HPSI-SiC-Wafer, Durchmesser: 3 Zoll, Dicke: 350 µm ± 25 µm für Leistungselektronik

Kurzbeschreibung:

Der HPSI-SiC-Wafer (hochreines Siliziumkarbid) mit einem Durchmesser von 3 Zoll und einer Dicke von 350 µm ± 25 µm wurde speziell für Leistungselektronikanwendungen entwickelt, die Hochleistungssubstrate erfordern. Dieser SiC-Wafer bietet eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, eine hohe Durchbruchspannung und einen hohen Wirkungsgrad bei hohen Betriebstemperaturen und ist damit die ideale Wahl für die wachsende Nachfrage nach energieeffizienten und robusten Leistungselektronikbauteilen. SiC-Wafer eignen sich besonders für Hochspannungs-, Hochstrom- und Hochfrequenzanwendungen, bei denen herkömmliche Siliziumsubstrate die Betriebsanforderungen nicht erfüllen.
Unser HPSI-SiC-Wafer, hergestellt mit modernsten Fertigungstechniken, ist in verschiedenen Qualitäten erhältlich, die jeweils auf spezifische Fertigungsanforderungen zugeschnitten sind. Der Wafer zeichnet sich durch hervorragende strukturelle Integrität, elektrische Eigenschaften und Oberflächenqualität aus und gewährleistet so zuverlässige Leistung in anspruchsvollen Anwendungen wie Leistungshalbleitern, Elektrofahrzeugen, Systemen für erneuerbare Energien und industrieller Leistungsumwandlung.


Merkmale

Anwendung

HPSI-SiC-Wafer werden in einer Vielzahl von Leistungselektronikanwendungen eingesetzt, darunter:

Leistungshalbleiter:SiC-Wafer werden häufig zur Herstellung von Leistungsdioden, Transistoren (MOSFETs, IGBTs) und Thyristoren verwendet. Diese Halbleiter finden breite Anwendung in der Leistungsumwandlung, die hohe Effizienz und Zuverlässigkeit erfordert, beispielsweise in industriellen Motorantrieben, Netzteilen und Wechselrichtern für erneuerbare Energiesysteme.
Elektrofahrzeuge (EVs):In Elektrofahrzeugantrieben bieten SiC-basierte Leistungshalbleiter schnellere Schaltzeiten, höhere Energieeffizienz und geringere Wärmeverluste. SiC-Komponenten eignen sich ideal für Anwendungen in Batteriemanagementsystemen (BMS), Ladeinfrastruktur und On-Board-Ladegeräten (OBCs), wo minimales Gewicht und maximale Energieumwandlungseffizienz entscheidend sind.

Systeme für erneuerbare Energien:SiC-Wafer finden zunehmend Anwendung in Solarwechselrichtern, Windkraftanlagen und Energiespeichersystemen, wo hohe Effizienz und Robustheit unerlässlich sind. SiC-basierte Komponenten ermöglichen in diesen Anwendungen eine höhere Leistungsdichte und verbesserte Leistung, wodurch der Gesamtwirkungsgrad der Energieumwandlung gesteigert wird.

Industrielle Leistungselektronik:In anspruchsvollen industriellen Anwendungen wie Motorantrieben, Robotern und Großnetzteilen ermöglicht der Einsatz von SiC-Wafern eine verbesserte Leistung hinsichtlich Effizienz, Zuverlässigkeit und Wärmemanagement. SiC-Bauelemente sind für hohe Schaltfrequenzen und Temperaturen geeignet und somit ideal für anspruchsvolle Umgebungen.

Telekommunikation und Rechenzentren:Siliziumkarbid (SiC) wird in Netzteilen für Telekommunikationsgeräte und Rechenzentren eingesetzt, wo hohe Zuverlässigkeit und effiziente Leistungsumwandlung entscheidend sind. SiC-basierte Leistungshalbleiter ermöglichen höhere Wirkungsgrade bei kleineren Abmessungen, was zu einem geringeren Stromverbrauch und einer besseren Kühlung in großflächigen Infrastrukturen führt.

