PEEK-Isolator für Halbleiteranlagen

Der PEEK-Isolator ist eine hochentwickelte Isolationslösung, die speziell für die hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Hergestellt aus hochreinem PEEK (Polyetheretherketon), bietet dieses Bauteil hervorragende Wärmedämmung, elektrische Isolation und chemische Beständigkeit und eignet sich daher ideal für den Einsatz in Plasmaätzkammern, Nasswerkbänken, Wafer-Handling-Systemen und anderen kritischen Prozessmodulen.