N-Typ-SiC-Verbundsubstrate mit einem Durchmesser von 6 Zoll. Hochwertiges monokristallines und minderwertiges Substrat

Kurzbeschreibung:

N-Typ-SiC-Verbundsubstrate sind ein Halbleitermaterial, das bei der Herstellung elektronischer Geräte verwendet wird. Diese Substrate bestehen aus Siliziumkarbid (SiC), einer Verbindung, die für ihre hervorragende Wärmeleitfähigkeit, hohe Durchbruchspannung und Beständigkeit gegenüber rauen Umgebungsbedingungen bekannt ist.


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Allgemeine Parametertabelle für N-Typ-SiC-Verbundsubstrate

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直径Durchmesser 150 ± 0,2 mm (硅 面) 粗 糙 度
Rauheit der Vorderseite (Si-Fläche).
Ra≤0,2nm (5μm*5μm)
晶型Polytypie 4H Randabsplitterung, Kratzer, Riss (Sichtprüfung) Keiner
电阻率Widerstand 0,015–0,025 Ohm · cm 总厚度变化TTV ≤3μm
Dicke der Übertragungsschicht ≥0,4μm 翘曲度Kette ≤35μm
空洞Leere ≤5ea/wafer (2mm>D>0,5mm) 总厚度Dicke 350 ± 25 μm

Die Bezeichnung „N-Typ“ bezieht sich auf die Art der Dotierung, die in SiC-Materialien verwendet wird. In der Halbleiterphysik bezeichnet Dotierung das absichtliche Einbringen von Verunreinigungen in einen Halbleiter, um dessen elektrische Eigenschaften zu verändern. Durch die Dotierung vom N-Typ werden Elemente eingeführt, die einen Überschuss an freien Elektronen liefern, wodurch das Material eine negative Ladungsträgerkonzentration erhält.

Zu den Vorteilen von SiC-Verbundsubstraten vom N-Typ gehören:

1. Hochtemperaturleistung: SiC hat eine hohe Wärmeleitfähigkeit und kann bei hohen Temperaturen betrieben werden, wodurch es für elektronische Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen geeignet ist.

2. Hohe Durchbruchspannung: SiC-Materialien haben eine hohe Durchbruchspannung, sodass sie hohen elektrischen Feldern ohne elektrischen Durchschlag standhalten können.

3. Chemikalien- und Umweltbeständigkeit: SiC ist chemisch beständig und hält rauen Umgebungsbedingungen stand, sodass es für den Einsatz in anspruchsvollen Anwendungen geeignet ist.

4. Reduzierter Leistungsverlust: Im Vergleich zu herkömmlichen Materialien auf Siliziumbasis ermöglichen SiC-Substrate eine effizientere Leistungsumwandlung und reduzieren den Leistungsverlust in elektronischen Geräten.

5. Große Bandlücke: SiC verfügt über eine große Bandlücke, was die Entwicklung elektronischer Geräte ermöglicht, die bei höheren Temperaturen und höheren Leistungsdichten betrieben werden können.

Insgesamt bieten N-Typ-SiC-Verbundsubstrate erhebliche Vorteile für die Entwicklung leistungsstarker elektronischer Geräte, insbesondere in Anwendungen, bei denen Hochtemperaturbetrieb, hohe Leistungsdichte und effiziente Leistungsumwandlung von entscheidender Bedeutung sind.


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