Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid (SiC)-Keramik für kritische Handhabungssysteme

Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik (SiC) für kritische Handhabungssysteme (Abbildung)

Kurzbeschreibung:

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikist eine hochmoderne Komponente, die für die fortschrittliche industrielle Automatisierung, die Halbleiterverarbeitung und Reinraumumgebungen entwickelt wurde. Ihre besondere Gabelstruktur und die ultraflache Keramikoberfläche machen sie ideal für die Handhabung empfindlicher Substrate wie Siliziumwafer, Glasscheiben und optische Bauelemente. Präzise konstruiert und aus hochreinem Siliziumkarbid gefertigt,Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikbietet unübertroffene mechanische Festigkeit, thermische Zuverlässigkeit und Kontaminationskontrolle.

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Merkmale

Detailliertes Diagramm

Einführung von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

Im Gegensatz zu herkömmlichen Metall- oder Kunststoffarmen,Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEs bietet stabile Leistung unter extremen thermischen, chemischen und Vakuumbedingungen. Ob im Reinraum der Klasse 1 oder in einer Hochvakuum-Plasmakammer – diese Komponente gewährleistet einen sicheren, effizienten und rückstandsfreien Transport wertvoller Teile.

Mit einer speziell für Roboterarme, Wafer-Handler und automatisierte Transferwerkzeuge entwickelten StrukturGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikist ein sinnvolles Upgrade für jedes hochpräzise System.

Herstellungsprozess von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

Entwicklung eines HochleistungsproduktsGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikbeinhaltet einen streng kontrollierten Arbeitsablauf in der Keramikentwicklung, der Wiederholbarkeit, Zuverlässigkeit und extrem niedrige Fehlerraten gewährleistet.

1. Materialtechnik

Für die Herstellung des Produkts wird ausschließlich hochreines Siliciumcarbidpulver verwendet.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikDadurch wird eine geringe ionische Verunreinigung und eine hohe Festigkeit gewährleistet. Die Pulver werden präzise mit Sinteradditiven und Bindemitteln vermischt, um eine optimale Verdichtung zu erzielen.

2. Bildung der Grundstruktur

Die Grundgeometrie desGabelarm/HandDie Formgebung erfolgt durch Kaltisostatpressen oder Spritzgießen, wodurch eine hohe Rohdichte und eine gleichmäßige Spannungsverteilung gewährleistet werden. Die U-förmige Konfiguration ist hinsichtlich des Steifigkeits-Gewichts-Verhältnisses und des dynamischen Verhaltens optimiert.

3. Sinterprozess

Der grüne Körper desGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikwird in einem Hochtemperatur-Inertgasofen bei über 2000 °C gesintert. Dieser Schritt gewährleistet eine nahezu theoretische Dichte und erzeugt ein Bauteil, das unter realen thermischen Belastungen riss-, verzugs- und maßbeständig ist.

4. Präzisionsschleifen und -bearbeiten

Mithilfe von hochentwickelten CNC-Diamantwerkzeugen werden die endgültigen Abmessungen des Produkts geformt.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEnge Toleranzen (±0,01 mm) und eine spiegelglatte Oberfläche reduzieren die Freisetzung von Partikeln und die mechanische Belastung.

5. Oberflächenkonditionierung und -reinigung

Die abschließende Oberflächenveredelung umfasst chemisches Polieren und Ultraschallreinigung zur Vorbereitung der Oberfläche.Gabelarm/HandZur direkten Integration in Reinraumsysteme. Optionale Beschichtungen (CVD-SiC, Antireflexionsschichten) sind ebenfalls erhältlich.

Dieser sorgfältige Prozess garantiert, dass jedesGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikErfüllt die strengsten Industriestandards, einschließlich der Reinraumanforderungen von SEMI und ISO.

Parameter des Gabelarms/Hands aus Siliziumkarbid-Keramik

Artikel	Testbedingungen	Daten	Einheit
Siliciumcarbid-Gehalt	/	>99,5	%
Durchschnittliche Korngröße	/	4-10	Mikron
Dichte	/	>3,14	g/cm³
Scheinbare Porosität	/	<0,5	Vol %
Vickers-Härte	HV0,5	2800	kg/mm²
Bruchmodul (3 Punkte)	Prüfstabgröße: 3 x 4 x 40 mm	450	MPa
Druckfestigkeit	20°C	3900	MPa
Elastizitätsmodul	20°C	420	GPa
Bruchzähigkeit	/	3,5	MPa/m^1/2
Wärmeleitfähigkeit	20°C	160	W/(mK)
Elektrischer Widerstand	20°C	10⁶-10⁸	Ωcm
Wärmeausdehnungskoeffizient	20 °C–800 °C	4.3	K^-110^-6
Maximale Anwendungstemperatur	Oxidische Atmosphäre	1600	°C
Maximale Anwendungstemperatur	Inerte Atmosphäre	1950	°C

Anwendungen von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEs ist für den Einsatz in hochpräzisen, risikoreichen und kontaminationssensiblen Anwendungen konzipiert. Es ermöglicht die zuverlässige Handhabung, den Transport oder die Unterstützung kritischer Komponenten ohne Kompromisse.

