Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik

Kurzbeschreibung:

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikist ein hochpräzises, hochfestes Bauteil, das für Anwendungen in anspruchsvollen Umgebungen wie der Halbleiterfertigung, der Luft- und Raumfahrt sowie der fortgeschrittenen Robotik entwickelt wurde. Mit seiner Doppelfunktion – alsgabelförmige Stützstrukturund alsroboterhandähnlicher Endeffektor—Dieses Bauteil bietet eine unvergleichliche Vielseitigkeit beim Handling, der Unterstützung oder dem Transport von empfindlichen oder wertvollen Teilen.

Der mit fortschrittlichen Keramikverarbeitungstechniken hergestellte SiC-Gabelarm/Hand bietet eine einzigartige Kombination ausmechanische Steifigkeit, thermische Stabilität, Undchemische BeständigkeitDamit ist es ein idealer Ersatz für herkömmliche Metall- oder Polymerarme in Systemen, die eine langfristige Leistungsfähigkeit unter Belastung und extremen Bedingungen erfordern.

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Merkmale

Detailliertes Diagramm

Einführung von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikist eine hochentwickelte Handhabungskomponente, die für hochpräzise Automatisierungssysteme, insbesondere in der Halbleiter- und Optikindustrie, entwickelt wurde. Diese Komponente zeichnet sich durch ein charakteristisches U-förmiges Design aus, das für die Waferhandhabung optimiert ist und sowohl mechanische Festigkeit als auch Maßgenauigkeit unter extremen Umgebungsbedingungen gewährleistet. Gefertigt aus hochreiner Siliziumkarbidkeramik,Gabelarm/Handbietet außergewöhnliche Steifigkeit, thermische Stabilität und chemische Beständigkeit.

Mit der Entwicklung von Halbleiterbauelementen hin zu feineren Geometrien und engeren Toleranzen wird die Nachfrage nach kontaminationsfreien und thermisch stabilen Komponenten entscheidend.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikDiese Herausforderung wird durch geringe Partikelbildung, ultra-glatte Oberflächen und hohe strukturelle Integrität gemeistert. Ob beim Wafertransport, der Substratpositionierung oder in Roboterwerkzeugköpfen – diese Komponente ist auf Zuverlässigkeit und Langlebigkeit ausgelegt.

Wichtigste Gründe für die Wahl dieses ProduktsGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikenthalten:

Minimale Wärmeausdehnung für Maßgenauigkeit
Hohe Härte für lange Lebensdauer
Beständigkeit gegenüber Säuren, Laugen und reaktiven Gasen
Kompatibilität mit Reinraumumgebungen der ISO-Klasse 1

Fertigungsprinzip von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikwird durch einen streng kontrollierten Keramikverarbeitungsprozess hergestellt, der überlegene Materialeigenschaften und Maßgenauigkeit gewährleistet.

1. Pulverpräparation

Der Prozess beginnt mit der Auswahl ultrafeiner Siliciumcarbidpulver. Diese Pulver werden mit Bindemitteln und Sinterhilfsmitteln vermischt, um die Verdichtung und Verfestigung zu erleichtern.Gabelarm/Hand, β-SiC- oder α-SiC-Pulver werden verwendet, um sowohl Härte als auch Zähigkeit zu gewährleisten.

2. Formen und Vorformen

Abhängig von der Komplexität derGabelarm/HandDas Bauteil wird mittels isostatischem Pressen, Spritzgießen oder Schlickergießen geformt. Dies ermöglicht komplexe Geometrien und dünnwandige Strukturen, die für das geringe Gewicht des Bauteils entscheidend sind.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik.

3. Hochtemperatursintern

Das Sintern erfolgt bei Temperaturen über 2000 °C im Vakuum oder unter Argonatmosphäre. In diesem Schritt wird der Grünling in ein vollständig verdichtetes Keramikbauteil umgewandelt.Gabelarm/Handerreicht eine nahezu theoretische Dichte und bietet hervorragende mechanische und thermische Eigenschaften.

4. Präzisionsbearbeitung

Nach dem SinternGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikDas Bauteil wird diamantgeschliffen und CNC-bearbeitet. Dies gewährleistet eine Ebenheit innerhalb von ±0,01 mm und ermöglicht die Integration von Befestigungslöchern und Positionierungselementen, die für den Einbau in automatisierte Systeme unerlässlich sind.

5. Oberflächenveredelung

Durch Polieren wird die Oberflächenrauheit (Ra < 0,02 μm) verringert, was für die Reduzierung der Partikelbildung unerlässlich ist. Optional können CVD-Beschichtungen aufgebracht werden, um die Plasmabeständigkeit zu verbessern oder zusätzliche Funktionen wie beispielsweise antistatische Eigenschaften zu erzielen.

Während des gesamten Prozesses werden Qualitätskontrollprotokolle angewendet, um dieGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikFunktioniert zuverlässig auch bei den anspruchsvollsten Anwendungen.

