LiTaO3 Lithiumtantalat-Barren mit Fe/Mg-Dotierung, kundenspezifisch 4 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll für industrielle Sensorik
Technische Parameter
Spezifikation | Konventionell | Hohe Präzision |
Materialien | LiTaO3(LT)/ LiNbO3-Wafer | LiTaO3(LT)/LiNbO3-Wafer |
Orientierung | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° | X-112°Y,36°Y,42°Y±0,5° |
Parallel | 30″ | 10'' |
Senkrecht | 10′ | 5' |
Oberflächenqualität | 40/20 | 20/10 |
Wellenfrontverzerrung | λ/4 bei 632 nm | λ/8 bei 632 nm |
Oberflächenebenheit | λ/4 bei 632 nm | λ/8 bei 632 nm |
Freie Blende | >90 % | >90 % |
Fase | <0,2×45° | <0,2×45° |
Dicken-/Durchmessertoleranz | ±0,1 mm | ±0,1 mm |
Maximale Abmessungen | Durchmesser 150 × 50 mm | Durchmesser 150 × 50 mm |
XKH-Dienste
1. Großmaßstäbliche Ingot-Herstellung
Größe und Schnitt: 3–8-Zoll-Barren mit X/Y/Z-Schnitt, 42°-Y-Schnitt und benutzerdefinierten Winkelschnitten (±0,01° Toleranz).
Dotierungskontrolle: Fe/Mg-Co-Dotierung mittels Czochralski-Methode (Konzentrationsbereich 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) zur Optimierung des photorefraktiven Widerstands und der thermischen Stabilität.
2. Fortschrittliche Prozesstechnologien
Heterogene Integration: Siliziumbasierte LiTaO3-Verbundwafer (POI) mit Dickenkontrolle (300–600 nm) und einer Wärmeleitfähigkeit von bis zu 8,78 W/m·K für Hochfrequenz-SAW-Filter.
Wellenleiterherstellung: Protonenaustausch- (PE) und umgekehrte Protonenaustausch- (RPE) Techniken zur Herstellung von Wellenleitern im Submikrometerbereich (Δn >0,7) für elektrooptische Hochgeschwindigkeitsmodulatoren (Bandbreite >40 GHz).
3. Qualitätsmanagementsysteme
End-to-End-Tests: Raman-Spektroskopie (Polytyp-Verifizierung), XRD (Kristallinität), AFM (Oberflächenmorphologie) und Prüfung der optischen Gleichmäßigkeit (Δn <5×10⁻⁵).
4. Globale Lieferkettenunterstützung
Produktionskapazität: Monatliche Produktion > 5.000 Barren (8 Zoll: 70 %), Unterstützung einer 48-Stunden-Notfalllieferung.
Logistiknetzwerk: Abdeckung in Europa, Nordamerika und im asiatisch-pazifischen Raum per Luft-/Seefracht mit temperaturkontrollierter Verpackung.
5. Technische Co-Entwicklung
Gemeinsame F&E-Labore: Zusammenarbeit an photonischen Integrationsplattformen (z. B. verlustarmes SiO2-Schichtbonden).
Zusammenfassung
LiTaO3-Ingots dienen als strategische Materialien, die die Optoelektronik und Quantentechnologien neu gestalten. Durch Innovationen im Kristallwachstum (z. B. PVT), der Defektminimierung und der heterogenen Integration (z. B. POI) liefern wir hochzuverlässige und kostengünstige Lösungen für 5G/6G-Kommunikation, Quantencomputing und industrielles IoT. Das Engagement von XKH, die Ingot-Defektreduzierung voranzutreiben und die 8-Zoll-Produktion zu skalieren, sichert Kunden die führende Rolle in globalen Lieferketten und treibt die nächste Ära der Wide-Bandgap-Halbleiter-Ökosysteme voran.

