156 mm 159 mm 6 Zoll Saphir-Wafer für Träger C-Plane DSP TTV

Kurze Beschreibung:

156 mm/159 mm Durchmesser, 6″ Al2O3 doppelseitig polierte (DSP) Saphir-Wafer mit TTV unter 3 Mikrometern für Trägerplatinen. Zusätzliche 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ C-Achsen-, A-Achsen-, R-Achsen-, M-Achsen-Wafer. C-Ebenen-Saphir-Wafer mit bis zu 6 Zoll (6″/6 Zoll) Durchmesser, mit entweder einseitig polierten (SSP) oder doppelseitig polierten (DSP) Oberflächen und mit Dicken von 650 Mikrometern oder 1000 Mikrometern.

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Produktdetail

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Spezifikation

Artikel	6-Zoll C-Plane(0001) Saphir-Wafer
Kristallmaterialien	99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3
Grad	Prime, Epi-Ready
Oberflächenorientierung	C-Ebene (0001)
	C-Ebenen-Off-Winkel zur M-Achse 0,2 +/- 0,1°
Durchmesser	100,0 mm +/- 0,1 mm
Dicke	650 μm +/- 25 μm
Primäre flache Ausrichtung	C-Ebene (00-01) +/- 0,2°
Einseitig poliert	Vorderseite	Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
(SSP)	Rückseite	Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm
Doppelseitig poliert	Vorderseite	Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
(DSP)	Rückseite	Epipoliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
TTV	< 20 μm
BOGEN	< 20 μm
KETTE	< 20 μm
Reinigung / Verpackung	Reinraumreinigung Klasse 100 und Vakuumverpackung,
	25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung.

Das Kylopoulos-Verfahren (KY-Verfahren) wird derzeit von vielen Unternehmen in China zur Herstellung von Saphirkristallen für die Verwendung in der Elektronik- und Optikindustrie eingesetzt.

Bei diesem Verfahren wird hochreines Aluminiumoxid in einem Tiegel bei Temperaturen über 2100 Grad Celsius geschmolzen. Der Tiegel besteht üblicherweise aus Wolfram oder Molybdän. Ein präzise ausgerichteter Impfkristall wird in die geschmolzene Tonerde eingetaucht. Der Impfkristall wird langsam nach oben gezogen und kann gleichzeitig gedreht werden. Durch präzise Steuerung des Temperaturgradienten, der Ziehgeschwindigkeit und der Abkühlrate kann aus der Schmelze ein großer, einkristalliner, nahezu zylindrischer Barren hergestellt werden.

Nachdem die Saphir-Einkristallblöcke gezüchtet wurden, werden sie zu zylindrischen Stäben gebohrt, die dann auf die gewünschte Fensterdicke zugeschnitten und schließlich auf die gewünschte Oberflächenbeschaffenheit poliert werden.