Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 Zoll 12 Zoll 725 ± 25 um oder besonders angefertigt
Spezifikation
| Spezifikation | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
| Durchmesser | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
| Dicke | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
| Primärwohnung | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Kerbe | Kerbe | Kerbe | Kerbe |
| LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
| TTV | < 2 µm | < 3 µm | <3 µm | <10 µm | <10 µm |
| Bogen | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
| Kette | ≤ 30 µm | ≤ 40 µm | ≤ 70 µm | ≤ 80 µm | ≤ 80 µm |
| Kantenverrundung | Entspricht dem SEMI M1.2-Standard/siehe IEC62276 | ||||
| Oberflächentyp | Einseitig poliert / Doppelseitig poliert | ||||
| Polierte Seite Ra | Ra≤1nm | ||||
| Kriterien für die Rückseite | Ra 0,2–0,7 um oder kundenspezifisch | ||||
Quarzglas-Wafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer-Parametertabelle
Anwendung
Quarzglaswafer aus JGS1, JGS2 und BF33 finden breite Anwendung in verschiedenen Hochpräzisionsindustrien. Diese Wafer eignen sich ideal für die Halbleiterherstellung, einschließlich Fotomaskensubstraten und Wafer-Level-Optik. Sie eignen sich auch für optische Komponenten, Laser und Sensoren in Branchen wie Telekommunikation, Luft- und Raumfahrt und Medizintechnik. Ihre hohe thermische Stabilität und Beständigkeit gegen Thermoschocks machen sie ideal für Umgebungen mit extremen Temperaturen, während ihre außergewöhnliche Lichtdurchlässigkeit für die Ultraviolett- (UV) und Infrarot- (IR) Optik entscheidend ist.
Eigenschaften
Materialarten:
JGS1: Hohe UV-Durchlässigkeit, hervorragend für Anwendungen mit ultraviolettem Licht.
JGS2: Ausgewogene Durchlässigkeit im UV-, sichtbaren und Infrarotbereich, geeignet für allgemeine optische Anwendungen.
BF33: Borosilikatglas mit hoher chemischer Beständigkeit und thermischer Belastbarkeit. Größenoptionen:
Erhältlich in den Standardgrößen 8-Zoll- und 12-Zoll-Wafer.
Sondergrößen können je nach Bedarf gefertigt werden.Dicke:
Die Standarddicke beträgt 725 ± 25 μm.
Anpassbare Dicke verfügbar, um unterschiedlichen industriellen Anforderungen gerecht zu werden.
Thermische Eigenschaften:
Hervorragende thermische Stabilität, geeignet für den Einsatz in Umgebungen mit hohen Temperaturen.
Hohe Beständigkeit gegen Thermoschock.
Chemische Beständigkeit:
Hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und den meisten Chemikalien, insbesondere in BF33.
Optische Eigenschaften:
JGS1- und JGS2-Wafer bieten eine hohe optische Durchlässigkeit im ultravioletten (UV), sichtbaren und infraroten (IR) Bereich.
Ideal für optische Präzisionskomponenten, Photonik und Laseranwendungen.
Oberflächenqualität:
Hohe Oberflächenebenheit und -glätte gewährleisten Präzision bei der Herstellung von Halbleitern und optischen Geräten.
Diese Eigenschaften machen JGS1-, JGS2- und BF33-Wafer vielseitig und zuverlässig für Hochleistungsanwendungen in Branchen wie Optik, Elektronik und Halbleiter.
Gesamt
Quarzglaswafer aus JGS1, JGS2 und BF33 bieten außergewöhnliche Leistung für eine Vielzahl anspruchsvoller Anwendungen. Diese Wafer sind in den Standardgrößen 8 Zoll und 12 Zoll mit einer Dicke von 725 ± 25 μm erhältlich und können auch an spezifische Anforderungen angepasst werden. JGS1 und JGS2 bieten eine hohe optische Transmission im UV-, sichtbaren und IR-Bereich, während BF33 eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit und thermische Stabilität bietet. Dank ihrer hohen Oberflächenebenheit und -glätte eignen sich diese Wafer ideal für Präzisionsindustrien wie die Halbleiter-, Optik- und Photonikindustrie und gewährleisten Zuverlässigkeit und Langlebigkeit in extremen Umgebungen und kritischen Anwendungen.
Detailliertes Diagramm
