Der PEEK-Isolator ist eine fortschrittliche Isolationslösung, die speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Hergestellt aus ultrahochreinem PEEK (Polyetheretherketon) bietet diese Komponente hervorragende Wärmedämmung, elektrische Isolierung und chemische Beständigkeit und eignet sich daher ideal für den Einsatz in Plasmaätzkammern, Nasswerkbänken, Wafer-Handling-Systemen und anderen kritischen Prozessmodulen.