4-Zoll-Saphirwafer C-Plane SSP/DSP 0,43 mm 0,65 mm
Anwendungen
● Wachstumssubstrat für III-V- und II-VI-Verbindungen.
● Elektronik und Optoelektronik.
● IR-Anwendungen.
● Silicon On Sapphire Integrated Circuit (SOS).
● Integrierter Hochfrequenzschaltkreis (RFIC).
In der LED-Produktion werden Saphirwafer als Substrat für das Wachstum von Galliumnitrid-Kristallen (GaN) verwendet, die bei Anlegen eines elektrischen Stroms Licht emittieren. Saphir ist ein ideales Substratmaterial für das GaN-Wachstum, da es eine ähnliche Kristallstruktur und einen ähnlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten wie GaN aufweist. Dies minimiert Defekte und verbessert die Kristallqualität.
In der Optik werden Saphirscheiben aufgrund ihrer hohen Transparenz und Härte als Fenster und Linsen in Hochdruck- und Hochtemperaturumgebungen sowie in Infrarot-Bildgebungssystemen eingesetzt.
Spezifikation
| Artikel | 4-Zoll-C-Ebene(0001)-650-µm-Saphirwafer | |
| Kristallmaterialien | 99,999 %, hochreines, monokristallines Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Ready | |
| Oberflächenorientierung | C-Ebene(0001) | |
| Neigungswinkel der C-Ebene zur M-Achse: 0,2 ± 0,1° | ||
| Durchmesser | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Dicke | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primäre flache Ausrichtung | A-Ebene(11-20) +/- 0,2° | |
| Primäre Flachlänge | 30,0 mm +/- 1,0 mm | |
| Einseitig poliert | Vorderseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (SSP) | Rückseite | Fein geschliffen, Ra = 0,8 μm bis 1,2 μm |
| Doppelseitig poliert | Vorderseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| (DSP) | Rückseite | Epi-poliert, Ra < 0,2 nm (mittels AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| BOGEN | < 20 μm | |
| KETTE | < 20 μm | |
| Reinigung / Verpackung | Reinigung im Reinraum der Klasse 100 und Vakuumverpackung, | |
| 25 Stück in einer Kassettenverpackung oder Einzelverpackung. | ||
Verpackung & Versand
Im Allgemeinen liefern wir die Ware in Kassettenboxen mit 25 Stück; auf Wunsch des Kunden können wir die Ware aber auch in Einzelverpackungen unter Reinraumbedingungen der Klasse 100 verpacken.
Detailliertes Diagramm
