Monokristalliner Silizium-Wachstumsofen, monokristalline Silizium-Ingot-Wachstumsanlage, Temperatur bis zu 2100℃

Kurzbeschreibung:

Der Monokristallin-Silizium-Wachstumsofen ist eine Schlüsselanlage zur Herstellung hochreiner monokristalliner Siliziumstäbe, die in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie weit verbreitet sind. Monokristallines Silizium ist das Kernmaterial für die Fertigung von integrierten Schaltkreisen, Solarzellen und anderen elektronischen Bauelementen. Monokristallin-Silizium-Wachstumsöfen wandeln Polysilizium-Rohmaterialien mithilfe von Verfahren wie dem Czochralski-Verfahren (CZ) oder dem Zonenschmelzverfahren (FZ) in hochwertige monokristalline Siliziumstäbe um.

Kernfunktion: Erhitzen von Polysilizium-Rohmaterial bis zum Schmelzzustand, Lenkung und Kontrolle des Kristallwachstums über Impfkristalle zur Bildung von monokristallinen Siliziumstäben mit spezifischer Kristallorientierung und -größe.

Die Hauptkomponenten:
Heizsystem: Sorgt für eine Hochtemperaturumgebung, üblicherweise mittels Graphitheizungen oder Hochfrequenz-Induktionsheizung.

Tiegel: Wird zum Aufbewahren von geschmolzenem Silizium verwendet und besteht üblicherweise aus Quarz oder Graphit.

Hebesystem: Steuerung der Rotations- und Hubgeschwindigkeit des Impfkristalls, um ein gleichmäßiges Kristallwachstum zu gewährleisten.

Atmosphärenkontrollsystem: Die Schmelze wird durch Inertgase wie Argon vor Verunreinigungen geschützt.

Kühlsystem: Steuerung der Kristallabkühlungsrate zur Reduzierung der thermischen Belastung.

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Merkmale

Hauptmerkmale des monokristallinen Silizium-Wachstumsofens

(1) Hochpräzise Steuerung
Temperaturregelung: Die Heiztemperatur muss präzise geregelt werden (der Schmelzpunkt von Silizium liegt bei etwa 1414°C), um die Stabilität der Schmelze zu gewährleisten.
Steuerung der Hubgeschwindigkeit: Die Hubgeschwindigkeit des Impfkristalls wird durch einen Präzisionsmotor gesteuert (üblicherweise 0,5-2 mm/min), was sich auf den Kristalldurchmesser und die Qualität auswirkt.
Drehzahlregelung: Passen Sie die Drehzahl von Impfkristall und Tiegel an, um ein gleichmäßiges Kristallwachstum zu gewährleisten.

(2) Hochwertiges Kristallwachstum
Niedrige Defektdichte: Durch Optimierung der Prozessparameter kann der monokristalline Siliziumstab mit niedriger Defektdichte und hoher Reinheit gezüchtet werden.
Große Kristalle: Um den Bedürfnissen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden, können monokristalline Siliziumstäbe mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll (300 mm) gezüchtet werden.

(3) Effiziente Produktion
Automatisierter Betrieb: Moderne Monokristallin-Silizium-Wachstumsöfen sind mit automatisierten Steuerungssystemen ausgestattet, um manuelle Eingriffe zu reduzieren und die Produktionseffizienz zu steigern.
Energieeffizientes Design: Nutzen Sie effiziente Heiz- und Kühlsysteme, um den Energieverbrauch zu reduzieren.

(4) Vielseitigkeit
Geeignet für eine Vielzahl von Verfahren: unterstützt das CZ-Verfahren, das FZ-Verfahren und andere Kristallzüchtungstechnologien.
Kompatibel mit einer Vielzahl von Materialien: Neben monokristallinem Silizium kann es auch zum Wachstum anderer Halbleitermaterialien (wie Germanium, Galliumarsenid) verwendet werden.

Hauptanwendungen von monokristallinen Silizium-Wachstumsöfen

(1) Halbleiterindustrie
Herstellung integrierter Schaltungen: Monokristallines Silizium ist das Kernmaterial für die Herstellung von CPUs, Speichern und anderen integrierten Schaltungen.
Leistungshalbleiterbauelement: Wird zur Herstellung von MOSFETs, IGBTs und anderen Leistungshalbleiterbauelementen verwendet.

(2) Photovoltaikindustrie
Solarzellen: Monokristallines Silizium ist das Hauptmaterial für hocheffiziente Solarzellen und wird in der Photovoltaik-Stromerzeugung weit verbreitet eingesetzt.
Photovoltaikmodule: Werden zur Herstellung von monokristallinen Silizium-Photovoltaikmodulen verwendet, um die photoelektrische Umwandlungseffizienz zu verbessern.

(3) Wissenschaftliche Forschung
Materialforschung: Dient der Untersuchung der physikalischen und chemischen Eigenschaften von monokristallinem Silizium und der Entwicklung neuer Halbleitermaterialien.
Prozessoptimierung: Unterstützung von Innovationen und Optimierungen im Kristallzuchtprozess.

(4) Andere elektronische Geräte
Sensoren: Werden zur Herstellung von hochpräzisen Sensoren wie Drucksensoren und Temperatursensoren verwendet.
Optoelektronische Bauelemente: werden zur Herstellung von Lasern und Fotodetektoren verwendet.

XKH bietet Anlagen und Dienstleistungen für die Herstellung von monokristallinem Silizium an.

XKH konzentriert sich auf die Entwicklung und Herstellung von Anlagen zur Herstellung von monokristallinem Silizium und bietet folgende Dienstleistungen an:

Kundenspezifische Anlagen: XKH bietet monokristalline Silizium-Wachstumsöfen mit unterschiedlichen Spezifikationen und Konfigurationen gemäß den Kundenanforderungen an, um eine Vielzahl von Kristallwachstumsprozessen zu unterstützen.

Technischer Support: XKH bietet seinen Kunden umfassenden Prozesssupport von der Geräteinstallation und Prozessoptimierung bis hin zur technischen Beratung zum Kristallwachstum.

Schulungsdienstleistungen: XKH bietet seinen Kunden operative und technische Schulungen an, um einen effizienten Betrieb der Geräte zu gewährleisten.

Kundendienst: XKH bietet einen reaktionsschnellen Kundendienst und Gerätewartung, um die Kontinuität der Kundenproduktion zu gewährleisten.

Modernisierungsservices: XKH bietet Modernisierungs- und Umbaudienstleistungen für Anlagen gemäß den Kundenanforderungen an, um die Produktionseffizienz und die Kristallqualität zu verbessern.

Monokristalline Silizium-Wachstumsöfen sind Kernanlagen der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie und zeichnen sich durch hochpräzise Steuerung, hochwertiges Kristallwachstum und effiziente Produktion aus. Sie finden breite Anwendung in der Herstellung integrierter Schaltungen, Solarzellen, der wissenschaftlichen Forschung und elektronischen Geräten. XKH bietet fortschrittliche Anlagen zur Herstellung monokristalliner Silizium-Wachstumsöfen sowie umfassende Serviceleistungen, um Kunden bei der Produktion hochwertiger monokristalliner Siliziumstäbe im industriellen Maßstab zu unterstützen und so zur Entwicklung der entsprechenden Branchen beizutragen.