Hochleistungs-Endeffektor (Gabelarm) aus Aluminiumoxidkeramik für die Halbleiter- und Reinraumautomatisierung

Kurze Beschreibung:

Der Endeffektor aus Aluminiumoxidkeramik, auch Keramikgabelarm oder Roboter-Keramikhand genannt, ist ein hochpräzises Handhabungselement für automatisierte Systeme in der Halbleiter-, Photovoltaik-, Panel-Display- und hochreinen Laborumgebung. Er bietet außergewöhnliche thermische Stabilität, mechanische Festigkeit und chemische Beständigkeit und ermöglicht den sauberen, zuverlässigen und sicheren Transport empfindlicher Materialien wie Siliziumwafer, Glassubstrate und elektronischer Mikrokomponenten.

Senden Sie uns eine E-Mail

Merkmale

Detailliertes Diagramm

Produkteinführung

Als eine Art Roboter-Endeffektor stellt diese Keramikkomponente die letzte Schnittstelle zwischen dem Automatisierungssystem und dem Werkstück dar. Sie spielt eine entscheidende Rolle bei Präzisionstransfer-, Ausrichtungs-, Be-/Entlade- und Positionierungsaufgaben in Reinräumen und Vakuumumgebungen.

Keramikarm für Waferantrieb von Halbleitern G13

Keramikarm für Waferantrieb von Halbleitern G10

Keramikarm für Waferantrieb von Halbleitern G07

Materialübersicht – Aluminiumoxidkeramik (Al₂O₃)

Aluminiumoxidkeramik ist ein hochstabiles und chemisch inertes technisches Keramikmaterial, das für seine hervorragenden mechanischen und elektrischen Eigenschaften bekannt ist. Das in diesen Endeffektoren verwendete hochreine (≥ 99,5 %) Aluminiumoxid gewährleistet:

Hohe Härte (Mohs 9): Aluminiumoxid ist nach Diamanten extrem verschleißfest.
Hochtemperaturbeständigkeit: Behält die strukturelle Integrität über 1600 °C bei.
Chemische Inertheit: Beständig gegen Säuren, Laugen, Lösungsmittel und Plasmaätzumgebungen.
Elektrische Isolierung: Mit hoher Durchschlagsfestigkeit und geringem dielektrischen Verlust.
Geringe Wärmeausdehnung: Gewährleistet Dimensionsstabilität in Umgebungen mit Temperaturwechseln.
Geringe Partikelbildung: Unverzichtbar für Reinraumkompatibilität (Klasse 10 bis Klasse 1000).

Diese Eigenschaften machen Aluminiumoxidkeramik ideal für unternehmenskritische Vorgänge in kontaminationsempfindlichen Branchen.

Funktionale Anwendungen

Der Endeffektor aus Aluminiumoxidkeramik wird häufig in Hightech-Industrieprozessen eingesetzt, insbesondere dort, wo herkömmliche Metall- oder Kunststoffmaterialien aufgrund von Wärmeausdehnung, Verunreinigungen oder Korrosion nicht ausreichen. Zu den wichtigsten Anwendungsgebieten gehören:

Halbleiter-Wafer-Transfer
Fotolithografie-Lade- und Entladesysteme
Handhabung von Glassubstraten in OLED- und LCD-Linien
Transfer kristalliner Siliziumwafer in der Solarzellenproduktion
Automatisierte optische oder mikroelektronische Inspektion
Probentransport in analytischen oder biomedizinischen Laboren
Automatisierungssysteme für Vakuumumgebungen

Seine Fähigkeit, ohne Partikel oder statische Aufladung zu arbeiten, macht ihn für präzise Roboteroperationen in der Reinraumautomatisierung unverzichtbar.

Designfunktionen und Anpassung

Jeder Keramik-Endeffektor ist für einen bestimmten Roboterarm oder ein Wafer-Handling-System konzipiert. Wir unterstützen die vollständige Anpassung basierend auf:

Wafergrößenkompatibilität: 2", 4", 6", 8", 12" und mehr
Schlitzgeometrie und -abstand: Geeignet für Kantengriff, Rückseitenunterstützung oder gekerbte Waferdesigns
Sauganschlüsse: Integrierte Vakuumlöcher oder -kanäle für berührungslose Handhabung
Montagekonfiguration: Löcher, Gewinde, Schlitze, die auf den Endwerkzeugflansch Ihres Roboters zugeschnitten sind
Oberflächenbehandlung: Polierte, geläppte oder feingeschliffene Oberfläche (Ra < 0,2 µm verfügbar)
Kantenschutz: Abgerundete Ecken oder Fasen zur Vermeidung von Waferschäden

