N-Typ-SiC-Verbundsubstrate mit einem Durchmesser von 6 Zoll. Hochwertiges monokristallines und minderwertiges Substrat
Allgemeine Parametertabelle für N-Typ-SiC-Verbundsubstrate
项目Artikel | NeinSpezifikation | 项目Artikel | NeinSpezifikation |
直径Durchmesser | 150 ± 0,2 mm | 正 面 (硅 面) 粗 糙 度 Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche). | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
晶型Polytypie | 4H | Randabsplitterung, Kratzer, Riss (Sichtprüfung) | Keiner |
电阻率Widerstand | 0,015–0,025 Ohm · cm | 总厚度变化TTV | ≤3μm |
Dicke der Übertragungsschicht | ≥0,4μm | 翘曲度Kette | ≤35μm |
空洞Leere | ≤5ea/wafer (2mm>D>0,5mm) | 总厚度Dicke | 350 ± 25 μm |
Die Bezeichnung „N-Typ“ bezieht sich auf die Art der Dotierung, die in SiC-Materialien verwendet wird. In der Halbleiterphysik bezeichnet Dotierung das absichtliche Einbringen von Verunreinigungen in einen Halbleiter, um dessen elektrische Eigenschaften zu verändern. Durch die Dotierung vom N-Typ werden Elemente eingeführt, die einen Überschuss an freien Elektronen liefern, wodurch das Material eine negative Ladungsträgerkonzentration erhält.
Zu den Vorteilen von SiC-Verbundsubstraten vom N-Typ gehören:
1. Hochtemperaturleistung: SiC hat eine hohe Wärmeleitfähigkeit und kann bei hohen Temperaturen betrieben werden, wodurch es für elektronische Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen geeignet ist.
2. Hohe Durchbruchspannung: SiC-Materialien haben eine hohe Durchbruchspannung, sodass sie hohen elektrischen Feldern ohne elektrischen Durchschlag standhalten können.
3. Chemikalien- und Umweltbeständigkeit: SiC ist chemisch beständig und hält rauen Umgebungsbedingungen stand, sodass es für den Einsatz in anspruchsvollen Anwendungen geeignet ist.
4. Reduzierter Leistungsverlust: Im Vergleich zu herkömmlichen Materialien auf Siliziumbasis ermöglichen SiC-Substrate eine effizientere Leistungsumwandlung und reduzieren den Leistungsverlust in elektronischen Geräten.
5. Große Bandlücke: SiC verfügt über eine große Bandlücke, was die Entwicklung elektronischer Geräte ermöglicht, die bei höheren Temperaturen und höheren Leistungsdichten betrieben werden können.
Insgesamt bieten N-Typ-SiC-Verbundsubstrate erhebliche Vorteile für die Entwicklung leistungsstarker elektronischer Geräte, insbesondere in Anwendungen, bei denen Hochtemperaturbetrieb, hohe Leistungsdichte und effiziente Leistungsumwandlung von entscheidender Bedeutung sind.