12-Zoll-300-mm-Einzelwafer-Substratträgerbox aus PC und PP
Einführung der Waferbox
Die 12-Zoll-Waferbox besteht aus PC (Polycarbonat). Es handelt sich um ein hochfestes, hochtemperaturbeständiges und chemikalienbeständiges Material mit guter Transparenz und elektrischen Isolationseigenschaften.
Das Produkt wird hauptsächlich in der Halbleiterfertigung und der integrierten Schaltungstechnik als Behälter zur Waferverkapselung und zum Schutz eingesetzt. Es isoliert die Wafer wirksam vor Erosion und Verschmutzung durch die äußere Umgebung und gewährleistet so deren Qualität und Stabilität.
Zu den Vorteilen gehören
Hohe Festigkeit: PC-Materialien weisen eine hohe Zugfestigkeit und Zähigkeit auf, wodurch Wafer vor äußeren Stößen und Verformungen geschützt werden können.
Hohe Temperaturbeständigkeit: PC-Materialien weisen eine gute hohe Temperaturbeständigkeit auf und können unter verschiedensten Temperaturbedingungen eingesetzt werden, um den Prozessanforderungen der Halbleiterfertigung gerecht zu werden.
Transparenz: Das PC-Material weist eine gute Transparenz auf, wodurch der Zustand des Wafers deutlich beobachtet und die Funktionsweise erkannt werden kann.
Chemische Beständigkeit: PC-Materialien weisen eine ausgezeichnete chemische Beständigkeit auf und schützen Wafer vor Korrosion und Kontamination.
12-Zoll-Monolithgehäuse weisen im Allgemeinen folgende Spezifikationen auf:
Außenmaße: Üblicherweise ca. 300 mm x 300 mm (12" x 12"), können aber auch nach Bedarf angepasst werden.
Material: Häufig verwendete Materialien sind PC (Polycarbonat), PP (Polypropylen) usw. Die Wahl des Materials hängt im Allgemeinen von der jeweiligen Anwendungsumgebung und den Anforderungen ab.
Wandstärke: Die Wandstärke des monolithischen Gehäuses beträgt üblicherweise 2-3 mm und bietet ausreichend Festigkeit und Steifigkeit, um den inneren Wafer zu schützen.
Verpackungsform: Monolithische Boxen sind in der Regel versiegelt, um zu verhindern, dass Staub, Feuchtigkeit und andere Verunreinigungen in die Box eindringen und die Qualität des Wafers beeinträchtigen.
Detailliertes Diagramm