Parameter des Gabelarms/Hands aus Siliziumkarbid-Keramik

Hauptspezifikationen der CVD-SiC-Beschichtung
SiC-CVD-Eigenschaften
Kristallstruktur	FCC β-Phase
Dichte	g/cm³	3.21
Härte	Vickers-Härte	2500
Körnung	μm	2–10
Chemische Reinheit	%	99,99995
Wärmekapazität	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimationstemperatur	℃	2700
Felexurale Stärke	MPa (RT 4-Punkt)	415
Elastizitätsmodul	Gpa (4pt Biegung, 1300℃)	430
Wärmeausdehnung (CTE)	10-6K-1	4,5
Wärmeleitfähigkeit	(W/mK)	300

Anwendungen von Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

DerGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikwird in zahlreichen Branchen eingesetzt, in denen hohe Reinheit, Stabilität und mechanische Präzision unerlässlich sind. Dazu gehören:

1. Halbleiterfertigung

Bei der HalbleiterfertigungGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikEs wird zum Transport von Siliziumwafern innerhalb von Prozessanlagen wie Ätzkammern, Beschichtungssystemen und Inspektionsgeräten verwendet. Seine Wärmebeständigkeit und Maßgenauigkeit machen es ideal zur Minimierung von Waferfehlausrichtungen und Verunreinigungen.

2. Display-Panel-Produktion

Bei der Herstellung von OLED- und LCD-DisplaysGabelarm/HandEs wird in Bestückungsautomaten eingesetzt, wo es empfindliche Glassubstrate handhabt. Seine geringe Masse und hohe Steifigkeit ermöglichen eine schnelle und stabile Bewegung ohne Vibrationen oder Durchbiegung.

3. Optische und photonische Systeme

Zur Ausrichtung und Positionierung von Linsen, Spiegeln oder photonischen Chips,Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikbietet vibrationsfreie Lagerung, was bei Laserbearbeitungs- und Präzisionsmesstechnikanwendungen von entscheidender Bedeutung ist.

4. Luft- und Raumfahrt- sowie Vakuumsysteme

In optischen Systemen und Vakuuminstrumenten für die Luft- und Raumfahrt gewährleistet die nichtmagnetische, korrosionsbeständige Struktur dieser Komponente Langzeitstabilität.Gabelarm/Handkann auch im Ultrahochvakuum (UHV) ohne Ausgasung betrieben werden.

In all diesen Bereichen,Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikÜbertrifft herkömmliche Metall- oder Polymeralternativen in Zuverlässigkeit, Sauberkeit und Lebensdauer.

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Häufig gestellte Fragen zu Gabelarmen/Handstücken aus Siliziumkarbid-Keramik

Frage 1: Welche Wafergrößen werden vom Siliziumkarbid-Keramik-Gabelarm/Hand unterstützt?

DerGabelarm/HandKann für Wafer mit 150 mm, 200 mm und 300 mm Durchmesser angepasst werden. Gabelabstand, Armbreite und Lochmuster können an Ihre spezifische Automatisierungsplattform angepasst werden.

Frage 2: Ist der Gabelarm/die Hand aus Siliziumkarbid-Keramik mit Vakuumsystemen kompatibel?

Ja.Gabelarm/HandEs eignet sich sowohl für Niedrigvakuum- als auch für Ultrahochvakuumsysteme. Es weist geringe Ausgasungsraten auf und setzt keine Partikel frei, wodurch es ideal für Reinräume und Vakuumumgebungen geeignet ist.

Frage 3: Kann ich Beschichtungen oder Oberflächenmodifikationen am Gabelarm/Gabelhand anbringen?

Gewiss.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramikkann mit CVD-SiC-, Kohlenstoff- oder Oxidschichten beschichtet werden, um seine Plasmabeständigkeit, antistatischen Eigenschaften oder Oberflächenhärte zu verbessern.

Frage 4: Wie wird die Qualität des Gabelarms/Gabelhand überprüft?

JedeGabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-KeramikDie Abmessungen werden mittels Koordinatenmessmaschine (KMM) und Lasermesstechnik geprüft. Die Oberflächenqualität wird mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) und berührungsloser Profilometrie bewertet, um die ISO- und SEMI-Normen zu erfüllen.

F5: Wie lange ist die Lieferzeit für Sonderanfertigungen von Gabelarmen/Gabelhänden?

Die Lieferzeit beträgt in der Regel 3 bis 5 Wochen, abhängig von Komplexität und Menge. Für dringende Anfragen bieten wir Rapid Prototyping an.

Diese FAQs sollen Ingenieuren und Beschaffungsteams helfen, die Funktionen und Optionen bei der Auswahl eines Produkts zu verstehen.Gabelarm/Hand aus Siliziumkarbid-Keramik.

Über uns

XKH ist spezialisiert auf die Entwicklung, Produktion und den Vertrieb von Spezialglas und neuen Kristallmaterialien. Unsere Produkte finden Anwendung in der Optoelektronik, der Unterhaltungselektronik und im Militärbereich. Wir bieten optische Saphirkomponenten, Objektivabdeckungen für Mobiltelefone, Keramik, LT, Siliziumkarbid (SiC), Quarz und Halbleiterkristallwafer an. Dank unserer Expertise und modernster Ausrüstung zeichnen wir uns durch die Fertigung von Sonderanfertigungen aus und streben die Position eines führenden Hightech-Unternehmens für optoelektronische Materialien an.