Kundenspezifische GaN-auf-SiC-Epitaxiewafer (100 mm, 150 mm) – Mehrere SiC-Substratoptionen (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Merkmale
●EpitaxieschichtdickeAnpassbar ab1,0 µmZu3,5 µm, optimiert für hohe Leistungs- und Frequenzperformance.
●SiC-SubstratoptionenErhältlich mit verschiedenen SiC-Substraten, darunter:
- 4H-NHochwertiges stickstoffdotiertes 4H-SiC für Hochfrequenz- und Hochleistungsanwendungen.
- HPSIHochreines, halbisolierendes SiC für Anwendungen, die eine elektrische Isolation erfordern.
- 4H/6H-P: Mischung aus 4H- und 6H-SiC für ein ausgewogenes Verhältnis von hoher Effizienz und Zuverlässigkeit.
●WaffelgrößenVerfügbar in100 mmUnd150 mmDurchmesser für vielseitige Skalierung und Integration der Geräte.
●Hohe DurchschlagsspannungDie GaN-auf-SiC-Technologie bietet eine hohe Durchbruchspannung und ermöglicht so eine robuste Leistungsfähigkeit in Hochleistungsanwendungen.
●Hohe WärmeleitfähigkeitDie inhärente Wärmeleitfähigkeit von SiC (ungefähr 490 W/m·K) gewährleistet eine hervorragende Wärmeableitung für energieintensive Anwendungen.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert |
| Waferdurchmesser | 100 mm, 150 mm |
| Dicke der Epitaxialschicht | 1,0 µm – 3,5 µm (anpassbar) |
| SiC-Substrattypen | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
| Wärmeleitfähigkeit von SiC | 490 W/m·K |
| SiC-Widerstand | 4H-N: 10^6 Ω·cm,HPSIHalbisolierend4H/6H-P: Gemischte 4H/6H |
| GaN-Schichtdicke | 1,0 µm – 2,0 µm |
| GaN-Trägerkonzentration | 10^18 cm^-3 bis 10^19 cm^-3 (anpassbar) |
| Wafer-Oberflächenqualität | RMS-Rauheit: < 1 nm |
| Versetzungsdichte | < 1 x 10^6 cm^-2 |
| Wafer Bow | < 50 µm |
| Planheit der Waffel | < 5 µm |
| Maximale Betriebstemperatur | 400°C (typisch für GaN-auf-SiC-Bauelemente) |
Anwendungen
●Leistungselektronik:GaN-auf-SiC-Wafer bieten hohe Effizienz und Wärmeableitung und eignen sich daher ideal für Leistungsverstärker, Leistungswandler und Wechselrichterschaltungen, die in Elektrofahrzeugen, Systemen für erneuerbare Energien und Industriemaschinen eingesetzt werden.
●HF-Leistungsverstärker:Die Kombination von GaN und SiC eignet sich perfekt für Hochfrequenz-Hochleistungsanwendungen wie Telekommunikation, Satellitenkommunikation und Radarsysteme.
●Luft- und Raumfahrt sowie Verteidigung:Diese Wafer eignen sich für Luft- und Raumfahrt- sowie Verteidigungstechnologien, die Hochleistungselektronik und Kommunikationssysteme erfordern, die unter rauen Bedingungen funktionieren können.
●Automobilanwendungen:Ideal für Hochleistungs-Energiesysteme in Elektrofahrzeugen (EVs), Hybridfahrzeugen (HEVs) und Ladestationen, ermöglicht effiziente Energieumwandlung und -steuerung.
●Militär- und Radarsysteme:GaN-auf-SiC-Wafer werden in Radarsystemen aufgrund ihrer hohen Effizienz, ihrer Belastbarkeit und ihrer thermischen Leistungsfähigkeit in anspruchsvollen Umgebungen eingesetzt.
●Anwendungen im Mikrowellen- und Millimeterwellenbereich:Für Kommunikationssysteme der nächsten Generation, einschließlich 5G, bietet GaN-auf-SiC optimale Leistung im Hochleistungs-Mikrowellen- und Millimeterwellenbereich.
Fragen und Antworten
Frage 1: Welche Vorteile bietet die Verwendung von SiC als Substrat für GaN?
