156 mm 159 mm 6-Zoll-Saphirwafer für Träger-C-Plane-DSP-TTV

Kurzbeschreibung:

Saphir-Wafer mit 156 mm/159 mm Durchmesser, 6 Zoll, doppelseitig poliert (DSP), Al₂O₃, mit einer TTV von unter 3 µm für Trägerplatinen. Zusätzlich 8″/6″/5″/2″/3″/4″/5″-Wafer für die C-, A-, R- und M-Achse. C-Ebenen-Saphir-Wafer bis zu 6 Zoll (6″/6 Zoll) Durchmesser, einseitig poliert (SSP) oder doppelseitig poliert (DSP), mit einer Dicke von 650 µm oder 1000 µm.

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Merkmale

Spezifikation

Artikel	6-Zoll-C-Ebene(0001)-Saphirwafer
Kristallmaterialien	99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3
Grad	Prime, Epi-Ready
Oberflächenorientierung	C-Ebene(0001)
	Neigungswinkel der C-Ebene zur M-Achse: 0,2 ± 0,1°
Durchmesser	100,0 mm +/- 0,1 mm
Dicke	650 μm +/- 25 μm
Primäre flache Ausrichtung	C-Ebene(00-01) +/- 0,2°
Einseitig poliert	Vorderseite	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
(SSP)	Rückseite	Fein geschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm
Doppelseitig poliert	Vorderseite	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
(DSP)	Rückseite	Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM)
TTV	< 20 μm
BOGEN	< 20 μm
KETTE	< 20 μm
Reinigung / Verpackung	Reinigung im Reinraum der Klasse 100 und Vakuumverpackung,
	25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelverpackung.

Das Kylopoulos-Verfahren (KY-Verfahren) wird derzeit von vielen Unternehmen in China zur Herstellung von Saphirkristallen für die Elektronik- und Optikindustrie eingesetzt.

Bei diesem Verfahren wird hochreines Aluminiumoxid in einem Tiegel bei Temperaturen über 2100 °C geschmolzen. Der Tiegel besteht üblicherweise aus Wolfram oder Molybdän. Ein präzise ausgerichteter Impfkristall wird in das flüssige Aluminiumoxid eingetaucht. Der Impfkristall wird langsam nach oben gezogen und kann dabei gleichzeitig gedreht werden. Durch die präzise Steuerung des Temperaturgradienten, der Ziehgeschwindigkeit und der Abkühlgeschwindigkeit lässt sich aus der Schmelze ein großer, einkristalliner, nahezu zylindrischer Block herstellen.

Nachdem die Saphir-Einkristallbarren gezüchtet wurden, werden sie zu zylindrischen Stäben gebohrt, die dann auf die gewünschte Fensterdicke zugeschnitten und schließlich auf die gewünschte Oberflächengüte poliert werden.