➤ Halbleiterindustrie

Wird als Robotergabel in Front-End-Wafer-Transfer- und FOUP-Stationen eingesetzt.
Integriert in Vakuumkammern für Plasmaätz- und PVD/CVD-Prozesse.
Dient als Trägerarm in Metrologie- und Wafer-Ausrichtungssystemen.

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEliminiert die Risiken elektrostatischer Entladungen (ESD), unterstützt die Maßgenauigkeit und ist beständig gegen Plasmakorrosion.

➤ Photonik und Optik

Unterstützt empfindliche Linsen, Laserkristalle und Sensoren während der Fertigung oder Inspektion.
Durch seine hohe Steifigkeit werden Vibrationen verhindert, während der Keramikkörper resistent gegen Verunreinigungen optischer Oberflächen ist.

➤ Display- und Panelproduktion

Handhabt dünnes Glas, OLED-Module und LCD-Substrate beim Transport oder bei der Inspektion.
Die flache und chemisch inerteGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikSchützt vor Kratzern und chemischer Ätzung.

➤ Luft- und Raumfahrtinstrumente sowie wissenschaftliche Instrumente

Wird eingesetzt bei der Montage von Satellitenoptiken, in der Vakuumrobotik und bei Synchrotronstrahlführungen.
Funktioniert einwandfrei in Reinräumen nach Weltraumstandard und in strahlungsbelasteten Umgebungen.

In jedem Bereich,Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikVerbessert die Systemeffizienz, reduziert Teileausfälle und minimiert Ausfallzeiten.

FAQ – Häufig gestellte Fragen zu Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

Frage 1: Was macht den Gabelarm/die Hand aus Siliziumkarbid-Keramik besser als Alternativen aus Metall?

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEs weist eine höhere Härte, eine geringere Dichte, eine bessere chemische Beständigkeit und eine deutlich geringere Wärmeausdehnung als Metalle auf. Zudem ist es reinraumtauglich und korrosions- sowie partikelfrei.

F2: Kann ich individuelle Abmessungen für meinen Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik anfordern?

Ja. Wir bieten vollständige Individualisierungsmöglichkeiten, einschließlich Gabelbreite, Dicke, Befestigungslöcher, Aussparungen und Oberflächenbehandlungen. Ob für 6-, 8- oder 12-Zoll-Wafer, IhreGabelarm/Handkann individuell angepasst werden.

Frage 3: Wie lange ist die Lebensdauer des Gabelarms/der Hand aus Siliziumkarbid-Keramik unter Plasma- oder Vakuumbedingungen?

Dank des hochdichten SiC-Materials und seiner inerten EigenschaftenGabelarm/HandEs bleibt auch nach Tausenden von Prozesszyklen funktionsfähig. Es weist unter starker Plasma- oder Vakuumwärmebelastung nur minimalen Verschleiß auf.

Frage 4: Ist das Produkt für Reinräume der ISO-Klasse 1 geeignet?

Absolut.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikDie Herstellung und Verpackung erfolgt in zertifizierten Reinraumanlagen, wobei die Partikelwerte deutlich unter den Anforderungen der ISO-Klasse 1 liegen.

Frage 5: Was ist die maximale Betriebstemperatur für diesen Gabelarm/diese Gabelhand?

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEs kann bei Temperaturen bis zu 1500°C kontinuierlich betrieben werden und eignet sich daher für den direkten Einsatz in Hochtemperatur-Prozesskammern und thermischen Vakuumsystemen.

Diese FAQs spiegeln die häufigsten technischen Bedenken von Ingenieuren, Laborleitern und Systemintegratoren wider, die das System verwenden.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik.

Über uns

XKH ist spezialisiert auf die Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von Spezialglas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte finden Anwendung in der Optoelektronik, der Unterhaltungselektronik und im Militärbereich. Wir bieten optische Saphirkomponenten, Objektivabdeckungen für Mobiltelefone, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SiC), Quarz und Halbleiterkristallwafer an. Dank unserer Expertise und modernster Ausrüstung zeichnen wir uns durch die Fertigung von Sonderanfertigungen aus und streben die Position eines führenden Hightech-Unternehmens für optoelektronische Materialien an.