150 mm 6 Zoll 0,7 mm 0,5 mm Saphir-Wafer-Substratträger C-Plane SSP/DSP
Anwendungen
Zu den Anwendungen für 6-Zoll-Saphirwafer gehören:
1. LED-Herstellung: Saphirwafer können als Substrat für LED-Chips verwendet werden und ihre Härte und Wärmeleitfähigkeit können die Stabilität und Lebensdauer von LED-Chips verbessern.
2. Laserherstellung: Saphirwafer können auch als Substrat für Laser verwendet werden, um die Leistung des Lasers zu verbessern und die Lebensdauer zu verlängern.
3. Halbleiterherstellung: Saphirwafer werden häufig bei der Herstellung elektronischer und optoelektronischer Geräte verwendet, einschließlich optischer Synthese, Solarzellen, elektronischer Hochfrequenzgeräte usw.
4. Andere Anwendungen: Saphirwafer können auch zur Herstellung von Touchscreens, optischen Geräten, Dünnschichtsolarzellen und anderen High-Tech-Produkten verwendet werden.
Spezifikation
Material | Hochreiner, einkristalliner Al2O3-Saphirwafer. |
Dimension | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 Zoll |
Dicke | 1300 +/- 25 um |
Orientierung | C-Ebene (0001) von M-Ebene (1-100) 0,2 +/- 0,05 Grad |
Primäre flache Ausrichtung | Eine Ebene +/- 1 Grad |
Primäre flache Länge | 47,5 mm +/- 1 mm |
Gesamtdickenvariation (TTV) | <20 um |
Bogen | <25 um |
Kette | <25 um |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,66 x 10-6 / °C parallel zur C-Achse, 5 x 10-6 /°C senkrecht zur C-Achse |
Spannungsfestigkeit | 4,8 x 105 V/cm |
Dielektrizitätskonstante | 11,5 (1 MHz) entlang der C-Achse, 9,3 (1 MHz) senkrecht zur C-Achse |
Tangens des dielektrischen Verlusts (auch Verlustfaktor genannt) | weniger als 1 x 10-4 |
Wärmeleitfähigkeit | 40 W/(mK) bei 20℃ |
Polieren | einseitig poliert (SSP) oder doppelseitig poliert (DSP) Ra < 0,5 nm (nach AFM). Die Rückseite des SSP-Wafers wurde auf Ra = 0,8 – 1,2 µm feingeschliffen. |
Transmission | 88 % +/-1 % bei 460 nm |