Mithilfe von CAD-Zeichnungen oder 3D-Modellen, die von Kunden bereitgestellt werden, können unsere Ingenieure jeden Gabelarm hinsichtlich Gewicht, Festigkeit und Sauberkeit optimieren.

de_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Vorteile von Keramik-Endeffektoren

Besonderheit	Nutzen
Hohe mechanische Steifigkeit	Behält die Maßgenauigkeit unter Roboterbelastungskräften bei
Hervorragende Wärmeleistung	Zuverlässige Leistung in Hochtemperatur- oder Plasmaumgebungen
Keine Metallverunreinigung	Kein Risiko einer Ionenkontamination bei der kritischen Halbleiterverarbeitung
Oberfläche mit geringer Reibung	Reduziert das Kratzrisiko auf Wafern oder Glassubstraten
Antistatisch und nicht magnetisch	Zieht keinen Staub an und beeinträchtigt keine magnetempfindlichen Komponenten
Lange Lebensdauer	Überragende Verschleißfestigkeit bei sich wiederholenden Hochgeschwindigkeits-Automatisierungszyklen
Ultra-Clean-Kompatibilität	Geeignet für Reinräume nach ISO 14644 (Klasse 100 und darunter)

Im Vergleich zu Kunststoff- oder Aluminiumarmen bietet Aluminiumoxidkeramik eine deutlich verbesserte chemische und physikalische Stabilität bei minimalem Wartungsaufwand.

Eigentum	Metallarm	Kunststoffarm	Arm aus Aluminiumoxidkeramik
Härte	Mäßig	Niedrig	Sehr hoch (Mohs 9)
Thermische Stabilität	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600°C
Chemische Beständigkeit	Mäßig	Arm	Exzellent
Reinraumtauglichkeit	Medium	Niedrig	Sehr hoch
Verschleißfestigkeit	Medium	Niedrig	Hervorragend
Durchschlagsfestigkeit	Niedrig	Medium	Hoch
Kundenspezifische Bearbeitungspräzision	Beschränkt	Mäßig	Hoch (±0,01 mm möglich)

Technische Spezifikationen

Parameter	Wert
Material	Hochreines Aluminiumoxid (≥ 99,5 %)
Arbeitstemperatur	Bis 1600°C
Oberflächenrauheit	Ra ≤ 0,2 µm (optional)
Kompatible Wafergrößen	2" bis 12" oder kundenspezifisch
Ebenheitstoleranz	±0,01 mm (anwendungsabhängig)
Vakuum-Saugunterstützung	Optionale, anpassbare Kanäle
Montageoptionen	Durchschraubbar, Flansch, Langlöcher

Häufig gestellte Fragen (FAQ)

F1: Kann der Endeffektor in bestehende Robotersysteme integriert werden?
A1:Ja. Wir unterstützen die Anpassung an Ihre Roboterschnittstelle. Für eine präzise Anpassung können Sie uns eine CAD-Zeichnung oder Flanschmaße zusenden.

F2: Brechen Keramikarme während des Gebrauchs leicht?
A2:Obwohl Keramik von Natur aus spröde ist, nutzen unsere Designs eine optimierte Geometrie, um Spannungskonzentrationen zu minimieren. Unter ordnungsgemäßen Einsatzbedingungen bieten sie eine deutlich längere Lebensdauer als Metall oder Kunststoff.

F3: Ist es möglich, dies in Ultrahochvakuum- oder Plasmaätzkammern zu verwenden?
A3:Ja. Aluminiumoxidkeramik ist ausgasungsfrei, thermisch stabil und korrosionsbeständig – perfekt geeignet für Hochvakuum-, Reaktivgas- oder Plasmaumgebungen.

F4: Wie werden diese Komponenten gereinigt oder gewartet?
A4:Sie können mit deionisiertem Wasser, Alkohol oder reinraumkompatiblen Reinigungsmitteln gereinigt werden. Aufgrund ihrer chemischen Stabilität und inerten Oberfläche ist keine besondere Wartung erforderlich.

Über uns

XKH ist spezialisiert auf die Hightech-Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von speziellem optischem Glas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte kommen in der optischen Elektronik, der Unterhaltungselektronik und dem Militär zum Einsatz. Wir bieten optische Komponenten aus Saphir, Handy-Objektivabdeckungen, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SIC), Quarz und Halbleiterkristall-Wafer an. Dank unserer Fachkompetenz und modernster Ausrüstung sind wir in der Verarbeitung nicht standardisierter Produkte führend und streben danach, ein führendes Hightech-Unternehmen für optoelektronische Materialien zu werden.