156 mm 159 mm 6 Zoll Saphirwafer für CarrierC-Plane DSP TTV

156 mm 159 mm 6 Zoll Saphirwafer für TrägerC-Plane DSP TTV Ausgewähltes Bild

Kurzbeschreibung:

156 mm/159 mm Durchmesser, 6″ doppelseitig polierte (DSP) Al2O3-Saphirwafer mit einem TTV von weniger als 3 Mikrometern für Trägerplatinen. Zusätzliche 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ C-Achse, A-Achse, R-Achse, M-Achse Wafer. C-Plane-Saphirwafer mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll (6″/6 Zoll), entweder mit einseitig polierter (SSP) oder doppelseitig polierter (DSP) Oberfläche und mit einer Dicke von 650 Mikrometer oder 1000 Mikrometer.

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Produktdetails

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Spezifikation

Artikel	6-Zoll-C-Plane(0001)-Saphirwafer
Kristallmaterialien	99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3
Grad	Prime, Epi-Ready
Oberflächenorientierung	C-Ebene(0001)
	Abweichungswinkel der C-Ebene zur M-Achse 0,2 +/- 0,1°
Durchmesser	100,0 mm +/- 0,1 mm
Dicke	650 μm +/- 25 μm
Primäre flache Ausrichtung	C-Ebene (00-01) +/- 0,2°
Einseitig poliert	Vorderfläche	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)
(SSP)	Rückseite	Feingeschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm
Doppelseitig poliert	Vorderfläche	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)
(DSP)	Rückseite	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (von AFM)
TTV	< 20 μm
BOGEN	< 20 μm
KETTE	< 20 μm
Reinigung / Verpackung	Reinraumreinigung und Vakuumverpackung der Klasse 100,
	25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelstückverpackung.

Die Kylopoulos-Methode (KY-Methode) wird derzeit von vielen Unternehmen in China zur Herstellung von Saphirkristallen für den Einsatz in der Elektronik- und Optikindustrie eingesetzt.

Bei diesem Verfahren wird hochreines Aluminiumoxid in einem Tiegel bei Temperaturen über 2100 Grad Celsius geschmolzen. Normalerweise besteht der Tiegel aus Wolfram oder Molybdän. Ein präzise ausgerichteter Impfkristall wird in das geschmolzene Aluminiumoxid eingetaucht. Der Impfkristall wird langsam nach oben gezogen und kann gleichzeitig gedreht werden. Durch die genaue Steuerung des Temperaturgradienten, der Ziehgeschwindigkeit und der Abkühlgeschwindigkeit kann aus der Schmelze ein großer, einkristalliner, nahezu zylindrischer Barren hergestellt werden.

Nachdem die Einkristall-Saphirbarren gezüchtet wurden, werden sie in zylindrische Stäbe gebohrt, die dann auf die gewünschte Fensterdicke geschnitten und schließlich auf die gewünschte Oberflächenbeschaffenheit poliert werden.