Borosilikatglas mit hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Belastbarkeit. Größenoptionen:
Erhältlich in den Standardgrößen 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafer.
Sondergrößen können je nach Bedarf hergestellt werden.Dicke:
Die Standarddicke beträgt 725 ± 25 μm.
Anpassbare Dicke verfügbar, um unterschiedlichen industriellen Anforderungen gerecht zu werden.
Thermische Eigenschaften:
Hervorragende thermische Stabilität, geeignet für den Einsatz in Umgebungen mit hohen Temperaturen.
Hohe Beständigkeit gegen Thermoschock.
Chemische Beständigkeit:
Hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und den meisten Chemikalien, insbesondere in BF33.
Optische Eigenschaften:
JGS1- und JGS2-Wafer bieten eine hohe optische Durchlässigkeit im ultravioletten (UV), sichtbaren und infraroten (IR) Bereich.
Ideal für optische Präzisionskomponenten, Photonik und Laseranwendungen.
Oberflächenqualität:
Hohe Ebenheit und Glätte der Oberfläche gewährleisten Präzision bei der Herstellung von Halbleitern und optischen Geräten.
Diese Eigenschaften machen JGS1-, JGS2- und BF33-Wafer vielseitig und zuverlässig für Hochleistungsanwendungen in Branchen wie Optik, Elektronik und Halbleiter.
Gesamt
Quarzglas-Wafer aus JGS1, JGS2 und BF33 bieten außergewöhnliche Leistung für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen. Erhältlich in den Standardgrößen 8 Zoll und 12 Zoll mit einer Dicke von 725 ± 25 μm, können diese Wafer auch an spezifische Anforderungen angepasst werden. JGS1 und JGS2 bieten eine hohe optische Transmission im UV-, sichtbaren und IR-Bereich, während BF33 eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit und thermische Stabilität bietet. Dank ihrer hohen Oberflächenebenheit und -glätte eignen sich diese Wafer ideal für Präzisionsindustrien wie Halbleiter, Optik und Photonik und gewährleisten Zuverlässigkeit und Langlebigkeit in extremen Umgebungen und kritischen Anwendungen.
Detailliertes Diagramm