Die hohe Durchbruchspannung, der niedrige Einschaltwiderstand und die ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit von SiC-Wafern machen sie zum idealen Substrat für diese fortschrittlichen Anwendungen und ermöglichen die Entwicklung energieeffizienter Leistungselektronik der nächsten Generation.

Eigenschaften

Eigentum

Wert

Waferdurchmesser 3 Zoll (76,2 mm)
Waferdicke 350 µm ± 25 µm
Wafer-Ausrichtung <0001> auf der Achse ± 0,5°
Mikrorohrdichte (MPD) ≤ 1 cm⁻²
Elektrischer Widerstand ≥ 1E7 Ω·cm
Dopant Undotiert
Primäre flache Ausrichtung {11-20} ± 5,0°
Primäre Flachlänge 32,5 mm ± 3,0 mm
Sekundäre Flachlänge 18,0 mm ± 2,0 mm
Sekundäre flache Ausrichtung Si-Seite nach oben: 90° im Uhrzeigersinn von der primären Planfläche ± 5,0°
Kantenausschluss 3 mm
LTV/TTV/Bogen/Warp 3 µm / 10 µm / ±30 µm / 40 µm
Oberflächenrauheit C-Seite: Poliert, Si-Seite: CMP
Risse (untersucht mit Hochleistungslicht) Keiner
Sechskantplatten (mit Hochleistungslicht geprüft) Keiner
Polytypbereiche (untersucht mit hochintensivem Licht) Kumulative Fläche 5%
Kratzer (untersucht mit hochintensivem Licht) ≤ 5 Kratzer, Gesamtlänge ≤ 150 mm
Kantenabsplitterung Keine zulässigen Breiten und Tiefen ≥ 0,5 mm.
Oberflächenverunreinigungen (untersucht mit hochintensivem Licht) Keiner

Wichtigste Vorteile

Hohe Wärmeleitfähigkeit:SiC-Wafer sind für ihre hervorragende Wärmeableitung bekannt, wodurch Leistungshalbleiter mit höherer Effizienz arbeiten und höhere Ströme ohne Überhitzung bewältigen können. Diese Eigenschaft ist in der Leistungselektronik, wo das Wärmemanagement eine große Herausforderung darstellt, von entscheidender Bedeutung.
Hohe Durchbruchspannung:Die große Bandlücke von SiC ermöglicht es den Bauelementen, höhere Spannungspegel zu tolerieren, wodurch sie sich ideal für Hochspannungsanwendungen wie Stromnetze, Elektrofahrzeuge und Industriemaschinen eignen.
Hohe Effizienz:Die Kombination aus hohen Schaltfrequenzen und niedrigem Einschaltwiderstand führt zu Geräten mit geringeren Energieverlusten, wodurch der Gesamtwirkungsgrad der Leistungsumwandlung verbessert und der Bedarf an komplexen Kühlsystemen reduziert wird.
Zuverlässigkeit in rauen Umgebungen:SiC ist in der Lage, bei hohen Temperaturen (bis zu 600°C) zu arbeiten, wodurch es sich für den Einsatz in Umgebungen eignet, die herkömmliche siliziumbasierte Bauelemente beschädigen würden.
Energieeinsparungen:SiC-Leistungsbauelemente verbessern die Energieumwandlungseffizienz, was für die Reduzierung des Stromverbrauchs von entscheidender Bedeutung ist, insbesondere in großen Systemen wie industriellen Stromrichtern, Elektrofahrzeugen und Infrastrukturen für erneuerbare Energien.

Detailliertes Diagramm

3-Zoll-HPSI-SiC-Wafer 04
3-Zoll-HPSI-SiC-Wafer 10
3-Zoll-HPSI-SiC-Wafer 08
3-Zoll-HPSI-SiC-Wafer 09

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