A1:Siliziumkarbid (SiC) bietet im Vergleich zu herkömmlichen Substraten wie Silizium eine überlegene Wärmeleitfähigkeit, hohe Durchbruchspannung und mechanische Festigkeit. Dadurch eignen sich GaN-auf-SiC-Wafer ideal für Anwendungen mit hoher Leistung, hohen Frequenzen und hohen Temperaturen. Das SiC-Substrat trägt zur Wärmeableitung der GaN-Bauelemente bei und verbessert so deren Zuverlässigkeit und Leistung.
Frage 2: Lässt sich die Dicke der Epitaxieschicht für spezifische Anwendungen anpassen?
A2:Ja, die Dicke der Epitaxieschicht kann innerhalb eines bestimmten Bereichs angepasst werden.1,0 µm bis 3,5 µmAbhängig von den Leistungs- und Frequenzanforderungen Ihrer Anwendung können wir die Dicke der GaN-Schicht anpassen, um die Leistung für spezifische Bauelemente wie Leistungsverstärker, HF-Systeme oder Hochfrequenzschaltungen zu optimieren.
Frage 3: Worin besteht der Unterschied zwischen 4H-N-, HPSI- und 4H/6H-P-SiC-Substraten?
A3:
- 4H-NStickstoffdotiertes 4H-SiC wird häufig für Hochfrequenzanwendungen eingesetzt, die eine hohe elektronische Leistungsfähigkeit erfordern.
- HPSIHochreines, halbisolierendes SiC bietet elektrische Isolation und ist ideal für Anwendungen, die eine minimale elektrische Leitfähigkeit erfordern.
- 4H/6H-PEine Mischung aus 4H- und 6H-SiC, die ein ausgewogenes Verhältnis von Leistung und Robustheit bietet und sich für verschiedene Anwendungen in der Leistungselektronik eignet.
Frage 4: Sind diese GaN-auf-SiC-Wafer für Hochleistungsanwendungen wie Elektrofahrzeuge und erneuerbare Energien geeignet?
A4:Ja, GaN-auf-SiC-Wafer eignen sich hervorragend für Hochleistungsanwendungen wie Elektrofahrzeuge, erneuerbare Energien und industrielle Systeme. Die hohe Durchbruchspannung, die hohe Wärmeleitfähigkeit und die hohe Belastbarkeit von GaN-auf-SiC-Bauelementen ermöglichen ihren effektiven Einsatz in anspruchsvollen Leistungswandlungs- und Steuerschaltungen.
Frage 5: Wie hoch ist die typische Versetzungsdichte dieser Wafer?
A5:Die Versetzungsdichte dieser GaN-auf-SiC-Wafer beträgt typischerweise< 1 x 10^6 cm^-2, wodurch ein qualitativ hochwertiges epitaktisches Wachstum gewährleistet, Defekte minimiert und die Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit des Bauelements verbessert werden.
F6: Kann ich eine bestimmte Wafergröße oder einen bestimmten SiC-Substrattyp anfordern?
A6:Ja, wir bieten kundenspezifische Wafergrößen (100 mm und 150 mm) und SiC-Substrattypen (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) an, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Anwendung gerecht zu werden. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen zu Anpassungsmöglichkeiten und um Ihre Anforderungen zu besprechen.
Frage 7: Wie verhalten sich GaN-auf-SiC-Wafer in extremen Umgebungen?
A7:GaN-auf-SiC-Wafer eignen sich aufgrund ihrer hohen thermischen Stabilität, hohen Belastbarkeit und exzellenten Wärmeableitung ideal für extreme Umgebungen. Diese Wafer bewähren sich unter den in der Luft- und Raumfahrt, der Verteidigungsindustrie und in industriellen Anwendungen üblichen Bedingungen mit hohen Temperaturen, hohen Leistungen und hohen Frequenzen.
Abschluss
Unsere kundenspezifischen GaN-auf-SiC-Epitaxiewafer vereinen die fortschrittlichen Eigenschaften von GaN und SiC und bieten so überragende Leistung in Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen. Dank verschiedener SiC-Substratoptionen und individuell anpassbarer Epitaxieschichten eignen sich diese Wafer ideal für Branchen, die hohe Effizienz, Wärmemanagement und Zuverlässigkeit erfordern. Ob Leistungselektronik, HF-Systeme oder Verteidigungsanwendungen – unsere GaN-auf-SiC-Wafer bieten Ihnen die benötigte Leistung und Flexibilität.
Detailliertes Diagramm




